一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置的制作方法

本实用新型涉及尾气处理技术领域，尤其涉及一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置。

背景技术：

气相沉积炉，是指高温下的气相反应，例如，金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解，氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法，而且其应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等，气相沉积炉内部的主体结构有加热室、混气罐、滑阀、过滤罐、真空电动蝶阀和加热磁性调节阀，且水冷电极和测温热电偶均是加热室中处理工件的核心部分，由于气相沉积炉在使用时，其尾部排出的尾气中不仅含有一些化学废气，并且由于其中的一些如真空阀在受热时会产生一定的油气，并会随着其他废气一起排进尾气处理设备进行最后的尾气处理。

现有技术中提出了一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置，包括桶体和盖体，所述盖体位于所述桶体的上方，所述桶体的底部为向下凸起的曲面结构，所述桶体底部的中心设有排油口，所述桶体下方的侧面设有进气口，所述盖体上远离所述进气口的一侧设有排气口；所述桶体内部的支撑架上设有若干竖直设置的过滤布袋，所述过滤布袋顶部的水平高度低于所述排气口的底部，所述过滤布袋底部的水平高度低于所述进气口顶部的水平高度，且高于所述进气口底部的水平高度，虽然该实用新型采用上述结构的气相沉积炉用尾气除油过滤装置，结构简单，有效去除气相沉积炉尾气中的油气，但是尾气在上升的过程中，由于其上的过滤布袋为静止状态，会有一部分尾气从中间穿插而过，这便导致去油效果较差，进而还会影响后续的尾气处理工作，并且该实用新型体积较大移动不便，当根据实际需求对该装置进行位置上的移动改变时，还需通过叉车吊车类工具进行移动，移动成本较高。

因此，有必要提供一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置解决上述技术问题。

技术实现要素：

本实用新型解决的技术问题是提供一种去油效果好、操作简单、移动方便的气相沉积炉用尾气除油过滤装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的气相沉积炉用尾气除油过滤装置，包括：一侧为开口的矩形处理箱；进气管，所述进气管固定安装在所述矩形处理箱的一侧；排气管，所述排气管固定安装在所述矩形处理箱的一侧；四个支腿，四个所述支腿均固定安装在所述矩形处理箱的底部，四个所述支腿呈矩形阵列分布；转轴，所述转轴转动密封安装在所述矩形处理箱的顶部与底部内壁上；减速电机，所述减速电机固定安装在所述矩形处理箱的顶部，所述减速电机的输出轴与所述转轴的顶端固定连接；四个上连板，四个所述上连板均设置在所述矩形处理箱内；四个下连板，四个所述下连板均设置在所述矩形处理箱内；四个第一吸油棉，四个所述第一吸油棉均通过螺栓分别固定安装在四个所述上连板的底部，四个所述第一吸油棉的底部分别与四个所述下连板固定连接；两个限位槽，两个所述限位槽分别开设在对应的所述上连板的顶部；两个架板，两个所述架板均固定安装在所述转轴上；两个螺杆，两个所述螺杆分别螺纹安装在两个所述架板上；两个定位柱，两个所述定位柱分别固定安装在两个所述螺杆的底端，所述定位柱的底端延伸至所述限位槽内，所述定位柱与所述限位槽相适配；螺帽，所述螺帽螺纹套设在所述排气管上；第二吸油棉，所述第二吸油棉设置在所述螺帽上。

优选的，所述转轴上转动密封套设有第一套筒，四个所述上连板相互靠近的一侧均与所述第一套筒固定连接，所述转轴上转动密封套设有第二套筒，四个所述下连板均与所述第二套筒固定连接。

优选的，所述矩形处理箱的一侧固定安装有排油管，所述排油管上设有油阀。

优选的，所述螺杆的顶端固定安装有防滑转轮，所述排气管的外壁上设有螺纹段，所述螺帽的内壁与所述螺纹段相旋合，所述螺帽的一侧开设有圆孔，所述第二吸油棉固定安装在所述圆孔的内壁上。

