一种HCL合成炉专用分布器的气体导向管的制作方法

文档序号:12752404阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种HCL合成炉专用分布器的气体导向管,该气体导向管具有两个安装在分布器上;其特征在于:该气体导向管呈底端开口顶端封闭圆筒状,气体导向管的侧壁顶端上和顶面均设置有若个腰型孔,气体导向管的底端向外翻边;

所述气体导向管侧壁顶端的腰型孔展开状态,水平方向相邻的腰型孔呈阶梯分布,高度差为10mm;竖直方向上相邻的腰型孔错位设置水平差10mm;气体导向管侧壁顶端的腰型孔两端的圆弧直径为15mm,两圆弧圆心高度差为30mm;竖直方向上相邻两个腰型孔的间距为4mm;

所述导向管顶面的腰型孔在气体导向管的顶面上呈圆形阵列分布;每个顶面腰型孔的距离气体导向管轴线最近的点均分布在以气体导向管顶面中心点为圆心,30mm为半径的圆上;气体导向管顶面腰型孔两端的圆弧直径为10mm。

2.根据权利要求1所述的一种HCL合成炉专用分布器的气体导向管,其特征在于:所述气体导向管为石墨粉整体压铸成型,气体导向管的壁厚为5mm。

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