1.一种狭缝式涂布装置,其特征在于,具备:
基板载放台,用于放置基板;
狭缝式喷嘴,对放置在所述基板载放台的基板的表面涂布液态化学品;
传感器板,与狭缝式喷嘴平行地布置于所述狭缝式喷嘴的涂布进行方向的前端;以及
传感器,配备于传感器板上,感测随着涂布的进行而发生的位于基板的上部或下部的异物与所述传感器板之间的碰撞。
2.如权利要求1所述的狭缝式涂布装置,其特征在于,
所述传感器板具有相对于所述基板而垂直地布置的面板形状,所述传感器板的上端被固定在所述狭缝式喷嘴的侧表面。
3.如权利要求1所述的狭缝式涂布装置,其特征在于,
所述传感器是通过感测发生在所述传感器板的应力而感测碰撞的应变仪。
4.如权利要求3所述的狭缝式涂布装置,其特征在于,
所述传感器板构成为具有5mm以下的厚度,以使所述传感器板的与所述异物之间的碰撞所引起的应力易于发生。
5.如权利要求1所述的狭缝式涂布装置,其特征在于,
所述传感器板的下端部与基板之间的间距小于或等于所述狭缝式喷嘴与基板之间的涂布间距。
6.如权利要求1所述的狭缝式涂布装置,其特征在于,还包括:
肋部保护件,在所述狭缝式喷嘴与传感器板之间以横穿所述基板的形态布置为与所述狭缝式喷嘴平行,以用于去除所述基板上的异物。
7.如权利要求1所述的狭缝式涂布装置,其特征在于,还包括:
控制模块,在所述传感器感测到所述异物的情况下,中断所述涂布的进行。
8.一种异物感测装置,被安装到具备狭缝式喷嘴的狭缝式涂布装置,以用于检测存在于借助所述狭缝式涂布装置而得到涂布的基板的上部或下部的异物,其特征在于,包括:
传感器板,在所述狭缝式喷嘴的涂布进行方向前端以与所述狭缝式喷嘴平行的方式布置;以及
传感器,配备于传感器板上,感测随着涂布的进行而发生的位于基板的上部或下部的异物与所述传感器板之间的碰撞。
9.如权利要求8所述的异物感测装置,其特征在于,
所述传感器板具有面板形状,所述传感器板的上端被固定于所述狭缝式喷嘴的侧面,并相对于所述基板而垂直地布置。
10.如权利要求8所述的异物感测装置,其特征在于,
所述传感器是通过感测发生在所述传感器板的应力而感测碰撞的应变仪。
11.如权利要求10所述的异物感测装置,其特征在于,
所述传感器板构成为具有5mm以下的厚度,以使所述传感器板的与所述异物之间的碰撞所引起的应力易于发生。
12.如权利要求8所述的异物感测装置,其特征在于,
所述传感器板的下端部与基板之间的间距小于或等于所述狭缝式喷嘴与基板之间的涂布间距。