一种具有流动液膜的废气处理装置的制作方法

本实用新型涉及气体净化技术领域，更具体地说，涉及一种具有流动液膜的废气处理装置。

背景技术：

在半导体、面板显示器、LED、太阳能和MEMS微机电等制造领域中，生产过程中都会产生废气，以半导体制造为例，其制程设备在生产时排放的气体可以分为如下三类：第一类是易燃易爆气体，如氢气(H₂)或硅烷(SiH₄)；第二类是有毒气体，如一氧化二氮(N₂O)、氯气(Cl₂)、氟气(F₂)；第三类是温室效应气体，如四氟化碳(CF₄)、三氟化氮(NF₃)、六氟化硫(SF₆)等等，其中三氟化氮(NF₃)也具有毒性，四氟化碳(CF₄)也在动物实验上被证实能破坏细胞壁结构，使其他污染物更容易进入细胞内，因此在这些气体排放到周围环境中之前必须进行处理。

目前，随着近年新制程设备废气排放量的增加，生产过程中的副产物如二氧化硅这类粉尘会夹杂在废气中，这就需要做出相应的处理。例如制程设备在基于硅烷(SiH₄)工艺的生产中，在反应腔内燃气的燃烧需要助燃气如氧气(O₂)，由于硅烷(SiH₄)会与氧气(O₂)产生氧化反应，生产二氧化硅(SiO₂)，而此类燃气燃烧废气处理装置为降低氮氧化合物(NO_x)的产生，就会采用已在多各行业内广泛运用的多级燃烧方式供气，而此种方式在反应腔提供了多余的氧气。而过多的氧气极易产生上述反应导致二氧化硅粉尘的产生，该粉尘进入废气处理装置内部后，会逐渐阻塞废气处理装置内部空间，由于处理装置逐渐受到阻塞，就会影响处理气体的容量，甚至还会形成安全隐患。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种具有流动液膜的废气处理装置，能够避免粉尘阻塞处理装置的内部空间，增加气体处理的容量，降低维护清理的负担，避免安全隐患的形成。

本实用新型提供的上述具有流动液膜的废气处理装置，包括：

水箱，所述水箱上部包括相互连通的位于左侧的反应腔和位于右侧的湿式洗涤部件，所述反应腔的上部具有将废气引入所述反应腔内部的废气进气部件，所述反应腔内部设置有多孔渗液内筒，所述反应腔的内壁与所述多孔渗液内筒的外壁之间形成间隙水槽，所述间隙水槽与所述水箱之间利用液体供给部件相连通，所述液体供给部件用于将所述水箱中的水持续引入所述间隙水槽内并从所述多孔渗液内筒的通孔处溢流到所述多孔渗液内筒的内壁上形成流动液膜。

优选的，在上述具有流动液膜的废气处理装置中，所述液体供给部件包括水泵和液体供给配管，所述液体供给配管的第一端位于所述水箱内，第二端位于所述间隙水槽内。

优选的，在上述具有流动液膜的废气处理装置中，所述多孔渗液内筒的孔为直径范围为0.5毫米至0.8毫米的孔。

优选的，在上述具有流动液膜的废气处理装置中，所述多孔渗液内筒为镍多孔渗液内筒。

优选的，在上述具有流动液膜的废气处理装置中，所述反应腔的上表面的中部设置有分解源发生器。

优选的，在上述具有流动液膜的废气处理装置中，所述分解源发生器设置在所述多孔渗液内筒的中心的正上方。

从上述技术方案可以看出，本实用新型所提供的一种具有流动液膜的废气处理装置，由于所述反应腔内部设置有多孔渗液内筒，所述反应腔的内壁与所述多孔渗液内筒的外壁之间形成间隙水槽，所述间隙水槽与所述水箱之间利用液体供给部件相连通，所述液体供给部件用于将所述水箱中的水持续引入所述间隙水槽内并从所述多孔渗液内筒的通孔处溢流到所述多孔渗液内筒的内壁上形成流动液膜，使得气流中的粉尘、颗粒物粘附流动液壁上，从而能够避免粉尘阻塞处理装置的内部空间，增加气体处理的容量，降低维护清理的负担，避免安全隐患的形成。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的第一种具有流动液膜的废气处理装置的示意图；

图2为本申请实施例提供的第一种具有流动液膜的废气处理装置的处理过程示意图。

具体实施方式

本实用新型的核心思想在于提供一种具有流动液膜的废气处理装置，能够避免粉尘阻塞处理装置的内部空间，增加气体处理的容量，降低维护清理的负担，避免安全隐患的形成。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本申请实施例提供的第一种具有流动液膜的废气处理装置如图1所示，图1为本申请实施例提供的第一种具有流动液膜的废气处理装置，该装置包括：

水箱1，其中装有水，用于收集从上部落下来的水，这些水还会再次进入间隙水槽内，如此往复，形成循环，起到充分吸收废气的作用；

所述水箱1上部包括相互连通的位于左侧的反应腔2和位于右侧的湿式洗涤部件3，所述反应腔2的上部具有将废气引入所述反应腔2内部的废气进气部件4，在这种情况下，废气进入反应腔之后可以进行点燃，将其处理成无害气体并被水吸收；

