工件测定装置及工件测定方法

工件测定装置及工件测定方法
【专利摘要】本发明涉及工件测定装置及工件测定方法，容易且可靠地确认测定单元的测定精度。工件测定装置（1）具备：输送工作台（3），其具有输送工件（W1）的工件收置孔（4）；分离供给部（6）；测定工件的第一测定部（7a）、第二测定部（7b）、第三测定部（7c）；排出工件（W1）的排出部（8）、（9）。控制部（12）采用通常测定模式，在通过测定部（7a、7b、7c）对从分离供给部（6）供给到输送工作台（3）的工件收置孔（4）的工件（W1）进行了测定后，从排出部（8、9）排出。控制部（12）采用样本测定模式，在通过测定部（7a、7b、7c）对从样本工作台（10x）供给到输送工作台（3）的工件收置孔（4）的工件（W1s）进行了测定后，返回到样本工作台（10x）。
【专利说明】工件测定装置及工件测定方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一边保持并输送片状(十y形)电子零件等工件一边通过测定单元测定工件的特性的工件测定装置以及工件测定方法，特别涉及能够容易地确认测定单元的测定精度的工件测定装置以及工件测定方法。
【背景技术】
[0002]已知有一边保持并输送片状电子零件(以下记作工件)一边使用沿输送路径配置的测定单元来测定工件的特性的工件测定装置以及工件测定方法。
[0003]例如，在专利文献I中，公开了一边通过水平配置且间歇旋转的圆形输送工作台输送工件一边进行测定的工件测定装置。对于这样的工件测定装置，在以下进行说明。
[0004]在图67中示出现有技术的工件测定装置100的俯视图。工件测定装置100具有在水平配置的工作台基座200上自由旋转地配置的输送工作台3。输送工作台3，通过未图示的驱动机构的作用而绕中心轴3a在箭头Al的方向上间歇旋转。在输送工作台3，从其周缘部朝向中心形成有多个工件收置孔4。工件收置孔4朝向输送工作台3的外侧开口，在此处单个地收置后述的工件Wl并将其输送。另外，朝向输送工作台3的外周部地配置有直线形状的线性送料器5。线性送料器5具有通过未图示的的驱动机构的作用振动，通过该振动以一列状态向箭头BI方向输送工件Wl的功能。
[0005]线性送料器5的终端部靠近输送工作台3的外周部，在此处与工件收置孔4的开口部相对。在线性送料器5的终端部与工件收置孔4的开口部相对的位置，配置有将线性送料器5上的工件Wl —个个分离而单个地供给到工件收置孔4中的分离供给部6。从该分离供给部6沿输送工作台3的间歇旋转方向即箭头Al方向依次配置有:进行工件Wl的各种特性的测定的第一测定部7a、第二测定部7b、第三测定部7c以及从工件收置孔4排出基于测定的结果判定为不合格的工件Wl的不合格工件排出部8、从工件收置孔4排出基于测定的结果而判定为合格的工件Wl的合格工件排出部9。而且，设置有进行构成测定装置100的各部分的控制的控制部120。此外，由于输送工作台3间歇旋转来输送工件W1，因此在从分离供给部6到合格工件排出部9的输送工作台3的外周部，形成有用于防止在间歇旋转时因作用于工件Wl的离心力而使工件Wl飞出到输送工作台3的外侧的、未图示的防护壁。同样地，从分离供给部6到合格工件排出部9的工件收置孔4的上部，形成有用于防止因间歇旋转时的振动而工件Wl飞出到输送工作台3的上侧的、未图示的工作台盖。
[0006]此处，对工件Wl进行说明。在图3中示出工件Wl的立体图，另外，分别在图4(a)、(b)、(c)中示出从图3中的箭头Cl、D1、E1的方向观察工件Wl的图。进而，在图5中示出工件Wl的电路图。工件Wl是发光二极管(LED)。如图3以及图4所示，工件Wl由绝缘体形成为六面体形状，在作为其一面的面Wlfl上大体平面状地形成由透明的树脂覆盖的发光面W1L，并且在与面Wlfl相邻且互相相对的两个面即Wlf2以及面Wlf3，由导电体构成的电极Wla、Wlb分别突出。而且，电极Wla、Wlb与工件Wl的电路的对应如图5那样。S卩，电极Wla是阳极，电极Wlb是阴极，若从直流电压源将预先规定的直流电压以电极Wla比电极Wlb电位高地对工件Wl供给，则发光二极管Dx、即图3中的发光面WlL发光。
[0007]这样，由于电极Wla和电极Wlb存在方向性，因此在从外部观察工件Wl时需要识别其方向。基于该目的，在面Wlfl的接近电极Wlb侧的角部，印刷有示出电极Wlb为阴极的阴极标志Wlm。市场上销售有以下的产品:构成工件Wl的六面体的各边的长度(图4中的al、bl、cl)为，形成发光面WlL的面Wlfl的各边的长度al、bl为5mm?7mm左右，电极ffla, Wlb突出的面Wlf2以及面Wlf3的短边的长度cl为2mm左右。
[0008]接着，在下面描述工件测定装置100的动作。
[0009]在图67中，工件Wl集中投入未图示的零件供给器。然后，通过未图示的方向检测机构的作用，以图3所示的发光面WlL朝向上侧且电极Wlb朝向工件的行进方向即图67所示的箭头BI方向的方式使方向一致，在线性送料器5上排成一列。如上所述，直线送料器5通过未图示的驱动机构的作用振动，通过该振动以一致于上述方向的一列状态向箭头BI方向输送工件W1。然后，到达了与停止的输送工作台3的工件收置孔4的开口部相对的位置的工件Wl在分离供给部6中通过未图示的分离机构的作用而一个个分离，单个地收置于工件收置孔4中。此时，由于在线性送料器5上预先如上述那样将工件Wl的方向一致，因此在电极Wla、Wlb朝向工作台基座200侧且电极Wlb (阴极)成为靠近输送工作台3的中心轴3a —侧的状态下，工件Wl收置于工件收置孔4中。
