一种空气洗涤装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种空气洗涤装置，特别涉及一种有效去除空气中的不良气体(如硫化物、氮化物等)，借以使空气达到符合无尘室要求的洁净度的空气洗涤装置。
【背景技术】
[0002]在芯片的制造过程中，不但需要精确地控制温度和湿度，而且需要达到无尘标准以及避免受到化学物质干扰。因此，要达到无尘洁净的标准，就需要对空气质量进行控制。现有技术中，无尘室中设有转用的洗涤设备，其不但要去除空气中不良的气体，同时还需要提供适当的湿度，以防止因空气太干燥而产生静电感应，此外还需要同时提供适当的温度，以符合生产所需的条件。
[0003]现有的空气洗涤装置主要包括回收底座、用以进行空气洗涤的喷水装置、用来过滤空气及挡水的过滤板，以及配套的补给水机构、循环管线和泵；其中，喷水装置和过滤板构成了洗涤装置的核心。喷水装置主要由水管和设于水管上的喷嘴组成。现有技术中，喷嘴都是采用扇形喷嘴，喷雾角度一般在120度左右。而喷嘴和空气流动方向决定了空气与水滴的接触方式，其一般分为两种:一是被动式，即喷嘴的喷雾方向与空气流动方向相同，此时，水滴喷出后，等着空气来和水滴形成接触，这种结构可以参见中国实用新型专利CN2446432Y公开的空调箱的水洗及加湿设备，其扇形喷嘴的喷雾方向与空气流动方向相同，参见其图1、3所示。对于第一种被动式的结构，由于其为非主动撞击，因此需要较小的水滴直径(约80微米)才能具有较佳的加湿和水洗效果，然而，正是因为水滴直径较小，使得单个喷嘴的流量低，因而喷嘴数量需求较多，造成整个设备造价高，且喷嘴口径小也易发生堵塞，维护成本较高。针对上述问题，出现了第二种结构，即主动式，其喷嘴的喷雾方向与空气流动方向相垂直，即水滴喷出后，主动形成一道阻挡墙，造成空气和水滴形成撞击式的接触，如中国实用新型专利CN2562115Y公开的空调箱水幕结构。由于有主动撞击的辅助，因而可以采用水滴直径较大的喷嘴，一般约150微米即可达到类似的加湿和水洗效果。但是，这种主动式结构由于采用的是扇形喷嘴，其喷雾角度一般最大只有120度，因此在喷嘴的上方出现出现旁通区1，参见附图1所示，即使采用前后双排或多排喷嘴的结构也无法解决上述问题，造成了该结构的水洗效果较差。
[0004]针对上述问题，也有人将扇形喷嘴的喷雾方向与空气流动方向设计成相反的结构，如发明专利申请CN101164663A公开了一种空气洗涤设备，但是该喷嘴的前方必须设有挡水用的过滤板，防止水喷出回收底座之外，这不仅造成了整个设备的结构比较复杂，而且多出来的过滤板会产生较大的风阻，加大了整个设备的动力供应需求。
[0005]因此，开发一种节能高效空气洗涤装置，具有积极的现实意义。
【发明内容】
[0006]本发明的目的是提供一种空气洗涤装置。
[0007]为达到上述发明目的，本发明采用的技术方案是:一种空气洗涤装置，包括喷水装置，所述喷水装置包括水管和设于水管上的复数个喷嘴；
所述喷嘴的喷雾角度为180度，喷出的水滴直径大于等于150微米；
所述喷水装置上的喷嘴形成的水幕完全覆盖空气管路的一截面；所述喷水装置形成的水幕与空气流动方向相垂直；
所述喷水装置上的喷嘴在空气行进方向上具有至少2种位置，形成前后错排结构，且相邻喷嘴形成的水幕不相碰撞。
[0008]上文中，所述喷嘴的喷雾角度为180度，其可以采用现有技术，如PNR公司生产的RCZ型号的超广角喷嘴。