优选的，所述矩形处理箱的开口处通过螺栓固定安装有密封门。

优选的，所述矩形处理箱的底部固定安装有顶部为开口的收纳盒，所述矩形处理箱的底部固定安装有两个油缸，所述油缸位于所述收纳盒内，两个所述油缸的输出轴固定安装有同一个连接板，所述连接板的底部固定安装有四个万向轮，四个所述万向轮呈矩形阵列分布。

优选的，所述收纳盒的底部开设有出口，所述出口与所述连接板相适配。

与相关技术相比较，本实用新型提供的气相沉积炉用尾气除油过滤装置具有如下有益效果：

本实用新型提供一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置，使用时，启动减速电机缓慢转动，使得第一吸油棉开始旋转，随后含油废气进入矩形处理箱内并上升，自然的会与第一吸油棉接触，便可将废气中的油进行吸附，且第一吸油棉的不断转动，能够增加与废气的接触面积，从而提高滤油效果，且在排出时，第二吸油棉进行二次吸附，进一步提高去油效果，后期只需打开密封门，然后依次正向转动两个防滑转轮，便可将四个第一吸油棉依次旋转取出并更换，并将螺帽旋出排气管，就可对第二吸油棉进行清理或更换，使用方便，当需要对本装置进行移动时，只需启动两个油缸的输出轴伸出，便可带动连接板下降，当万向轮接触到地面并将支腿顶起后，便可轻松将本装置进行移动，操作方便。

附图说明

图1为本实用新型提供的气相沉积炉用尾气除油过滤装置第一实施例的主视示意图；

图2为图1所示的a部分的放大示意图；

图3为本实用新型提供的气相沉积炉用尾气除油过滤装置第一实施例中排气管的结构示意图；

图4为本实用新型提供的气相沉积炉用尾气除油过滤装置第一实施例中矩形处理箱的俯视结构示意图；

图5为本实用新型提供的气相沉积炉用尾气除油过滤装置第二实施例的主视结构示意图；

图6为图5所示的b部分的放大示意图。

图中标号：1、矩形处理箱；2、进气管；3、排气管；4、支腿；5、转轴；6、减速电机；7、上连板；8、下连板；9、第一吸油棉；10、限位槽；11、架板；12、螺杆；13、定位柱；14、螺帽；15、第二吸油棉；16、收纳盒；17、油缸；18、连接板；19、万向轮。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。

第一实施例

请结合参阅图1-图4，在本实用新型的第一实施例中，气相沉积炉用尾气除油过滤装置包括：一侧为开口的矩形处理箱1；进气管2，所述进气管2固定安装在所述矩形处理箱1的一侧；排气管3，所述排气管3固定安装在所述矩形处理箱1的一侧；四个支腿4，四个所述支腿4均固定安装在所述矩形处理箱1的底部，四个所述支腿4呈矩形阵列分布；转轴5，所述转轴5转动密封安装在所述矩形处理箱1的顶部与底部内壁上；减速电机6，所述减速电机6固定安装在所述矩形处理箱1的顶部，所述减速电机6的输出轴与所述转轴5的顶端固定连接；四个上连板7，四个所述上连板7均设置在所述矩形处理箱1内；四个下连板8，四个所述下连板8均设置在所述矩形处理箱1内；四个第一吸油棉9，四个所述第一吸油棉9均通过螺栓分别固定安装在四个所述上连板7的底部，四个所述第一吸油棉9的底部分别与四个所述下连板8固定连接；两个限位槽10，两个所述限位槽10分别开设在对应的所述上连板7的顶部；两个架板11，两个所述架板11均固定安装在所述转轴5上；两个螺杆12，两个所述螺杆12分别螺纹安装在两个所述架板11上；两个定位柱13，两个所述定位柱13分别固定安装在两个所述螺杆12的底端，所述定位柱13的底端延伸至所述限位槽10内，所述定位柱13与所述限位槽10相适配；螺帽14，所述螺帽14螺纹套设在所述排气管3上；第二吸油棉15，所述第二吸油棉15设置在所述螺帽14上。