[0010]接着，输送工作台3在箭头Al的方向上间歇旋转，工件Wl在第一测定部7a处停止。而且，连接于直流电压源的未图示的探针从工作台基座200内抵接工件Wl的电极Wla、Wlb并供给直流电压，使发光面WlL发光。而且，通过配置于工件Wl上侧的未图示的波长计接收该光，测定其波长。此处，直流电压源以及波长计是市场上销售的测定器。
[0011]接着，在第二测定部7b中，与第一测定部7a同样的连接于直流电压源的未图示的探针抵接电极Wla、Wlb并供给直流电压，从而使发光面WlL发光。而且，通过配置于工件Wl上侧的未图示的辉度计接收该光，测定其辉度。此处，直流电压源以及辉度计是市场上销售的测定器。
[0012]另外,在第三测定部4c中，通过使未图示的探针抵接电极Wla、Wlb,从而从未图示的数字源表(V — m 这样的直流电压源将数值变化的直流电压供给到工件Wl而使发光面WlL发光，通过未图示的多路分光器接收该光，进行被称为总光通量测定的光谱测定。此处，数字源表以及多路分光器是市场上销售的测定器。
[0013]若以上的测定结束，则基于测定结果来进行工件Wl是合格还是不合格的判定。然后，判定为不合格的工件Wl通过输送工作台3的间歇旋转而到达不合格工件排出部8后，通过未图示的排出机构的作用而从工件收置孔4排出，收置于未图示的不合格工件收置箱中。此外，判定为合格的工件Wl不在上述不合格工件排出部8中排出，通过输送工作台3的间歇旋转而到达合格工件排出部9后，通过未图示的排出机构的作用而从工件收置孔4排出，收置于未图示的合格工件收置箱中。
[0014]由于在合格工件排出部9中，全部的工件Wl从工件收置孔4排出，因此从合格工件排出部9到分离供给部6之间的工件收置孔4是空的。而且，该空的工件收置孔4通过输送工作台3的间歇旋转而到达分离供给部6，并在此处再次如上述那样收置工件Wl。以上一系列作用全部基于控制部120的控制来执行。
[0015]如上所述，在第一测定部7a、第二测定部7b、第三测定部7c配置市场上销售的测定器，并使用这些测定器来进行工件Wl的特性测定。为了确保测定精度，这些测定器需要定期地进行测定精度的确认，根据其结果实施校正。此处，所谓测定器的校正，是指求出测定器所示出的值与真实值的关系，实施该测定器的刻度或显示的修正等。具体而言，使用预先知道通过该测定器测定的真实值的试样来进行测定，将该测定器所示出的测定值与真实值的差量视为误差，使该测定器示出除掉了该误差的值。
[0016]此外，在第一测定部7a、第二测定部7b、第三测定部7c中，如上所述，均使用多个测定器来实施测定，且在测定器与工件Wl的电极Wla、Wlb之间，通过未图示的电缆以及探针连接。这样，在使用由多个测定器以及连接测定器和工件的部件构成的测定用系统，即测定系统来实施测定的情况下，确认测定系统整体的测定精度，根据其结果来进行各测定器的校正。那样的测定精度的确认使用预先知道通过该测定系统测定的真实值、即通过由校正后的测定器以及连接测定器和工件的部件构成的测定系统测定的真实值的试样来实施，。
[0017]此处，图67所示的工件测定装置100具有通常模式和数据取得模式这两种工作模式，对于以哪一种模式进行工作，作业者可以从未图示的操作盘上设定。如与上述测定装置100的作用相关的说明那样，通常模式是如下模式:将通过线性送料器5输送来的工件Wl在分离供给部6收置到工件收置孔4中，一边输送一边实施各种测定，基于测定结果来判定工件Wl是合格还是不合格，在与该判定结果对应的排出部排出。
[0018]另一方面，数据取得模式是在实施测定系统的测定精度的确认时取得数据的模式，对于在从分离供给部6收置到工件收置孔4中的样本工件Wls (参照图30 (a) (b)以及图31 (a) (b))，在一边输送一边实施了各种测定后，不根据基于测定结果的判定结果从排出部排出，而在该样本工件Wls返回到分离供给部6后停止测定装置100的工作。此处，样本工件Wls是与工件Wl相同，且通过第一测定部7a、第二测定部7b、第三测定部7c预先测定了特性的工件。该数据取得模式的工作也与通常模式同样地基于控制部120的控制来进行。使以通常模式工作的测定装置100转变为数据取得模式，来确认测定系统的精度的现有技术的步骤如下。
[0019]首先，作业者切断图67所示的工件测定装置100 (以通常模式工作中)的电源，使其工作停止。然后，使用镊子等来回收输送工作台3的工件收置孔4内的全部工件W1。接着，作业者使用镊子将一个样本工件Wls收置于位于分离供给部6的位置的工件收置孔4中。然后，接通工件测定装置100的电源，并从未图示的操作盘设定基于数据取得模式的工作。
