技术总结
本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种半导体仪器净化装置，该装置包括：进气单元、密封箱及排气单元。进气单元与密封箱相连，进气单元向密封箱输入气体；半导体仪器的运动系统设置在密封箱内，半导体仪器的运动系统与半导体仪器的采集系统连接；密封箱与排气单元相连，密封箱的灰尘伴随气体经排气单元排出。本实用新型提供的半导体仪器净化装置，进气单元向密封箱输入气体，半导体仪器的运动系统设置在所述密封箱内，密封箱的灰尘伴随气体经排气单元排出；在密封箱内部建立了空气单向循环系统，使机械运动元件摩擦产生的颗粒会快速被排出，且不会扩散至半导体芯片附近，防止污染半导体芯片。
技术研发人员：陈鲁;张朝前;刘虹遥;杨乐;马砚忠;路鑫超
受保护的技术使用者：中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心
文档号码：201620989882
技术研发日：2016.08.30
技术公布日：2017.07.18