一种废气处理装置的制作方法

本实用新型涉及气体净化技术领域，更具体地说，涉及一种废气处理装置。

背景技术：

在半导体、面板显示器、LED、太阳能和MEMS微机电等制造领域中，生产过程中都会产生废气，以半导体制造为例，其制程设备在生产时排放的气体可以分为如下三类：第一类是易燃易爆气体，如氢气(H₂)或硅烷(SiH₄)；第二类是有毒气体，如一氧化二氮(N₂O)、氯气(Cl₂)、氟气(F₂)；第三类是温室效应气体，如四氟化碳(CF₄)、三氟化氮(NF₃)、六氟化硫(SF₆)等等，其中三氟化氮(NF₃)也具有毒性，四氟化碳(CF₄)也在动物实验上被证实能破坏细胞壁结构，使其他污染物更容易进入细胞内，因此在这些气体排放到周围环境中之前必须进行处理。

目前，常用的废气处理方式包括“热分解+液淋式”、“燃气燃烧+液淋式”和“高温等离子体+液淋式”等等，都是先将废气处理成稳定的副产品，然后在液淋区进行液淋冲洗。其中“燃气燃烧+液淋式”运用与接受度最为广泛，燃烧处理反应式如下：

但是，随着近年新制程设备废气排放量的增加，生产过程中的副产物如二氧化硅这类粉尘会夹杂在废气中，这就需要做出相应的处理。例如制程设备在基于硅烷(SiH₄)工艺的生产中，在反应腔内燃气的燃烧需要助燃气如氧气(O₂)，由于硅烷(SiH₄)会与氧气(O₂)产生氧化反应，生产二氧化硅(SiO₂)，而此类燃气燃烧废气处理装置为降低氮氧化合物(NO_x)的产生，就会采用已在多各行业内广泛运用的多级燃烧方式供气，而此种方式在反应腔提供了多余的氧气。而过多的氧气极易产生上述反应导致二氧化硅粉尘的产生，该粉尘进入废气处理装置内部后，由于装置中的每个喷口都在喷气，气流之间互 相扰乱，导致废气中的颗粒物不但会随气流的方向运动，而且会被其他喷口的气流所干扰，吹到多个喷口之间无喷口的区域，这些颗粒物体积微小，分子间存在相互作用的引力，而且还存在静电吸引力，或者由于高温会产生粘附等等，都会导致颗粒物粘附在喷口周围的表面上，这就会逐渐阻塞废气处理装置内部空间，不但影响处理气体的效率甚至还会造成安全隐患。在工厂的洁净室内，若频繁的维护清理废气处理装置及其与装置后端连接的中央排风管道，不但加重工作人员的负担，还易造成污染物扩散，因此减少废气处理装置维护的频率就变得非常重要。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种废气处理装置，能够避免颗粒物或粉尘粘附在反应腔内，降低维护清理的负担，避免污染物扩散。

本实用新型提供的上述废气处理装置，包括：

水箱，所述水箱上部包括相互连通的位于左侧的液淋除尘部件和位于右侧的喷淋洗涤部件，所述液淋除尘部件的上部设置有与其连通的反应腔，所述反应腔的上部具有将废气引入所述反应腔内部的废气进气部件，所述反应腔侧壁的外侧面具有引入助燃气体的供气部件，所述反应腔的侧壁的内侧面覆盖有密集多孔状的金属内筒，且所述供气部件的喷口均位于所述反应腔的侧壁和所述金属内筒之间，且所述喷口均与所述金属内筒的孔相连通。

优选的，在上述废气处理装置中，所述金属内筒的形状为圆台形，且所述金属内筒的上表面的直径小于下表面的直径。

优选的，在上述废气处理装置中，所述金属内筒的孔为直径范围为0.5毫米至0.8毫米的孔。

优选的，在上述废气处理装置中，所述金属内筒为镍金属内筒。

优选的，在上述废气处理装置中，所述供气部件包括连接有气罐的风机。

优选的，在上述废气处理装置中，所述风机为连接有氧气气罐或压缩空气气罐的风机。

从上述技术方案可以看出，本实用新型所提供的废气处理装置，由于包括水箱，所述水箱上部包括相互连通的位于左侧的液淋除尘部件和位于右侧 的喷淋洗涤部件，所述液淋除尘部件的上部设置有与其连通的反应腔，所述反应腔的上部具有将废气引入所述反应腔内部的废气进气部件，所述反应腔侧壁的外侧面具有引入助燃气体的供气部件，所述反应腔的侧壁的内侧面覆盖有密集多孔状的金属内筒，且所述供气部件的喷口均位于所述反应腔的侧壁和所述金属内筒之间，且所述喷口均与所述金属内筒的孔相连通，因此在连续供风模式下，遍布细小的孔且孔与孔之间的间隙极小的金属内筒的内周面产生向内的气流膜，导致二氧化硅颗粒物无法向金属内筒的内表面靠近附着，从而能够避免颗粒物或粉尘粘附在反应腔内，降低维护清理的负担，避免污染物扩散。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的第一种废气处理装置的示意图；