[0020]这种情况下，工件测定装置100如上述那样进行数据取得模式下的工作，并停止。作业者使用镊子来回收位于分离供给部6的位置的工件收置孔4内的样本工件Wls。接着，使用镊子将与此次回收的样本工件Wls不同的、且通过由校正后的测定器以及连接测定器和工件的部件构成的测定系统测定过的、特性不同的一个样本工件Wls收置于位于分离供给部6的位置的工件收置孔4中。然后，与先前同样地以数据取得模式使测定装置100工作。这样，通过实施特性参差不齐的多个样本工件Wls的测定，能够提高测定系统的测定精度确认的可靠性。在数据取得模式下，测定的多个样本工件Wls的特性的参差不齐和测定的样本工件Wls的个数考虑成为校正对象的测定器的特性和/或测定项目所要求的测定精度等而预先决定。[0021]这样，预先决定的个数的样本工件Wls的测定结束后，作业者对通过工件测定装置100测定出的这些样本工件Wls的数据和通过由校正后的测定器以及连接测定器和工件的部件构成的测定系统测定出的数据进行比较。若两者数据的差异为预先规定的标准值以内，则不实施使用于工件测定装置100的测定器的校正，再次开始通常模式下的工作。
[0022]另一方面，在两者数据的差异超过了规定的标准值的情况下，实施使用于工件测定装置100的测定器的校正，其后再开始通常模式下的工作。此外，使工件测定装置100以数据取得模式工作的周期、即在持续了多久通常模式下的工作的阶段转变为用于确认测定系统的测定精度的数据取得这样的通常模式工作持续时间，与上述样本工件WlS的特性的参差不齐和/或个数同样地，考虑成为校正对象的测定器的特性和/或测定项目所要求的测定精度等而预先决定。而且，使控制部120内置进行时间测量的计时功能，测量工件测定装置100的通常模式下的运转时间，在该运转时间到达了预先决定的上述工作持续时间时，通过蜂鸣器等通知作业者。
[0023]以上那样的现有技术的测定系统的测定精度确认中，存在以下那样的问题。首先，切断通过通常模式工作的工件测定装置100的电源，使其工作停止，回收工件收置孔4内的全部工件Wl的作业，和将样本工件Wls收置于工件收置孔4中、在使工件测定装置100通过数据取得模式工作后、回收样本工件Wls的作业，都通过作业者的手工作业进行，因此非常耗费时间。特别地，样本工件Wls —个个地实施测定并进行替换，因此增大耗时的要素。这样，数据取得模式下的作业时间增大，从而工件测定装置100的运转率下降。
[0024]下一问题是，工件Wl (样本工件Wls)非常小，从而作业质量容易下降。如上所述，构成工件Wl的六面体的各边的长度顶多为2mm?7mm (图4)。因此，在作业者使用镊子来处置样本工件Wls时，容易产生工件误从镊子脱落而掉下或者丢失等事故。另外，由于这样工件Wl的外形尺寸非常小，因此难以看到图4 (a)所示的阴极标志Wlm，在将样本工件Wls收置于工件收置孔4时容易弄错方向。另外，由于图4 (a)所示的发光面WlL是树脂制的，因此在使用镊子处置工件Wl或样本工件Wls时有可能损伤发光面W1L。进而，也有可能错误地识别外观相同但特性不同的多个样本工件Wls，由此而变得不能掌握各样本工件在工件测定装置100的正确测定数据。
[0025]而且，为了避免这些问题、不降低作业质量，作业者要细心注意地进行作业。这导致作业时间的进一步增加而使装置的运转率进一步下降，并且显著增大作业者的生理以及心理负担。
[0026]现有技术文献
[0027]专利文献1:日本特开2012 - 20822号公报
【发明内容】

[0028]本发明是考虑这样的问题而做成的，其目的是提供能够容易且可靠地确认测定单元的测定精度的工件测定装置以及工件测定方法。
[0029]本发明的工件测定装置，其特征在于，具备:输送体，其具有保持工件或样本工件的多个保持部，自由旋转地设置；分离供给单元，其将工件单个地分离并供给到输送体的保持部；测定单元，其配置于分离供给单元的下游侧，测定保持于输送体的保持部的工件或样本工件的特性；以及排出单元，其配置于测定单元的下游侧，排出保持于输送体的保持部的工件，在分离供给单元与测定单元之间，设置有样本工件供给单元，所述样本工件供给单元将预先确定了基准特性的样本工件供给到输送体的保持部，并且具有收置样本工件的多个保管部，设置有控制装置，所述控制装置对输送体、分离供给单元、测定单元、排出单元以及样本工件供给单元进行控制，控制装置在采用通常测定模式时，将从分离供给单元供给到输送体的保持部的工件通过测定单元进行了测定后，从排出单元排出；在采用样本测定模式时，将从样本工件供给单元的保管部供给到输送体的保持部的样本工件通过测定单元进行了测定后，不从排出单元排出而返回到样本工件供给单元的保管部。
[0030]本发明的工件测定装置，其特征在于，从样本工件供给单元的保管部供给到输送体的保持部的样本工件在通过测定单元进行了测定后，返回到样本工件供给单元的原来的保管部。
[0031]本发明的工件测定装置，其特征在于，控制装置具有:比较部，其对由测定单元测定出的样本工件的测定结果与预先内置的样本工件的基准特性进行比较而求出其差异；和警报部，其连接于比较部，在测定结果与样本工件的基准特性的差异超过了预定值时发出警报。
[0032]本发明的工件测定装置，其特征在于，样本工件供给单元具有移载检测单元，所述移载检测单元分别检测:样本工件从样本工件供给单元的保管部供给到了输送体的保持部内、和样本工件返回到了样本工件供给单元的保管部。
[0033]本发明的工件测定装置，其特征在于，控制装置具有自动切换单元，所述自动切换单元自动切换通常测定模式和样本测定模式。
[0034]本发明的工件测定装置，其特征在于，控制装置具有手动切换单元，所述手动切换单元通过手动来切换通常测定模式和样本测定模式。
[0035]本发明的工件测定装置，其特征在于，手动切换单元具有按钮开关。
