一种冷凝式除尘筒的制作方法

本实用新型涉及单晶棒加工技术领域，尤其是一种冷凝式除尘筒。

背景技术：

现有单晶炉的除尘筒装置参见附图1所示，是在筒本体10的内部放置了过滤器20，过滤器20为纸质，通过纸质滤芯将杂质过滤掉，杂质附着在滤芯上。这样使用的弊端如下：

1、纸质滤芯杂质不便于清理，增加人工成本。

2、如果清理不彻底会影响单晶炉运行时的氩气流速，不利于杂质排除。

3、滤芯使用更换频繁，增加运行成本。

4、由于直接接触高温气体，除尘筒表面温度过高，工作环境质量差。

所以，如何提供一种新型除尘筒，解决现有技术中存在的问题，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型提供了一种冷凝式除尘筒，解决现有技术中存在的缺陷，具体方案如下：

一种冷凝式除尘筒，包括筒本体，筒盖，所述筒本体为圆柱体形状，所述筒本体的上部设有气体入口，所述筒本体的下部设有气体出口，所述筒本体内还设有冷凝管，所述冷凝管的顶部设有圆形顶盖，所述气体入口设于所述圆形顶盖的下部。

具体的，所述冷凝管的冷却水出口与所述气体入口位于所述筒本体的同侧，所述冷凝管的冷却水入口与所述冷却水出口对向设置，所述冷却水出口和所述冷却水入口设于所述筒本体的底部。

具体的，所述圆形顶盖与所述筒本体内壁活动连接，所述圆形顶盖上部设有提手。

具体的，所述圆形顶盖设于所述筒本体自上而下1/5高度处。

具体的，所述圆形顶盖以及所述筒本体内壁均设有保温层。

具体的，所述气体入口通入的为氩气。

具体的，所述冷凝在所述筒本体内的排列为若干个相连接的“弓”字形。

具体的，所述冷凝管在所述筒本体内的排列为螺旋状。

本实用新型与现有技术相比，具有的优点是：1、改善氩气流通路径，将原来的除尘筒过滤器纸滤芯去除掉，并在除尘筒内增加圆形盖板、冷凝系统，改善氩气流筒路径，确保杂质有效的沉积。2、冷却除尘集于一体，不影响外界环境温度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中除尘筒结构示意图。

图2本实用新型提供的冷凝式除尘筒结构示意图。

图中： 10、筒本体 11、气体入口 12、气体出口 13、筒盖 20、过滤器 30、冷凝管 31、冷却水入口 32、冷却水出口 40、圆形顶盖 41、提手 。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

相关术语解释

除尘筒：单晶炉附属设备，作用为过滤硅料挥发产生的杂质。

除尘筒滤芯：除尘筒内过滤装置。

工艺氩气：单晶炉运行时充入氩气，然后通过真空泵抽出，作用为降温并带走挥发杂质。

参见附图2所示，为本实用新型提供的冷凝式除尘筒结构示意图，本实用新型请求保护一种冷凝式除尘筒，包括筒本体10，筒盖13，所述筒本体10为圆柱体形状，所述筒本体10的上部设有气体入口11，所述筒本体10的下部设有气体出口12，所述筒本体10内还设有冷凝管30，所述冷凝管30的顶部设有圆形顶盖40，所述气体入口设于所述圆形顶盖40的下部。

当高温氩气通过气体入口11进入筒本体10后，由于圆形顶盖40的压制，使氩气自然下沉至筒本体底部，这样高温氩气会先通过向筒本体10的底部流动，将杂质带入除尘筒底部，杂质由于自身重量会产生自然沉积，然后由于气体出口12连接着主真空泵（未图示），氩气会通过气体出气口12被真空泵排出，在除尘筒内形成氩气流通的回路。由于冷却水温度较低，冷凝装置在氩气的流通回路上，这样高温杂质会大量的凝结在冷凝器上，起到良好的除尘的效果。冷却水可以直接使用单晶炉的冷却水，减少成本，便于安装使用。

具体的，所述冷凝管30的冷却水出口32与所述气体入口11位于所述筒本体10的同侧，所述冷凝管30的冷却水入口31与所述冷却水出口32对向设置，所述冷却水出口32和所述冷却水入口31设于所述筒本体10的底部。

具体的，所述圆形顶盖40与所述筒本体10内壁活动连接，所述圆形顶盖40上部设有提手41。

具体的，所述圆形顶盖40设于所述筒本体10自上而下1/5高度处。

具体的，所述圆形顶盖40以及所述筒本体10内壁均设有保温层，改善设备运行的外界环境。

具体的，所述冷凝30在所述筒本体10内的排列为若干个相连接的“弓”字形。

具体的，所述冷凝管30在所述筒本体10内的排列为螺旋状，即自底部盘旋至顶部，采用此种方式的冷凝管，对氩气降温除尘效果更佳。

上面结合附图对本实用新型的实施例进行了描述，但是本实用新型并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本实用新型的启示下，在不脱离本实用新型宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，这些均属于本实用新型的保护之内。