一种干泵用过滤冷阱的制作方法

本实用新型涉及冷却技术领域，具体是一种干泵用过滤冷阱。

背景技术：

PECVD技术原理是利用低温等离子体作为能量源，把硅片放在低压下，并进行辉光电，利用辉光放电并加热，使得晶片升温到预定的温度，然后通过适量的反应气体，气体经过化学反应和等离子反应，使得样品表面形成固态薄膜。其化学反应方程式为：3SiH4+4NH3→SiN4+12H2。在工艺过程中，会有氮化硅的副产物产生，表现为白色粉末状颗粒，这些颗粒在冷态下会进行凝结。PECVD工艺使用的干泵是干泵，其工作原理是通过金属转子高速旋转，把气体挤压出排气口。由于PECVD工艺尾气中粉尘颗粒的存在，使得干泵的运行能力，即抽真空的能力收到了阻碍，所以需要停工停产，对泵进行维修作业。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种干泵用过滤冷阱，以解决现有技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种干泵用过滤冷阱，包括水冷外壳、水冷内壳和过滤网，所述水冷外壳包括外壳主体，所述外壳主体的一侧靠近上方的位置固定连通有外壳凸出壳，所述水冷内壳包括内壳主体，所述内壳主体位于外壳主体的内部，且内壳主体的上端与下端均穿过外壳主体的上下表面，所述内壳主体靠近外壳凸出壳的一侧固定连通有内壳凸出壳，且内壳凸出壳位于外壳凸出壳的内部，所述内壳主体与外壳主体之间设置为冷却水腔，所述内壳凸出壳与外壳凸出壳之间设置为冷却水腔，所述内壳凸出壳的末端设置有尾气进口，所述内壳主体的下端设置有洁净气体出口，所述过滤网包括网筒主体和安装圈，所述网筒主体偏心设置在内壳主体的内部，且网筒主体的上端固定有上堵头，所述网筒主体的下端偏心设置有圆形的平面滤网，且平面滤网通过安装圈固定在内壳主体的内部下方。

优选的，所述外壳主体的下表面远离外壳凸出壳的一侧固定连通有冷却水进口，且外壳主体的上表面靠近外壳凸出壳的一侧固定连通有冷却水出口。

优选的，所述内壳凸出壳的末端固定有气体进口连接法兰盘，且气体进口连接法兰盘上设置有第二法兰盘孔。

优选的，所述洁净气体出口的下端固定有气体出口连接法兰盘，且气体出口连接法兰盘上设置有第一法兰盘孔。

优选的，所述安装圈的下方两侧均固定有连接柱，且连接柱的下端固定在水冷内壳的内壁上。

优选的，所述外壳主体与外壳凸出壳一体成型，所述内壳主体与内壳凸出壳一体成型。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型设置了下进上出的循环冷却水，将冷却水从下方的冷却水进口泵入冷却水腔的内部，当冷却水的高度达到冷却水出口时，携带热量的水从冷却水出口排出，而冷却水进口不断泵入冷却水，使得冷却水为循环状态，下进上出可以使得冷却水腔内部有循环冷却水，以达到最优的冷却效果；

设置了过滤网与冷却水腔，带有粉尘颗粒的尾气从尾气进口进入此冷阱，循环冷却水将内部腔体的温度降低，粉尘颗粒因此附着在网筒主体外表面，达到净化尾气的目的，从尾气进口进入干泵的尾气不但得到了净化，而且降低了温度，对干泵进行了双层保护，不但延长了干泵的寿命，而且大大提高了干泵的性能；

设置了偏心的网筒主体，网筒主体偏心设置在内壳主体的内部，使进入内壳主体的尾气能够尽可能的在过网筒主体周围运动，使得粉尘颗粒最大面积的附着在网筒主体周围，延长网筒主体的维护时间，在减少设备维护工作量的同时，大大降低了企业的运营成本，很大程度上提高了企业的生产效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的剖视图。