[0036]本发明的工件测定装置，其特征在于，输送体具有圆形的输送工作台。
[0037]本发明的工件测定装置，其特征在于，输送体的保持部由凹部构成，所述凹部设置于输送工作台的外周，朝向外侧开口。
[0038]本发明的工件测定装置，其特征在于，输送体的保持部由贯穿孔构成，所述贯穿孔设置于输送工作台的外周附近，贯穿输送工作台。
[0039]本发明的工件测定装置，其特征在于，输送体的保持部由输送管嘴构成，所述输送管嘴设置于输送工作台的一面，相对于该一面进退。
[0040]本发明的工件测定方法，其使用如下的工件测定装置，所述工件测定装置具备:输送体，其具有保持工件或样本工件的多个保持部，自由旋转地设置；分离供给单元，其将工件单个地分离并供给到输送体的保持部；测定单元，其配置于分离供给单元的下游侧，测定保持于输送体的保持部的工件或样本工件的特性；以及排出单元，其配置于测定单元的下游侧，排出保持于输送体的保持部的工件，在分离供给单元与测定单元之间，设置有样本工件供给单元，所述样本工件供给单元将预先确定了基准特性的样本工件供给到输送体的保持部，并且具有收置样本工件的多个保管部，设置有控制装置，所述控制装置对输送体、分离供给单元、测定单元、排出单元以及样本工件供给单元进行控制，所述工件测定方法的特征在于，包括:控制装置采用通常测定模式，将从分离供给单元供给到输送体的保持部的工件通过测定单元进行了测定后，从排出单元排出的工序；和控制装置采用样本测定模式，将从样本工件供给单元的保管部供给到输送体的保持部的样本工件通过测定单元进行了测定后，不从排出单元排出而返回到样本工件供给单元的保管部的工序。
[0041]本发明的工件测定方法，其特征在于，从样本工件供给单元的保管部供给到输送体的保持部的样本工件在通过测定单元进行了测定后，返回到样本工件供给单元的原来的保管部。
[0042]本发明的工件测定方法，其特征在于，控制装置具有:比较部，其对由测定单元测定出的样本工件的测定结果与预先内置的样本工件的基准特性进行比较而求出其差异；和警报部，其连接于比较部，在测定结果与样本工件的基准特性的差异超过了预定值时发出警报。
[0043]本发明的工件测定方法，其特征在于，样本工件供给单元具有移载检测单元，所述移载检测单元分别检测:样本工件从样本工件供给单元的保管部供给到了输送体的保持部内、和样本工件返回到了样本工件供给单元的保管部。
[0044]本发明的工件测定方法，其特征在于，控制装置具有自动切换单元，所述自动切换单元自动切换通常测定模式和样本测定模式。
[0045]本发明的工件测定方法，其特征在于，控制装置具有手动切换单元，所述手动切换单元通过手动来切换通常测定模式和样本测定模式。
[0046]本发明的工件测定方法，其特征在于，手动切换单元具有按钮开关。
[0047]本发明的工件测定方法，其特征在于，输送体具有圆形的输送工作台。
[0048]本发明的工件测定方法，其特征在于，输送体的保持部由凹部构成，所述凹部设置于输送工作台的外周，朝向外侧开口。
[0049]本发明的工件测定方法，其特征在于，输送体的保持部由贯穿孔构成，所述贯穿孔设置于输送工作台的外周附近，贯穿输送工作台。
[0050]本发明的工件测定方法，其特征在于，输送体的保持部由输送管嘴构成，所述输送管嘴设置于输送工作台的一面，相对于该一面进退。
[0051]如以上那样，根据本发明，能够容易且可靠地确认测定单元的测定精度。
【专利附图】

【附图说明】
[0052]图1是示出作为本发明的第一实施方式的工件测定装置的俯视图。
[0053]图2是图1中的区域Pl的放大图。
[0054]图3是示出工件的立体图。
[0055]图4 (a) (b) (c)分别是从图3中的箭头Cl、Dl、El方向观察的图。
[0056]图5是工件的电路图。
[0057]图6是示出分离供给部的工件收置孔的立体图。
[0058]图7是示出在分离供给部中收置了工件的工件收置孔的立体图。
[0059]图8 (a) (b) (C)是工件测定装置的位置识别功能的说明图。
[0060]图9是图2中的移载部的放大立体图。
[0061]图10是示出在图9中在工件收置孔中收置有样本工件的状态的立体图。
[0062]图11 (a) (b) (C)是示出工件测定装置的各工件收置孔内的工件的移动的状况的图。[0063]图12 (a) (b) (C)是示出工件测定装置的各工件收置孔内的工件的移动的状况的图。
[0064]图13 (a) (b) (C)是示出工件测定装置的各工件收置孔内的工件的移动的状况的图。
[0065]图14 (a) (b) (c)是示出工件测定装置的各工件收置孔内的工件的移动的状况的图。
[0066]图15 (a) (b) (C)是示出工件测定装置的各工件收置孔内的工件的移动的状况的图。
[0067]图16 (a) (b) (C)是示出工件测定装置的各工件收置孔内的工件的移动的状况的图。
[0068]图17 (a) (b) (C)是示出工件测定装置的各工件收置孔内的工件的移动的状况的图。
[0069]图18 (a) (b) (C)是示出工件测定装置的各工件收置孔内的工件的移动的状况的图。
[0070]图19 (a) (b) (c)是示出工件测定装置的各工件收置孔内的工件的移动的状况的图。
[0071]图20 (a) (b) (c)是示出工件测定装置的各工件收置孔内的工件的移动的状况的图。