所述反应腔2内部设置有多孔渗液内筒5，所述反应腔2的内壁与所述多孔渗液内筒5的外壁之间形成间隙水槽6，所述间隙水槽6与所述水箱1之间利用液体供给部件7相连通，所述液体供给部件7用于将所述水箱1中的水持续引入所述间隙水槽6内并从所述多孔渗液内筒5的通孔处溢流到所述多孔渗液内筒5的内壁上形成流动液膜8，这种流动液膜8环绕该多孔渗液内筒5，其中，所述流动液膜8如图中多孔渗液内筒5的周边箭头所示，这样就能够覆盖其整个表面，在这种情况下，经过处理后的气体就能够充分的与该流动液膜8形成接触，更大的接触面积就能够保证更好的吸收效果，使废气得到更好的处理，避免污染周围环境。

该废气处理装置的处理过程如图2所示，图2为本申请实施例提供的第一种具有流动液膜的废气处理装置的处理过程示意图。以带圈的箭头表示气体的流向，含有粉尘和颗粒物的废气从废气进气部件4进入反应腔2，反应腔2上部的分解源发生器喷出分解气体，将废气流中易燃易爆和具有毒性的气体进行分解除害处理，分解源发生器可以采用燃烧火焰气体，处理原理为：天然气(CH₄)、氧气(O₂)与三氟化氮(NF₃)在点燃之后产生二氧化碳(CO₂)、水(H₂O)、氮气(N₂)和氢氟酸(HF)，分解源发生器喷出的分解气流的同时，还会将废气推向反应腔2内的流动液膜8，使得气流中的粉尘、颗粒物粘附流动液膜8上，然后气流在流经后段的湿式洗涤部件3后达到环保安全排放标准，则排放到环境中。另外需要说明的是，图中的不带圈的箭头表示水流的方向，水从水箱1中出来之后进入间隙水槽6内，并从多孔渗液内筒5的孔内流出以及从上部溢出，从而形成覆盖全部内筒表面的流动液膜8，以实现对气体的充分吸收，随后，流出的水在重力的作用下，又落入水箱1中，实现循环往复利用，另外，水箱1中的水还会进入湿式洗涤部件中形成循环，此处不再赘述。

从上述技术方案可以看出，本申请实施例所提供的上述第一种具有流动液膜的废气处理装置，由于所述反应腔内部设置有多孔渗液内筒，所述反应腔的内壁与所述多孔渗液内筒的外壁之间形成间隙水槽，所述间隙水槽与所述水箱之间利用液体供给部件相连通，所述液体供给部件用于将所述水箱中的水持续引入所述间隙水槽内并从所述多孔渗液内筒的通孔处溢流到所述多孔渗液内筒的内壁上形成流动液膜，使得气流中的粉尘、颗粒物粘附在流动液壁上，从而能够避免粉尘阻塞处理装置的内部空间，增加气体处理的容量，降低维护清理的负担，避免安全隐患的形成。

本申请实施例提供的第二种具有流动液膜的废气处理装置，在上述第一种废气处理装置的基础上，还包括如下技术特征：

继续参考图1，所述液体供给部件7包括水泵702和液体供给配管701，所述液体供给配管701的第一端位于所述水箱1内，第二端位于所述间隙水槽6内。由于含颗粒物的废气从多孔渗液内筒中通过，因此为防止颗粒物粘附在多孔渗液内筒的内周面，就利用该液体供给部件使液体沿着多孔渗液内筒的内周面流动，也就是说，将水箱中的液体向间隙水槽供给，使水从多孔渗液内筒的上端溢出，利用水泵702为其提供流动的动力是一种常用选择，成本较低。

本申请实施例提供的第三种具有流动液膜的废气处理装置，在上述第二种废气处理装置的基础上，还包括如下技术特征：

所述多孔渗液内筒的孔为直径范围为0.5毫米至0.8毫米的孔。该多孔渗液内筒在结构上采用这种尺寸的多孔结构，可使液体除了以溢流方式形成流动的液膜外，还能从各个多孔渗液内筒的外周面向内周面渗透，这就进一步提高多孔渗液内筒内周面液膜的均匀性。

本申请实施例提供的第四种具有流动液膜的废气处理装置，在上述第三种废气处理装置的基础上，还包括如下技术特征：

所述多孔渗液内筒为镍多孔渗液内筒，这种材质的多孔渗液内筒成本低，易于制作且易于获得，因此能够降低整个废气处理装置的制造成本。

本申请实施例提供的第五种具有流动液膜的废气处理装置，在上述任一种废气处理装置的基础上，还包括如下技术特征：

所述反应腔的上表面的中部设置有分解源发生器。其中，分解源可为：燃烧火焰气体、等离子气体、氧化或还原性气体。

进一步的，所述分解源发生器设置在所述多孔渗液内筒的中心的正上方。在这种情况下，在分解源发生器部位反应产生的气体就能够最大概率的被流动液膜所吸收。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。