一种药剂储槽的尾气吸收装置的制作方法

本实用新型属于过氧化氢提纯技术领域，具体涉及一种药剂储槽的尾气吸收装置。

背景技术：

超纯过氧化氢是电子技术微细加工制作过程中不可缺少的关键性基础化工材料之一，主要用做半导体晶体片的清洗剂、腐蚀剂和光刻胶的去除剂，电子工业制取高级绝缘层、去除电镀液中无机杂质，以及铜、铜合金和半导体材料镓、锗及显像管制造工序的处理等，它的纯度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。近年来，随着电子工业的不断发展，超纯过氧化氢水溶液的需求也日益增长。

想要生产出符合半导体电子行业要求的超纯过氧化氢，就需要将纯化用的树脂进行彻底再生，而树脂能否彻底再生与所用的再生药剂的纯净度相关，药剂越纯再生的树脂质量也越高。为了避免再生药剂与外界空气接触而导致质量变坏，目前通用的做法是采用氮封系统或U型水封来保护药剂。但是氮封系统需要建站超纯供氮站、呼吸阀等一系列装置，造价昂贵，并且超纯氮气的消耗也会增加很大一部分成本。而U型水封虽然结构简单，容易制作，造价低廉，其内部少量的纯水不能完全确保透过的外部空气是洁净的，一旦污染空气进入再生药剂，树脂就得不到彻底再生，会给电子级过氧化氢的生产带来极大的麻烦。

药剂配制和储存过程中产生的气体，直接排除室外，会造成环境污染，不符合环保要求，氮封系统的呼吸阀虽然能隔断储槽与环境中的空气，但却不能阻止气体夹带的药剂排出储槽；U型水封虽然可以吸收气体夹带的药剂，但由于其水量较少，需要经常换水，操作很不方便。

技术实现要素：

为了弥补现有技术的不足，本实用新型提供一种药剂储槽的尾气吸收装置技术方案。

所述的一种药剂储槽的尾气吸收装置，其特征在于包括喷淋吸收塔、药剂储槽和输送管线，喷淋吸收塔包括位于上部的填料段和位于下部的储液段，填料段的底部与储液段的顶部连通，填料段内填充聚丙烯填料，填料段的上部设置第一填料段气体进出口和填料段水进口，第一填料段气体进出口上设置第一阀门，填料段水进口上设置第二阀门，填料段的下部设置第二填料段气体进出口，第二填料段气体进出口上设置第三阀门；储液段的上部设置储液段水进口，储液段水进口上设置第四阀门，储液段的下部设置储液段水出口，储液段水出口上设置第五阀门；药剂储槽上设置药剂储槽气体进出口，药剂储槽气体进出口上设置第六阀门；输送管线包括分别与第二填料段气体进出口和药剂储槽气体进出口配合连接的第一输送管线、分别与填料段水进口和储液段水出口配合连接的第二输送管线，第二输送管线上设置循环泵，第二输送管线配合连接喷淋管，喷淋管设置在填料段的中心。

所述的一种药剂储槽的尾气吸收装置，其特征在于所述输送管线还包括与第一填料段气体进出口配合连接的第三输送管线。

所述的一种药剂储槽的尾气吸收装置，其特征在于所述输送管线还包括与第二输送管线配合连接的第四输送管线，第四输送管线上设置第七阀门。

所述的一种药剂储槽的尾气吸收装置，其特征在于所述第一填料段气体进出口的位置低于填料段水进口的位置。

所述的一种药剂储槽的尾气吸收装置，其特征在于所述填料段的底部与储液段的顶部通过小孔连通。

所述的一种药剂储槽的尾气吸收装置，其特征在于所述喷淋管为T型结构的花洒。

本实用新型装置简单，操作便捷，避免了药剂在配制和储存过程中被污染，确保了药剂储槽内外排气符合环保要求。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图中：1药剂储槽、2填料段、3储液段、4第一填料段气体进出口、5填料段水进口、6第一阀门、7第二阀门、8第二填料段气体进出口、9第三阀门、10储液段水进口、11第四阀门、12储液段水出口、13第五阀门、14药剂储槽气体进出口、15第六阀门、16第一输送管线、17第二输送管线、18循环泵、19喷淋管、20第三输送管线、21第七阀门、22第四输送管线、23第五输送管线、24储水槽、25污水池。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

如图1所示，一种药剂储槽的尾气吸收装置，包括喷淋吸收塔、药剂储槽1和输送管线。喷淋吸收塔包括位于上部的填料段2和位于下部的储液段3，填料段2的底部与储液段3的顶部均开设小孔，两者通过小孔连通。填料段2内填充106L的聚丙烯填料，填料段2的上部设置第一填料段气体进出口4和填料段水进口5，第一填料段气体进出口4的位置低于填料段水进口5的位置，第一填料段气体进出口4上设置第一阀门6，填料段水进口5上设置第二阀门7，填料段2的下部设置第二填料段气体进出口8，第二填料段气体进出口8上设置第三阀门9，第二填料段气体进出口8延伸至填料段2中心。

储液段3的上部设置储液段水进口10，储液段水进口10上设置第四阀门11，储液段3的下部设置储液段水出口12，储液段水出口12上设置第五阀门13。

药剂储槽1上设置药剂储槽气体进出口14，药剂储槽气体进出口14上设置第六阀门15。

输送管线包括分别与第二填料段气体进出口8和药剂储槽气体进出口14配合连接的第一输送管线16、分别与填料段水进口5和储液段水出口12配合连接的第二输送管线17、与第一填料段气体进出口4配合连接的第三输送管线20、与第二输送管线17配合连接的第四输送管线22以及与储液段水进口10配合连接的第五输送管线23，其中，第二输送管线17上设置循环泵18，第二输送管线17配合连接喷淋管19，喷淋管19设置在填料段2的中心，所述喷淋管19为T型结构的花洒，第三输送管线20连通室外，第四输送管线22上设置第七阀门23并配合连接污水池25，第五输送管线23配合连接储水槽24。

储液段3通过储液段水进口10加水70L，启动循环泵18将水经储液段水出口12、第二输送管线17和填料段水进口5进入填料段2，以喷淋的形式洒在填料段2的聚丙烯填料上，缓慢向下通过小孔流回储液段3。

药剂储槽1排气时，夹带微量药剂的气体经药剂储槽气体进出口14、第一输送管线16、第二填料段气体进出口8进入填料段2，遇到正在喷洒的水，微量药剂被水带走，而干净的气体经第一填料段气体进出口4、第三输送管线20排出室外。

药剂储槽1补气时，环境中夹带粉尘的气体，由经第三输送管线20、第一填料段气体进出口4，进入进入填料段2，遇到正在喷洒的纯水，粉尘被纯水带走，而干净的气体经第二填料段气体进出口8、第一输送管线16、药剂储槽气体进出口14进入药剂储槽1。

喷淋管19喷洒下的水经过聚丙烯填料，有充足的时间将其中夹带的微量药剂或粉尘去除干净。循环使用的水需要每周或更短时间更换一次，确保水的洁净度。废水经储液段水出口12、第四输送管线22排向污水池25。

在本实用新型中，填料段2内添加了聚丙烯填料，喷淋管19以T型花洒形式在第一填料段气体进出口4的上方喷水，水喷洒出来后，与夹带微量药剂或粉尘的气体接触，然后纯水和气体在聚丙烯填料内有足够长的接触时间，使得水可以完全将气体夹带微量药剂或粉尘去除，使洁净气体通向药剂储槽1或室外。使用该装置可以确保药剂储槽1中的药剂不被污染，还可以保证排向室外的气体是洁净的，符合国家环保要求。