图2为本申请实施例提供的废气处理装置的工作原理示意图。

具体实施方式

本实用新型的核心思想在于提供一种废气处理装置，能够避免颗粒物或粉尘粘附在反应腔内，降低维护清理的负担，避免污染物扩散。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本申请实施例提供的第一种废气处理装置如图1所示，图1为本申请实施例提供的第一种废气处理装置的示意图。该废气处理装置包括：

水箱1，所述水箱1上部包括相互连通的位于左侧的液淋除尘部件2和位于 右侧的喷淋洗涤部件3，所述液淋除尘部件2的上部设置有与其连通的反应腔4，该反应腔4用于包围由燃烧火炬生成的火焰与要处理的尾气，在其内部对要处理的尾气进行分解，降低氮氧化合物的产生；

所述反应腔4的上部具有将废气引入所述反应腔4内部的废气进气部件5，所述反应腔4侧壁的外侧面具有引入助燃气体的供气部件6，所述反应腔4的侧壁的内侧面覆盖有密集多孔状的金属内筒7，且所述供气部件6的喷口均位于所述反应腔4的侧壁和所述金属内筒7之间，且所述喷口均与所述金属内筒7的孔相连通，具体的，反应腔的外筒竖立安装在液淋除尘部件2上，金属内筒7被安装在外筒的内周面，具有比外筒小的直径，该外筒内周面和金属内筒外周面之间的空间中，形成安装多级供气装置的空间结构。

上述废气处理装置的工作原理如图2所示，图2为本申请实施例提供的废气处理装置的工作原理示意图，废气从位于反应腔上部的废气进气部件5进入该废气处理装置，助燃气从反应腔4左侧穿过金属内筒7的孔之后进入该反应腔4，利用火焰将二者点燃后形成的气体在依次经过液淋除尘部件2的除尘和喷淋洗涤部件3的洗涤之后达到环保标准，离开该废气处理装置。

从上述技术方案可以看出，本申请实施例所提供的第一种废气处理装置，由于包括水箱，所述水箱上部包括相互连通的位于左侧的液淋除尘部件和位于右侧的喷淋洗涤部件，所述液淋除尘部件的上部设置有与其连通的反应腔，所述反应腔的上部具有将废气引入所述反应腔内部的废气进气部件，所述反应腔侧壁的外侧面具有引入助燃气体的供气部件，所述反应腔的侧壁的内侧面覆盖有密集多孔状的金属内筒，且所述供气部件的喷口均位于所述反应腔的侧壁和所述金属内筒之间，且所述喷口均与所述金属内筒的孔相连通，因此在连续供风模式下，遍布细小的孔且孔与孔之间的间隙极小的金属内筒的内周面产生向内的气流膜，导致二氧化硅颗粒物无法向金属内筒的内表面靠近附着，从而能够避免颗粒物或粉尘粘附反应腔内，降低维护清理的负担，避免污染物扩散。

本申请实施例提供的第二种废气处理装置，是在上述第一种废气处理装置的基础上，还包括如下技术特征：

所述金属内筒的形状为圆台形，且所述金属内筒的上表面的直径小于下表面的直径。由于从上到下逐步加大金属内筒的内表面直径，就可使上下部 的气源供风气流不互相干扰，并且由于含硅烷的废气流与气源供风中的氧气会反应出更多的二氧化硅颗粒物，所以从上到下逐渐扩大直径的内筒，能够更好的远离二氧化硅颗粒物。

本申请实施例提供的第三种废气处理装置，是在上述第二种废气处理装置的基础上，还包括如下技术特征：

所述金属内筒的孔为直径范围为0.5毫米至0.8毫米的孔。具有这种孔的金属内筒的内周面全部是均匀流向中心的气流，颗粒物就不存在向内筒的内周面靠近的作用力，而且由于孔洞细密，不存在像现有腔体那样多个喷口之间存在较大面积的可粘附颗粒物的区域，因此带有颗粒物的废气流只会继续流向装置下一级区域。

本申请实施例提供的第四种废气处理装置，是在上述第三种废气处理装置的基础上，还包括如下技术特征：

所述金属内筒为镍金属内筒，这种材质的内筒为一种常见的内筒，孔洞密集，且易于加工，成本低，因此选用这种金属内筒就能够降低整个废气处理装置的生产成本。

在上述任一种废气处理装置中，所述供气部件可以包括连接有气罐的风机，以保证助燃气能够源源不断的进入该废气处理装置，以促进废气的充分燃烧，去除有害气体。

进一步的，所述风机可以优选为连接有氧气气罐或压缩空气气罐的风机。风机采用的气源介质可以是氧气、空气或者压缩空气，此处不做限制。氧气可由氧气气罐供气，压缩空气可由空压机或压缩空气罐供气，而空气的来源可以是环境中的空气，风机的作用是将其供入反应腔。

上述各种废气处理装置，均能够避免颗粒物或粉尘粘附在反应腔内，降低维护清理的负担，避免污染物扩散。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。