所述转轴5上转动密封套设有第一套筒，四个所述上连板7相互靠近的一侧均与所述第一套筒固定连接，所述转轴5上转动密封套设有第二套筒，四个所述下连板8均与所述第二套筒固定连接。

所述矩形处理箱1的一侧固定安装有排油管，所述排油管上设有油阀。

所述螺杆12的顶端固定安装有防滑转轮，所述排气管3的外壁上设有螺纹段，所述螺帽14的内壁与所述螺纹段相旋合，所述螺帽14的一侧开设有圆孔，所述第二吸油棉15固定安装在所述圆孔的内壁上。

所述矩形处理箱1的开口处通过螺栓固定安装有密封门。

本实用新型提供的气相沉积炉用尾气除油过滤装置的工作原理如下：

使用时，启动减速电机6缓慢转动，减速电机6的输出轴便会带动转轴5转动，继而带动上连板7和下连板8转动，使得第一吸油棉9开始旋转，随后含油废气通过进气管2进入矩形处理箱1内，并上升，上升过程中，便会与第一吸油棉9相接触，从而将废气中的油进行吸附，且随着转轴5的不断转动，使得第一吸油棉9能够提高与矩形处理箱1内废气的接触面积与接触量，从而提高滤油效果，然后通过排气管3并穿过第二吸油棉15排出，通过第二吸油棉15的二次吸附，进一步提高去油效果，在后期对第一吸油棉9取下清理更换时，只需将密封门打开，然后依次正向转动两个防滑转轮，将定位柱13拉出限位槽10内，随后人为转动上连板7或下连板8，将四个第一吸油棉9依次取出，更换完毕后，再反向转动防滑转轮，将定位柱13插入限位槽10内即可，且通过螺帽14与排气管3之间的螺纹关系，可将第二吸油棉15取下进行清理或更换，使用方便。

与相关技术相比较，本实用新型提供的气相沉积炉用尾气除油过滤装置具有如下有益效果：

使用时，启动减速电机6缓慢转动，使得第一吸油棉9开始旋转，随后含油废气进入矩形处理箱1内并上升，自然的会与第一吸油棉9接触，便可将废气中的油进行吸附，且第一吸油棉9的不断转动，能够增加与废气的接触面积，从而提高滤油效果，且在排出时，第二吸油棉15进行二次吸附，进一步提高去油效果，后期只需打开密封门，然后依次正向转动两个防滑转轮，便可将四个第一吸油棉9依次旋转取出并更换，并将螺帽14旋出排气管3，就可对第二吸油棉15进行清理或更换，使用方便。

第二实施例：

基于本申请的第一实施例提供的气相沉积炉用尾气除油过滤装置，本申请的第二实施例提出另一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置。第二实施例仅仅是第一实施例的优选的方式，第二实施例的实施对第一实施例的单独实施不会造成影响。

下面结合附图和实施方式对本实用新型的第二实施例作进一步说明。

请结合参阅图5-图6，气相沉积炉用尾气除油过滤装置还包括顶部为开口的收纳盒16，所述收纳盒16固定安装在所述矩形处理箱1的底部，所述矩形处理箱1的底部固定安装有两个油缸17，所述油缸17位于所述收纳盒16内，两个所述油缸17的输出轴固定安装有同一个连接板18，所述连接板18的底部固定安装有四个万向轮19，四个所述万向轮19呈矩形阵列分布。

所述收纳盒16的底部开设有出口，所述出口与所述连接板18相适配。

当需要对本装置进行移动时，只需启动两个油缸17的输出轴伸出，便可带动连接板18下降，当万向轮19接触到地面并将支腿4顶起后，便可轻松将本装置进行移动，操作方便。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。