图3为本实用新型网筒主体的偏心位置图。

图4为本实用新型过滤网的结构示意图。

图中：1、水冷外壳；11、外壳主体；12、冷却水进口；13、冷却水出口；14、外壳凸出壳；2、气体出口连接法兰盘；21、第一法兰盘孔；3、水冷内壳；31、内壳主体；32、内壳凸出壳；33、洁净气体出口；34、尾气进口；4、气体进口连接法兰盘；41、第二法兰盘孔；5、过滤网；51、网筒主体；511、上堵头；52、安装圈；53、连接柱；54、平面滤网；6、冷却水腔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1～4，本实用新型实施例中，一种干泵用过滤冷阱，包括水冷外壳1、水冷内壳3和过滤网5，水冷外壳1包括外壳主体11，外壳主体11的一侧靠近上方的位置固定连通有外壳凸出壳14，外壳主体11用于包裹内壳主体31，形成冷却水腔6，外壳凸出壳14用于包裹内壳凸出壳32，形成冷却水腔6，外壳主体11与外壳凸出壳14一体成型，外壳主体11的下表面远离外壳凸出壳14的一侧固定连通有冷却水进口12，冷却水进口12用于冷水的进入，且外壳主体11的上表面靠近外壳凸出壳14的一侧固定连通有冷却水出口13，冷却水出口13用于热水出料，水冷内壳3包括内壳主体31，内壳主体31的内部用于安装过滤网5，内壳主体31位于外壳主体11的内部，且内壳主体31的上端与下端均穿过外壳主体11的上下表面，内壳主体31靠近外壳凸出壳14的一侧固定连通有内壳凸出壳32，内壳凸出壳32用于形成尾气通道，使得尾气可以进入内壳主体31的内部，内壳主体31与内壳凸出壳32一体成型，且内壳凸出壳32位于外壳凸出壳14的内部，内壳凸出壳32的末端固定有气体进口连接法兰盘4，气体进口连接法兰盘4用于连接尾气排放装置与内壳凸出壳32，且气体进口连接法兰盘4上设置有第二法兰盘孔41，内壳主体31与外壳主体11之间设置为冷却水腔6，内壳凸出壳32与外壳凸出壳14之间设置为冷却水腔6，冷却水腔6用于暂存冷却水，内壳凸出壳32的末端设置有尾气进口34，尾气进口34用于尾气进入内壳凸出壳32的内部，内壳主体31的下端设置有洁净气体出口33，洁净气体出口33用于洁净空气出料，洁净气体出口33的下端固定有气体出口连接法兰盘2，气体出口连接法兰盘2用于连接干泵与洁净气体出口33，且气体出口连接法兰盘2上设置有第一法兰盘孔21，过滤网5包括网筒主体51和安装圈52，网筒主体51用于过滤杂质，带有粉尘颗粒的尾气进入内壳主体31内部后，由于循环的冷却水，使得内壳主体31内部的温度降低，粉尘颗粒因此附着在网筒主体51的外表面，达到净化尾气的目的，网筒主体51偏心设置在内壳主体31的内部，偏心设置网筒主体51使进入内壳主体31的尾气能够尽可能的在过网筒主体51周围运动，使得粉尘颗粒最大面积的附着在网筒主体51周围，延长网筒主体51的维护时间，且网筒主体51的上端固定有上堵头511，上堵头511用于封闭网筒主体51的上端，网筒主体51的下端偏心设置有圆形的平面滤网54，平面滤网54用于承接从网筒主体51上掉落的粉尘，避免粉尘进入干泵内部，平面滤网54通过安装圈52固定在内壳主体31的内部下方，安装圈52的下方两侧均固定有连接柱53，且连接柱53的下端固定在水冷内壳3的内壁上，连接柱53可以使得网筒主体51与在水冷内壳3内部更加稳固。

本实用新型的工作原理是：将冷却水从冷却水进口12泵入冷却水腔6的内部，当冷却水的高度达到冷却水出口13时，携带热量的水从冷却水出口13排出，而冷却水进口12不断泵入冷却水，使得冷却水为循环状态，下进上出是为了使得冷却水腔6内部有循环冷却水，以达到最优的冷却效果，冷却水腔6内部的冷却水能够将内壳主体31与内壳凸出壳32内部的温度降低，通过气体进口连接法兰盘4将本装置与外置尾气排除口连接起来，尾气通过尾气进口34进入内壳凸出壳32的内部，再进入内壳主体31的内部，由于循环的冷却水，使得内壳主体31内部的温度降低，粉尘颗粒因此附着在网筒主体51的外表面，达到净化尾气的目的，洁净的空气穿过平面滤网54后从洁净气体出口33逸出进入干泵内部；网筒主体51偏心设置在内壳主体31的内部，偏心设置网筒主体51使进入内壳主体31的尾气能够尽可能的在过网筒主体51周围运动，使得粉尘颗粒最大面积的附着在网筒主体51周围，延长网筒主体51的维护时间。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。