[0072]图21 (a) (b) (C)是示出工件测定装置的各工件收置孔内的工件的移动的状况的图。
[0073]图22 (a) (b) (c)是示出工件测定装置的各工件收置孔内的工件的移动的状况的图。
[0074]图23 (a) (b) (c)是示出工件测定装置的各工件收置孔内的工件的移动的状况的图。
[0075]图24 (a) (b) (c)是示出工件测定装置的各工件收置孔内的工件的移动的状况的图。
[0076]图25 (a) (b) (c)是示出工件测定装置的各工件收置孔内的工件的移动的状况的图。
[0077]图26 (a) (b) (c)是示出工件测定装置的各工件收置孔内的工件的移动的状况的图。
[0078]图27 (a) (b) (c)是示出工件测定装置的各工件收置孔内的工件的移动的状况的图。
[0079]图28 (a) (b)是工件测定装置的样本工件移载步骤和移载完成确认方法的说明图。
[0080]图29 (a) (b)是工件测定装置的样本工件移载步骤和移载完成确认方法的说明图。
[0081]图30 (a) (b)是工件测定装置的样本工件移载步骤和移载完成确认方法的说明图。
[0082]图31 (a) (b)是工件测定装置的样本工件移载步骤和移载完成确认方法的说明图。
[0083]图32 (a) (b)是工件测定装置的样本工件移载步骤和移载完成确认方法的说明图。
[0084]图33 (a) (b)是工件测定装置的样本工件移载步骤和移载完成确认方法的说明图。
[0085]图34 (a) (b)是工件测定装置的样本工件移载步骤和移载完成确认方法的说明图。
[0086]图35 (a) (b)是工件测定装置的样本工件移载步骤和移载完成确认方法的说明图。
[0087]图36是示出作为本发明的第二实施方式的工件测定装置的主视图。
[0088]图37是从图36中的箭头M方向观察工件测定装置的图。
[0089]图38是图36中的区域P2的放大图。
[0090]图39是示出工件的立体图。
[0091]图40 (a) (b) (c)分别是从图39中的箭头C2、D2、E2方向观察的图。
[0092]图41是工件的电路图。
[0093]图42是示出分离供给部的工件收置孔的立体图。
[0094]图43是示出在分离供给部中收置了工件的工件收置孔的立体图。
[0095]图44 (a) (b) (c)是工件测定装置的位置识别功能的说明图。
[0096]图45是从箭头K2方向观察图38中的移载部的透视图。
[0097]图46是示出移载部的放大立体图。
[0098]图47是示出在图46中在工件收置孔中收置有样本工件的状态的立体图。
[0099]图48 (a) (b)是工件测定装置的样本工件移载步骤和移载完成确认方法的说明图。
[0100]图49 (a) (b)是工件测定装置的样本工件移载步骤和移载完成确认方法的说明图。
[0101]图50 (a) (b)是工件测定装置的样本工件移载步骤和移载完成确认方法的说明图。
[0102]图51 (a) (b)是工件测定装置的样本工件移载步骤和移载完成确认方法的说明图。
[0103]图52是示出本发明的第三实施方式的工件测定装置的俯视图。
[0104]图53是从图52中的箭头N方向观察工件测定装置的主视图。
[0105]图54是示出工件的立体图。
[0106]图55 (a) (b) (c)分别是从图54中的箭头C3、D3、E3方向观察的图。
[0107]图56是工件测定装置的位置识别功能的说明图。
[0108]图57是输送管嘴抵接于工件的状态的说明图。
[0109]图58是在工件收置孔中收置有样本工件的立体图。
[0110]图59 (a) (b)是工件测定装置的样本工件移载步骤和移载完成确认方法的说明图。
[0111]图60 (a) (b)是工件测定装置的样本工件移载步骤和移载完成确认方法的说明图。
[0112]图61 (a) (b)是工件测定装置的样本工件移载步骤和移载完成确认方法的说明图。
[0113]图62 (a) (b)是工件测定装置的样本工件移载步骤和移载完成确认方法的说明图。
[0114]图63 (a) (b)是工件测定装置的样本工件移载步骤和移载完成确认方法的说明图。
[0115]图64 (a) (b)是工件测定装置的样本工件移载步骤和移载完成确认方法的说明图。
[0116]图65 (a) (b)是工件测定装置的样本工件移载步骤和移载完成确认方法的说明图。
[0117]图66 (a) (b)是工件测定装置的样本工件移载步骤和移载完成确认方法的说明图。
[0118]图67是示出现有技术的工件测定装置的俯视图。
[0119]附图标记说明:
[0120]I工件测定装置；2、22、42工作台基座；3、23、43输送工作台；4、24、44工件收置孔；4La光传感器光源；4Lb光传感器；5、25线性送料器；6、26、46分离供给部；7a、27a、47a第一测定部；7b、27b、47b第二测定部；7c、47c第三测定部；8、28、48不合格工件排出部；9、29、49合格工件排出部；10x、30x样本工作台；11、31工件收置孔；IlLa光传感器光源；llLb光传感器；12、32、52控制部；12a、32a、52a储存部;12b、32b、52b比较部；12c、32c、52c警报部；12d、32d、52d判定部;12e、32e、52e计时器;12f、32f、52f自动切换单元；13真空产生源；14a、14b切换阀；15压缩空气产生源；W1、W2、W3工件；Wls、W2s、W3s样本工件
