一种危险废气无害处理设备的制作方法

本实用新型涉及特殊气体废气处理技术领域，特别涉及一种危险废气无害处理设备。

背景技术：

目前，新基建如火如荼的进展。ic芯片、新能源、材料、微电子、光伏、生物医疗等相关热点行业的发展，各类工厂和科研院所对于设备尾气的排放也越来越重视。在这些行业中，工业气体使用的频率非常高，除惰性气体如氩气(ar)、氮气(pn2)、氦气(he)等，还会经常会使用到硅烷(sih4)、磷烷(ph3)等自燃性气体，有些设备同时还会使用到诸如氨气(nh3)、氯化氢(hcl)、笑气(n2o)、氯气(cl2)等毒性、腐蚀性的气体。还有一些气体性质更加危险复杂，既是易燃易爆性，又兼具毒腐性质。当然这类气体由于自身特性在供应过程中涉及到的吹扫、抽真空及设备本身尾气的排放等，会掺杂一些工艺气体在排放的尾气当中，甚至还会有一些残留危险液体及有害颗粒。如果直接排放，当然是不符合国家相关环保的要求，如果产生泄露将给环境、操作人员造成极大的危害，甚至影响到生命安全。

目前，传统的尾气处理设备采用燃烧式或水洗式，需要采用加热燃烧或水洗的方式处理尾气，存在设备安装困难、操作复杂、能耗高的不足。

技术实现要素：

为了解决现有一些工厂、实验室、生产车间等不方便使用传统型高温燃烧或水洗式尾气处理设备的问题，本实用新型提出一种危险废气无害处理设备，采用吸附式处理方案，可实现所用设备有害颗粒及残留危险液体排放性质尾气、毒性尾气、腐蚀性尾气的一次性、集中性处理，设备安装容易，操作简单，废气处理能耗低。

具体地，本实用新型提出一种危险废气无害处理设备，包括进气筒、第一管路、第二管路、第三管路和风机筒，所述进气筒的顶部设有第一阀门，所述进气筒的中部分别与所述第一管路和所述第二管路连通，所述第一管路包括依次连通的第二阀门、第一吸附桶、第二吸附桶、第三阀门，所述第二管路包括依次连通的第四阀门、第三吸附桶、第四吸附桶、第五阀门，所述第三管路包括依次连通的三通管和第六阀门，所述三通管分别连通所述第一管路和所述第二管路，所述风机筒的中部与所述第三管路连通，所述风机筒的上部设有风机，所述风机筒的顶部设有法兰连接件，所述第一吸附桶、所述第二吸附桶、所述第三吸附桶和所述第四吸附桶内部均填充吸附剂。

进一步地，本实用新型提出的一种危险废气无害处理设备还包括设于所述第一管路的第一压力传感器、设于所述第二管路的第二压力传感器、设于所述第三管路的第三压力传感器和设于所述风机筒的第四压力传感器。

进一步地，所述第一吸附桶、所述第二吸附桶、所述第三吸附桶和所述第四吸附桶的前后均设有设备压力传感器。

进一步地，所述法兰连接件为kf法兰。

进一步地，所述第一阀门为球阀，数量为两个。

进一步地，所述第二阀门、所述第三阀门、所述第四阀门和所述第五阀门均为三片式球阀。

进一步地，所述第一管路下方设有第一支架，所述第二管路下方设有第二支架。

进一步地，所述危险废气无害处理设备整体封装于一个柜体中。

进一步地，所述法兰连接件外部设有气体侦测器。

本实用新型的有益效果在于：

本实用新型采用吸附式处理方案，可实现所用设备有害颗粒及残留危险液体排放性质尾气、毒性尾气、腐蚀性尾气的一次性、集中性处理，设备安装容易，操作简单，废气处理能耗低；设置了两个管路互为备用，确保设备维保或更换吸附剂时不影响正常使用；通过各压力传感器可接入监控系统，以便动态观察尾气进入和出气时的压力，并分析设备及前端生产或实验的状态；气体侦测器的设置可与实验室或生产车间的侦测系统联动24h不间断采集外放气体，使得设备随时处于安全的被监控状态，保证废气处理和排放的安全。

本实用新型发明功能强大，操作简单，安全可靠，让危险废气处理处于一种简单、高效、稳定、安全的状态，可广泛引用于实验室、医疗、科研、半导体、光伏太阳能、新能源等产业，为生产科研带来极大便利。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，而描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。