[0009]所述喷水装置上的喷嘴在空气行进方向上具有至少2种位置，形成前后错排结构，这里可以有2种方式:一种是喷嘴朝向相同，但伸出距离不同，形成前后错排；第二种是喷嘴朝向相反，即有的向前，有的向后，形成前后错排。当然也可以是上述2种结构的组合。
[0010]所述相邻喷嘴形成的水幕不相碰撞，即相邻水幕不会出现重叠，此外，在同一平面上的相邻水幕也不会出现重叠，从而避免了现有技术中喷嘴的水幕相互重叠碰撞的问题，提高了水洗效果。
[0011]所述喷水装置形成的水幕与空气流动方向相垂直，因而形成的是主动式结构，即水幕主动形成一道阻挡墙，造成空气和水滴形成撞击式的接触。
[0012]上述技术方案中，所述喷水装置上处于同一平面的相邻喷嘴之间的间距大于等于550 mm,且喷水装置上处于同一平面的相邻喷嘴形成的水幕不相碰撞。
[0013]上述技术方案中，还包括回收底座，以及与喷水装置配套的补给水机构、循环管线和泵。
[0014]当然，一个空气洗涤装置可以采用多套喷水装置。
[0015]上述技术方案中，还包括多孔性阻挡层。
[0016]上述技术方案中，还包括空气管路，其具有一既定空气流向；该空气流向与喷水装置形成的水幕相垂直。
[0017]优选的，所述喷嘴喷出的水滴直径为150~200微米。
[0018]上述技术方案中，所述喷水装置上的喷嘴在空气行进方向上的设置结构为:顺着空气行进方向设置和/或逆着空气行进方向设置，形成前后错排结构。
[0019]与之相应的另一种技术方案，一种空气洗涤装置，包括喷水装置，所述喷水装置包括水管和设于水管上的复数个喷嘴；
所述喷嘴的喷雾角度为180度，喷出的水滴直径大于等于150微米；
所述喷水装置上的喷嘴形成的水幕完全覆盖空气管路的一截面；所述喷水装置形成的水幕与空气流动方向相垂直；
所述喷水装置包括复数条水管，所述水管前后交错排列，使喷水装置上的喷嘴在空气行进方向上具有至少2种位置，形成前后错排结构，且相邻喷嘴形成的水幕不相碰撞。
[0020]上述技术方案中，所述喷水装置上处于同一平面的相邻喷嘴之间的间距大于等于550 mm,且喷水装置上处于同一平面的相邻喷嘴形成的水幕不相碰撞。
[0021]优选的，所述喷嘴喷出的水滴直径为150~200微米。
[0022]由于上述技术方案运用，本发明与现有技术相比具有下列优点:
1、本发明设计得到了一种空气洗涤装置，采用了喷雾角度为180度的喷嘴，其形成的水幕与空气流动方向相垂直，形成了空气和水滴撞击式的主动式接触结构，从而彻底解决了现有技术中扇形喷嘴存在的旁通区的问题，使整个装置具有极高的水洗效果；同时，主动式接触结构使得本发明的喷嘴可以采用较大的喷嘴口口径，从而降低了喷嘴堵塞的几率，降低了维护成本；
2、本发明的喷水装置上的喷嘴前后交错排列，使相邻喷嘴形成的水幕不相碰撞，从而避免了现有技术中喷嘴的水幕相互碰撞的问题，不仅降低了水源的补给需求，而且提高了水洗效果；
3、本发明的喷水装置上的喷嘴前后交错排列，形成了类似3D水幕的结构，层层阻挡，增大了空气与水幕接触的次数，因而提高了加湿和水洗能力；
4、本发明的结构简单，易于制备和使用，适于推广应用。
【附图说明】
[0023]图1是【背景技术】中喷水装置的示意图。
[0024]图2是本发明实施例一中喷水装置的示意图。
[0025]图3是本发明实施例二中喷水装置的示意图。
[0026]图4是本发明实施例二中喷水装置的喷雾组成示意图。
[0027]图5是本发明实施例二中