【具体实施方式】
[0121]第一实施方式
[0122]下面，参照附图对本发明的第一实施方式进行说明。
[0123]首先，对通过本发明的工件测定装置以及工件测定方法测定的工件进行说明。
[0124]图3中示出工件Wl的立体图，另外，在图4 (a) (b) (c)中分别示出从图3中的箭头Cl、D1、E1方向观察工件Wl的图。进而，图5中示出工件Wl的电路图。工件Wl是发光二极管(LED)。如图3以及图4所示,工件Wl由绝缘体形成为六面体形状,在作为其一面的面Wlf I大体平面状地形成由透明的树脂覆盖的发光面W1L，并且在与面Wlf I相邻且互相相对的两个面即面Wlf2以及面Wlf3，由导电体构成的电极Wla、Wlb分别突出。而且，电极Wla、Wlb与工件Wl的电路的对应为如图5那样。即，电极Wla是阳极，电极Wlb是阴极，若从直流电压源将预先规定的直流电压以电极Wla比电极Wlb电位高的方式对工件Wl供给，则发光二极管Dx即图3中的发光面WlL发光。
[0125]这样，由于电极Wla和电极Wlb存在方向性，因此在从外部观察工件Wl时需要识别其方向。出于该目的，在面Wlfl的靠近电极Wlb侧的角部，印刷有示出电极Wlb为阴极的阴极标志Wlm。市场上销售有如下产品:构成工件Wl的六面体的各边的长度(图4中的al、bl、cl)为，形成发光面WlL的面Wlfl的各边的长度al、bl为5mm?7mm左右，电极Wla、Wlb突出的面Wlf2以及面Wlf3的短边的长度Cl为2mm左右。
[0126]接着，通过图1至图35来描述工件测定装置。
[0127]工件测定装置I具备:具有保持工件Wl或样本工件Wls的多个工件收置孔(保持部)4，在水平配置的工作台基座2上自由旋转地设置的圆形的输送工作台(输送体)3 ;将工件Wl分离成单个而供给到输送工作台3的工件收置孔4中的分离供给部(分离供给单元)6 ;设置于分离供给部6的下游侧，测定保持于输送工作台3的工件收置孔4中的工件Wl或样本工件Wls的特性的第一测定部7a、第二测定部7b、第三测定部7c ;以及配置于第一测定部7a、第二测定部7b、第三测定部7c的下游侧，排出保持于输送工作台3的工件收置孔4中的工件Wl的不合格工件排出部8以及合格工件排出部9。
[0128]其中，由第一测定部7a、第二测定部7b、第三测定部7c构成测定单元，由不合格工件排出部8以及合格工件排出部9构成排出单元。
[0129]另外，输送工作台3通过未图示的驱动机构的作用而绕中心轴3a向箭头Al的方向间歇旋转。另外，各工件收置孔4在输送工作台3的外周部朝向中心地形成，这些工件收置孔4由朝向输送工作台3的外侧开口的凹部构成，此处，单独地收置并输送图3以及图4所示的作为被测定工件的工件Wl以及样本工件Wls。
[0130]进而，朝向输送工作台3的外周部配置有直线形状的线性送料器5。线性送料器5具有如下功能:通过未图示的驱动机构的作用振动，通过该振动使工件Wl以一列状态向箭头BI方向输送。线性送料器5的终端部接近输送工作台3的外周部，在此处与工件收置孔4的开口部相对。在线性送料器5的终端部与工件收置孔4的开口部相对的位置，如上所述配置有将线性送料器5上的工件W —个个分离而单个地供给到工件收置孔4的作为分离供给单元的分离供给部6。从该分离供给部6沿输送工作台3的间歇旋转方向、即箭头Al方向，如上所述依次配置有进行工件Wl的各种特性的测定的作为测定单元的第一测定部7a、第二测定部7b、第三测定部7c,以及将基于测定的结果而判定为不合格的工件Wl从工件收置孔4排出的作为排出单元的不合格工件排出部8、将基于测定的结果而判定为合格的工件Wl从工件收置孔4排出的作为排出单元的合格工件排出部9。
[0131]另外，沿输送工作台3的间歇旋转方向、即箭头Al方向，在分离供给部6与第一测定部7a之间配置有作为样本工件供给单元的样本工作台10x，且配置有在样本工作台IOx与输送工作台3之间进行样本工件Wls的移载的移载部10t。
[0132]由该样本工作台IOx和移载部IOt，构成测定系统确认部10。样本工作台IOx的形状与输送工作台3同样地呈圆形，通过未图示的驱动机构的作用，绕中心轴IOxa向箭头Xl方向间歇旋转。在样本工作台IOx的外周部，与输送工作台3同样地朝向外侧开口地形成有作为保管部的多个工件收置孔11，在工件收置孔11中保管样本工件Wls。
[0133]而且，设置有用于进行构成工件测定装置I的输送工作台3、分离供给部6、第一测定部7a、第二测定部7b、第三测定部7c、不合格工件排出部8、合格工件排出部9、样本工作台IOx以及移载部IOt的控制的控制部(控制装置)12。
[0134]此外，由于输送工作台3间歇旋转来输送工件W1，因此，为了防止在间歇旋转时因作用于工件Wl的离心力工件Wl飞出到输送工作台3的外侧，在从分离供给部6到合格工件排出部9为止的输送工作台3的外周部，形成有未图示的防护壁。
[0135]同样地，为了防止因间歇旋转时的振动而工件Wl飞出到输送工作台3的上侧，在从分离供给部6到合格工件排出部9为止的工件收置孔4的上部，形成有未图示的工作台
至JHL ο