图1是本实用新型实施例结构示意图。

下面结合实施例，并参照附图，对本实用新型目的的实现、功能特点及优点作进一步说明。

具体实施方式

为了使实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

参见图1，本实用新型提出一种危险废气无害处理设备实施例，包括进气筒100、第一管路200、第二管路300、第三管路400和风机筒500，进气筒100的顶部设有第一阀门101，进气筒100的中部分别与第一管路200和第二管路300连通，第一管路200包括依次连通的第二阀门201、第一吸附桶202、第二吸附桶203、第三阀门204，第二管路300包括依次连通的第四阀门301、第三吸附桶302、第四吸附桶303、第五阀门304，第三管路400包括依次连通的三通管401和第六阀门402，三通管401分别连通第一管路200和第二管路300，风机筒500的中部与第三管路400连通，风机筒500的上部设有风机501，风机筒500的顶部设有法兰连接件502，第一吸附桶202、第二吸附桶203、第三吸附桶302和第四吸附桶303内部均填充吸附剂。

具体地，危险废气从第一阀门101处通入，在风机筒500内部风机的作用下，经过第一管路200或第二管路300通入第三管路400，再通入风机筒500并从风机筒500顶部排出，风机筒500顶部的法兰连接件502用于连接排气管道。第一管路200和第二管路300的吸附桶内装填特制的固态吸附剂填料，填料内部复配多介质催化剂，当危险气体在引风机的作用下穿过填料层，与固相填料表面充分接触，并在多介质催化剂的催化作用下，废气中的有害物质被充分吸附，达到净化的目的，吸附剂可以根据废气的属性定制。第一管路200与第二管路300互为备用，通过阀门控制连通，确保设备维保或更换吸附剂时不影响正常使用。

进一步地，参见图1，还包括设于第一管路200的第一压力传感器205、设于第二管路300的第二压力传感器305、设于第三管路400的第三压力传感器403和设于风机筒500的第四压力传感器503。各压力传感器可接入监控系统，以便动态观察尾气进入和出气时的压力，可查看设备各阶段历史压力曲线，有助于分析设备及前端生产或实验的状态。

进一步地，参见图1，第一吸附桶202、第二吸附桶203、第三吸附桶302和第四吸附桶303的前后均设有设备压力传感器。设备压力传感器接入监控系统可以即时显示当地吸附桶设备压力状况，监控系统内的程序设有吸附桶前后的压力差判断模块，一旦吸附桶前后压力差大于正常的标准，则表示吸附桶内的滤芯要更换了，相差越大说明更换的需要越紧迫。

进一步地，参见图1，法兰连接件502为kf法兰。kf法兰为具有橡胶密封圈的真空法兰，可保障设备具有良好的气密性。

进一步地，参见图1，第一阀门101为球阀，数量为两个。

进一步地，参见图1，第二阀门201、第三阀门204、第四阀门301和第五阀门304均为三片式球阀。

进一步地，参见图1，第一管路200下方设有第一支架206，第二管路300下方设有第二支架306。

进一步地，参见图1，危险废气无害处理设备整体封装于一个柜体中。危险废气无害处理设备柜整体可接入实验室或生产车间的排风系统，通过排风系统以固定的频次排风换气。

进一步地，参见图1，法兰连接件502外部设有气体侦测器，可与实验室或生产车间的侦测系统联动24h不间断采集外放气体，使得设备随时处于安全的被监控状态，保证废气处理和排放的安全。

综上所述，本实用新型提供的一种危险废气无害处理设备，采用吸附式处理方案，可实现所用设备有害颗粒及残留危险液体排放性质尾气、毒性尾气、腐蚀性尾气的一次性、集中性处理，设备安装容易，操作简单，废气处理能耗低；设置了两个管路互为备用，确保设备维保或更换吸附剂时不影响正常使用；通过各压力传感器可接入监控系统，以便动态观察尾气进入和出气时的压力，并分析设备及前端生产或实验的状态；气体侦测器的设置可与实验室或生产车间的侦测系统联动24h不间断采集外放气体，使得设备随时处于安全的被监控状态，保证废气处理和排放的安全。

本实用新型发明功能强大，操作简单，安全可靠，让危险废气处理处于一种简单、高效、稳定、安全的状态，可广泛引用于实验室、医疗、科研、半导体、光伏太阳能、新能源等产业，为生产科研带来极大便利。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，而这些修改或替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。