尾气处理装置的制作方法

本发明涉及晶硅太阳能电池领域，更具体地说是涉及一种对生产晶硅太阳能电池过程中产生的尾气进行处理的尾气处理装置。

背景技术：

晶硅太阳能电池分为p型晶硅和n型晶硅，n型晶硅电池因具有少子寿命高、无光致衰减、弱光效应好、温度系数小等优点，成为晶硅电池迈向理论最高效率的希望。由于通过离子注入掺杂产线成本太高，硼扩散掺杂成为量产n型晶硅电池工艺的首选，但硼扩散相较于常规电池磷扩散，生成的尾气含b2o3与h3bo3成粉末状，很容易堵塞尾气管道和真空隔膜泵。因此，处理尾气中的b2o3与h3bo3粉末成为困扰硼扩散量产工艺的瓶颈和维护难点。

现有扩散设备一般采用过滤器的方式过滤尾气中的粉末，但硼扩散产生的粉末过多，造成滤芯与管道清洗周期太短，量产时导致维护设备的时间占比造成大量浪费。另外，当b2o3与h3bo3粉末随尾气进入到真空隔膜泵，会堵塞和腐蚀膜片，导致隔膜泵损坏频繁。

技术实现要素：

本发明的目的是提供一种尾气处理装置，能够去除尾气中的杂质。

本发明的技术方案为：提供一种尾气处理装置，包括处理室，所述处理室内盛装有用于溶解尾气中的杂质的溶解液，所述处理室内设有隔板，所述隔板将处理室分隔成第一部分和第二部分，所述隔板上贯穿设有浸于溶解液中的过气孔，所述处理室的第一部分上设有进气孔，所述处理室的第二部分上设有出气孔。

所述溶解液为水。

所述尾气处理装置还包括干燥过滤器，所述干燥过滤器与出气孔连接。

所述尾气处理装置还包括隔膜泵，所述隔膜泵与干燥过滤器连接，从所述干燥过滤器出来的尾气进入所述隔膜泵。

所述处理室上设有溶解液进入口和溶解液排出口，所述尾气处理装置还包括与溶解液排出口连接的排水泵。

所述尾气处理装置还包括溶解液输入管和流量计，所述流量计连接在溶解液输入管和溶解液进入口之间。

所述尾气处理装置还包括阀门，所述阀门连接在流量计与溶解液进入口之间。

所述处理室上还设有压力检测口，所述尾气处理装置还包括与压力检测口连接的压力检测器。

本发明尾气从进气孔进入处理室的第一部分后，由于处理室的第一部分中的压力不断增大，尾气会进入溶解液中并穿过气孔进入处理室的第二部分，在此过程中尾气会与溶解液接触使得尾气中的杂质被溶解，从而去除尾气中的杂质，去除杂质后的尾气从出气孔流出处理室。

附图说明

图1为本发明实施例中处理室的结构图。

图2为本发明实施例中尾气处理装置的结构图。

具体实施方式

如图1所示，本发明实施例中提出的尾气处理装置，包括处理室2，处理室2内盛装有用于溶解尾气中的杂质的溶解液26，处理室2内设有隔板21，隔板将处理室2分隔成第一部分27和第二部分28，隔板21上贯穿设有浸于溶解液26中的过气孔211，处理室2的第一部分27上设有进气孔22，处理室2的第二部分28上设有出气孔23。尾气从进气孔进入处理室的第一部分后，由于处理室的第一部分中的压力不断增大，尾气会进入溶解液中并穿过气孔进入处理室的第二部分，在此过程中尾气会与溶解液接触使得尾气中的杂质被溶解，从而去除尾气中的杂质，去除杂质后的尾气从出气孔流出处理室。

本实施例中，溶解液为水，尾气中的杂质为b2o3和h3bo3粉末，b2o3和h3bo3粉末均可与水反应和融于水。

处理室2上设有溶解液进入口24和溶解液排出口25。

如图2所示，尾气从扩散炉1进入处理室2。该尾气处理装置还包括干燥过滤器3和隔膜泵4，干燥过滤器4与出气孔连接，隔膜泵4与干燥过滤器3连接，从干燥过滤器3出来的尾气进入隔膜泵4。

该尾气处理装置还包括与溶解液排出口连接的排水泵5，排水泵5用于排出处理室2中的废水。

尾气处理装置还包括溶解液输入管6和流量计7，流量计7连接在溶解液输入管6和溶解液进入口之间，通过流量计精确计算流入处理室的水容量。该尾气处理装置还包括阀门8，阀门8连接在流量计7与溶解液进入口之间。

处理室2上还设有压力检测口29，尾气处理装置还包括与压力检测口29连接的压力检测器9，通过压力检测器来检测处理室中的压力。

以上的具体实施例仅用以举例说明本发明的构思，本领域的普通技术人员在本发明的构思下可以做出多种变形和变化，这些变形和变化均包括在本发明的保护范围之内。

技术特征：

技术总结
本发明公开了一种尾气处理装置，包括处理室，所述处理室内盛装有用于溶解尾气中的杂质的溶解液，所述处理室内设有隔板，所述隔板将处理室分隔成第一部分和第二部分，所述隔板上贯穿设有浸于溶解液中的过气孔，所述处理室的第一部分上设有进气孔，所述处理室的第二部分上设有出气孔。本发明尾气从进气孔进入处理室的第一部分后，由于处理室的第一部分中的压力不断增大，尾气会进入溶解液中并穿过气孔进入处理室的第二部分，在此过程中尾气会与溶解液接触使得尾气中的杂质被溶解，从而去除尾气中的杂质，去除杂质后的尾气从出气孔流出处理室。

技术研发人员：文鸥;张勇;伍波
受保护的技术使用者：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
技术研发日：2019.03.27
技术公布日：2019.07.02