[0136]同样地，由于样本工作台IOx间歇旋转来输送样本工件Wls，因此，为了防止在间歇旋转时因作用于样本工件Wls的离心力样本工件Wls飞出到样本工作台IOx的外侧，在样本工作台IOx的外周部，形成有未图示的防护壁。同样地，为了防止因间歇旋转时的振动而样本工件Wls飞出到样本工作台IOx的上侧，在样本工作台IOx的工件收置孔11的上部，形成有未图示的工作台盖。
[0137]图2中示出图1中的测定系统确认部10附近、即单点划线区域Pl的放大图。输送工作台3的工件收置孔4和样本工作台IOx的工件收置孔11均朝向工作台的外侧开口，在移载位置在移载部IOt侧各自的开口部相对。将该开口部相对的状态下的工件收置孔4和工件收置孔11在图2中记作工件收置孔4t以及工件收置孔lit。在工件收置孔4以及工件收置孔11中，收置图3以及图4所示的形状的工件Wl以及样本工件Wls。此处，样本工件Wls是与工件Wl相同，且其特性即图1所示的第一测定部7a、第二测定部7b、第三测定部7c中的各个的测定结果为已知的工件。
[0138]具体而言，使用与在第一测定部7a、第二测定部7b、第三测定部7c中使用的测定器相同且校正后的测定器，来对样本工件Wls预先实施与第一测定部7a、第二测定部7b、第三测定部7c的测定项目相同的测定，并使其测定结果(基准特性)储存于控制部12内的作为储存单元的储存部12a。该样本工件Wls的基准特性能够通过控制部12的控制而从储存部12a读取。另外，控制部12具有:在采取样本测定模式时，对样本工件Wls的基准特性与工件Wl的测定结果进行比较的比较部12b ;和通过比较部12b进行比较的结果是两者的差异超过了预定值时，发出警报的警报部12c。另外，控制部12具有判定部12d，在采取通常测定模式时，该判定部12d基于第一测定部7a、第二测定部7b、第三测定部7c的测定结果来进行工件Wl是合格还是不合格的判定。
[0139]接着，使用图6以及图7对输送工作台3的工件收置孔4进行说明。图6是工件收置孔4停止于图1中的分离供给部6的状态下的立体图。工件收置孔4朝向在工作台基座2上水平配置的输送工作台3的外侧开口，图1所示的线性送料器5的终端部处于与该开口部相对的位置，但是，在图6中未图示。在该开口部的相反侧即位于输送工作台3的中心轴3a (图1)侧的工件收置孔4的壁面4w，形成有空气控制孔4a。空气控制孔4a在分离供给部6，经由形成于工作台基座2的空气通路6v，连通于设置于工作台基座2内的真空产生源13。而且，通过从该真空产生源13向箭头F6方向的抽真空，在工件收置孔4的内部朝向壁面4w作用有吸引力。另外，在输送工作台3中，工件收置孔4的上面敞开，但是，在分离供给部6中工件收置孔4的上面以及线性送料器5的终端部的上面通过未图示的盖覆盖。由于该盖的存在，工件收置孔4的内部成为大体密封状态，上述吸引力高效地进行作用。
[0140]接着，对由这样的结构构成的本实施方式的作用、即工件测定方法进行说明。
[0141]在图1中，工件Wl集中投入未图示的零件供给器。然后，通过未图示的方向检测机构的作用，以使图3所示的发光面WlL朝向上侧且电极Wlb朝向工件的行进方向即图1所示的箭头BI方向的方式使方向一致，在线性送料器5上排成一列。如上所述，线性送料器5通过未图不的驱动机构的作用振动,通过该振动,工件Wl以一致于上述方向的一列状态向箭头BI方向输送。然后，到达了与停止的输送工作台3的工件收置孔4的开口部相对的位置的工件W1，在分离供给部6通过未图示的分离机构的作用一个个分离，通过图6所示的箭头F6方向的抽真空而单个地收置于工件收置孔4中。
[0142]这样，作为立体图，在图7中示出在工件收置孔4中收置了工件Wl的状况。此时，由于在线性送料器5上预先如上述那样地使工件Wl的方向一致，因此工件Wl以发光面WlL朝向上侧且电极Wlb (阴极标志Wlm)成为靠近输送工作台3的旋转轴3a (图1) 一侧的状态，收置于工件收置孔4中。
[0143]接着，输送工作台3向图1所示的箭头Al的方向间歇旋转，在分离供给部6收置于工件收置孔4中的工件Wl通过移载部10t，在第一测定部7a停止。然后，使用未图示的直流电源以及波长计来实施工件Wl的波长测定。接着，通过输送工作台3的间歇旋转，到达第二测定部7b而停止的工件Wl使用未图示的直流电源以及辉度计来实施工件Wl的辉度测定。然后，通过输送工作台3的间歇旋转，到达第三测定部7c而停止的工件Wl使用未图示的数字源表以及多路分光器来实施工件Wl的总光通量测定。
[0144]若以上的测定结束，则基于来自第一测定部7a、第二测定部7b以及第三测定部7c的测定结果，控制部12通过判定部12d来判定工件Wl是合格还是不合格。然后，与该判定结果对应地，通过输送工作台3的间歇旋转，在不合格工件排出部8或合格工件排出部9排出工件收置孔4内的工件Wl。在合格工件排出部9，全部的工件收置孔4成为空的，在通过输送工作台3的间歇旋转而到达了分离供给部6的空的工件收置孔4再次收置工件W1，反复进行与上述同样的作用。以上的一系列作用被称为通常测定模式，全部基于控制部12的控制来执行。
[0145]此处，在控制部12内置有具有时间计数功能的计时器12e，计数上述通常测定模式下的工作时间。而且，若工作时间到达了预先确定的时间，则通过自动切换单元12f来中断通常测定模式，使转变(切换)为进行包括配置于第一测定部7a、第二测定部7b、第三测定部7c的测定器在内的测定系统的测定精度的确认的样本测定模式。
