技术特征：
1.一种半导体元件的制造设备，包括工作台(1)，其特征在于：工作台(1)的顶部设有支撑架(2)，支撑架(2)的顶部镶嵌有胶桶(3)，胶桶(3)的顶部通过连接块安装储气罐(4)，储气罐(4)的底部连接导气管(5)，导气管(5)的底端延伸至胶桶(3)的内腔，导气管(5)的中部设有控制阀，胶桶(3)的一侧设有排气管(7)，排气管(7)的一端连通胶桶(3)，另一端的内腔可拆卸安装塞体(25)，胶桶(3)的底部安装有液压杆(9)，液压杆(9)的底部安装有连接架(15)，连接架(15)的底部通过卡柱卡接安装有另一连接架(15)，两个连接架(15)的内腔均通过丝杆(13)连接有固定套(10)，固定套(10)的内腔内卡接有定量筒(12)，定量筒(12)与胶桶(3)通过胶管(8)连接，定量筒(12)与储气罐(4)通过进气管(16)连接，定量筒(12)底部的中部设有点胶头(11)，定量筒(12)的内腔内设有排胶结构，定量筒(12)的顶部设有泄压管(28)。2.根据权利要求1所述的一种半导体元件的制造设备，其特征在于：控制阀包括转芯(19)和转动电机一(6)，转芯(19)与导气管(5)的内腔活动连接，且转芯(19)的外表面与导气管(5)的内壁接触，转动电机一(6)的输出轴通过减速器与转芯(19)一侧的中部连接，转芯(19)的中部设有排气孔(18)。3.根据权利要求1所述的一种半导体元件的制造设备，其特征在于：另一连接架(15)顶部的中部设有固定槽，卡柱与固定槽的内腔卡接，两个连接架(15)底端的中部均活动连接有丝杆(13)，丝杆(13)的外圈螺纹连接有螺纹块(17)，螺纹块(17)的一侧连接有连接管(14)，连接管(14)的另一端贯穿连接架(15)的另一端并与固定套(10)连接，且连接管(14)与连接架(15)活动连接，丝杆(13)与连接管(14)的内腔活动连接。4.根据权利要求1所述的一种半导体元件的制造设备，其特征在于：胶管(8)与进气管(16)的材质均为波纹管，泄压管(28)内腔的顶端连接有十字瓣膜。5.根据权利要求1所述的一种半导体元件的制造设备，其特征在于：排胶结构包括下转盘(24)，下转盘(24)顶部的中部连接有转动杆(22)，转动杆(22)顶端的外圈活动套接有上转盘(23)，上转盘(23)的顶部活动连接有顶板(26)，胶管(8)、泄压管(28)和进气管(16)的底部均与顶板(26)的顶部连接，胶管(8)和进气管(16)与定量筒(12)内腔的顶部活动连接，下转盘(24)、顶板(26)和上转盘(23)均与定量筒(12)的内腔活动连接，且上转盘(23)上设有与胶管(8)、泄压管(28)和进气管(16)三者适配的贯穿孔，下转盘(24)的一侧设有与点胶头(11)适配的排胶孔，定量筒(12)顶部的中部设有连接有转动电机二(21)，转动电机二(21)的输出轴末端与转动杆(22)顶部的中部连接。6.根据权利要求5所述的一种半导体元件的制造设备，其特征在于：转动杆(22)的横截面为矩形，上转盘(23)的中部设有与转动杆(22)适配的贯穿矩形孔，顶板(26)的中部连接有固定管(27)，转动杆(22)与固定管(27)的内腔活动连接，且固定管(27)与定量筒(12)内腔的顶部活动连接，固定管(27)的顶端通过螺钉与定量筒(12)的顶部连接。7.根据权利要求6所述的一种半导体元件的制造设备，其特征在于：固定管(27)的一侧设有刻度线。
技术总结
本发明公开了一种半导体元件的制造设备，涉及半导体制造技术领域，目的在于提供一种提高点胶效率、完成定量点胶，保障点胶质量的半导体元件的制造设备，其技术要点包括工作台，工作台的顶部设有支撑架，支撑架的顶部镶嵌有胶桶，胶桶的顶部通过连接块安装储气罐，储气罐的底部连接导气管，导气管的底端延伸至胶桶的内腔，导气管的中部设有控制阀，胶桶的一侧设有排气管，技术效果是通过定量筒内各结构的设置，储气罐内的压缩气体可以通过进气管进入到定量筒内，可以把定量筒内的胶液全部挤出，可以防止该设备在暂停过程中，点胶头内残留的胶液污染该设备及半导体元件。胶液污染该设备及半导体元件。胶液污染该设备及半导体元件。
技术研发人员：聂新明 赵波
受保护的技术使用者：苏师大半导体材料与设备研究院（邳州）有限公司
技术研发日：2022.09.05
技术公布日：2022/12/8