1.一种x、y、z轴高速运转平台,包括x轴运行模组、y轴运行模组和z轴运行模组,所述z轴运行模组可滑动地设置在所述x轴运行模组上,所述x轴运行模组可滑动地设置在所述y轴运行模组上,其特征在于,所述z轴运行模组包括第一承托结构,所述x轴运行模组包括第一直线导轨,所述第一承托结构和所述第一直线导轨可滑动连接,所述x轴运行模组包括第二承托结构,所述y轴运行模组包括第二直线导轨,所述第二承托结构和所述第二直线导轨可滑动连接。
2.根据权利要求1所述的x、y、z轴高速运转平台,其特征在于,所述x轴运行模组还包括第一直线电机,所述第一直线电机用于驱动所述第一承托结构移动。
3.根据权利要求2所述的x、y、z轴高速运转平台,其特征在于,所述x轴运行模组还包括x轴限位结构,所述x轴限位结构固定设置在所述第二承托结构上。
4.根据权利要求2所述的x、y、z轴高速运转平台,其特征在于,所述x轴运行模组还包括第一光栅尺传感器。
5.根据权利要求1所述的x、y、z轴高速运转平台,其特征在于,所述y轴运行模组还包括第二直线电机,所述第二直线电机用于驱动所述第二承托结构移动。
6.根据权利要求4所述的x、y、z轴高速运转平台,其特征在于,所述y轴运行模组还包括y轴限位结构,所述y轴限位结构固定设置在所述第二直线导轨的两端端部。
7.根据权利要求4所述的x、y、z轴高速运转平台,其特征在于,所述y轴运行模组还包括第二光栅尺传感器。
8.根据权利要求1所述的x、y、z轴高速运转平台,其特征在于,所述z轴运行模组还包括滑轨组件和伺服电机,所述伺服电机通过所述滑轨组件和所述第一承托结构可滑动连接。
9.根据权利要求1-8任一项所述的x、y、z轴高速运转平台,其特征在于,还包括机架,所述y轴运行模组固定设置在所述机架的上表面。