[0146]在样本测定模式下，将预先收置于样本工作台IOx的工件收置孔11中的样本工件Wls从移载部IOt移载到输送工作台3的工件收置孔4中，与从分离供给部6供给到工件收置孔4的工件Wl同样地通过输送工作台3的间歇旋转来输送，并且在第一测定部7a、第二测定部7b、第三测定部7c实施测定，作为数据取得测定结果。然而，并不基于测定结果在不合格工件排出部8或合格工件排出部9中从工件收置孔4内排出样本工件Wls，而是通过输送工作台3的间歇旋转而样本工件Wla再次到达移载部IOt后，在移载部IOt将收置于输送工作台3的工件收置孔4中的样本工件Wls再次收置于样本工作台IOx的工件收置孔11中的、先前收置了该样本工件Wls的工件收置孔11中。即，在本实施方式中，为了测定器的校正而应该进行样本工件Wls的数据取得的正时通过使工件测定装置I工作的程序自动设定。
[0147]此处，使用图8 (a) (b) (C)对作为测定装置I以样本测定模式工作时的前提条件的、输送工作台3的工件收置孔4以及样本工作台IOx的工件收置孔11的位置识别功能进行说明。
[0148]图8 Ca)是形成于图1所示的输送工作台3的全部16个工件收置孔4和形成于样本工作台IOx的全部8个工件收置孔11的示意图。然而，为了便于看图，在图8 (a)中，仅表记图1所示的各部分中的输送工作台3和样本工作台IOx以及线性送料器5和移载部lot。另外，在图1中，输送工作台3和样本工作台IOx在移载部IOt极接近地配置，但是，在图8 Ca)中，为了表记的方便，在移载部IOt使两工作台分离地配置。
[0149]首先，对在图8 Ca)中赋予各工件收置孔的序号进行说明。输送工作台3的工件收置孔4如上述那样全部共形成有16个。记述于各工件收置孔4中的输送工作台3的中心轴3a侧的序号〈1>~〈16>示出该工件收置孔4存在的位置即与输送工作台3的间歇旋转无关的固定位置。与线性送料器5的终端部相对的位置是〈1>，图3所示的工件Wl在位置〈1>从线性送料器5通过分离供给部6 (图1)的作用而向箭头Gl方向收置于工件收置孔4中。以下，向输送工作台3的间歇旋转方向即箭头Al方向〈1、2、...>内的序号逐个增加，最大值〈16>之后回到〈1>。例如，移载部IOt的位置由〈3>来表示。
[0150]与此相对，记述于各工件收置孔4中的输送工作台3外侧的序号(I)~(16)是单个地赋予该工件收置孔4的孔序号。即，孔序号与输送工作台3的间歇旋转对应地位置发生变化，顺时针方向增加地赋予。位置和孔序号的具体例如下。
[0151]在图8 (a)中，赋予了孔序号(I)的工件收置孔4存在于位置〈1>。若输送工作台3从该状态向箭头Al方向间歇旋转一次并停止，则赋予了孔序号(I)的工件收置孔4移动到位置〈2>，同时，在图8 Ca)中赋予了孔序号(16)的工件收置孔4移动到位置〈1>。
[0152]上述位置和孔序号的赋予规则，对于样本工作台IOx的工件收置孔11也是同样的。在样本工作台IOx中，以I~§标记位置，以[I]~[8]标记孔序号。位置I~§在样本工作台IOx的间歇旋转方向即箭头Xl方向上以1、1..?的数字增加，孔序号[I]~[8]在顺时针方向上增加。而且，位置丄是移载部IOt的工件收置孔11的位置，在此处存在孔序号[8]的工件收置孔11。即，在移载部10t，输送工作台3的位置〈3>的工件收置孔4与样本工作台IOx的位置I的工件收置孔11相对。而且，如后述那样，在工件测定装置I以样本测定模式工作时，从位置I的工件收置孔11朝向位置〈3>的工件收置孔4沿箭头Hl方向移载样本工件Wls，从位置〈3>的工件收置孔4朝向位置I的工件收置孔11向箭头Jl方向移载样本工件Wls。此外，在没有记述位置以及孔序号的图2以及引用图2的文章中，对于在上述移载部IOt相对的输送工作台3的工件收置孔4和样本工作台IOx的工件收置孔11，分别标记为工件收置孔4t以及lit。
[0153]此处，将与工件收置孔4以及工件收置孔11的位置和孔序号如图8 (a)所示那样地对应、输送工作台3以及样本工作台IOx停止的状态称为初始状态。而且，图1所示的控制部12进行控制，以使得若接通工件测定装置I的电源则必定成为初始状态。
[0154]由以上的说明可知，在工作中的工件测定装置I中，全部的工件收置孔4以及工件收置孔11能够根据孔序号而分别识别，且能够识别其位置。即，控制部12能够分别地识别分别收置于工件收置孔4以及工件收置孔11中的工件Wl或样本工件Wls。基于该识别信息，控制部12执行各种控制。
[0155] 在图8 (b)、(C)中示出图8 (a)即初始状态下的工件收置孔4以及工件收置孔11的位置与孔序号的对应的表。图8 (b)不出工件收置孔4,图8 (c)不出工件收置孔11。在图8 (b) (c)所示的各表的数据栏中，单独地识别并记述收置于赋予了该孔序号的工件收置孔4、11的工件Wl (样本工件Wsl)。此处，为了方便，在全部的数据栏中记述了表示该工件收置孔为空的“一”。此外，在图8 (b)的位置〈1>以及位置〈3>和图8 (c)的位置1，记述了与图8 (a)的箭头Gl、H1、J1对应的箭头。[0156]在图9中示出图2的移载部IOt的放大立体图。此处，图9中的输送工作台3的方向设为与图6相同。在移载部IOt，输送工作台3的工件收置孔4t和样本工作台IOx的工件收置孔Ilt各自的开口部具有极微小的间隙地相对。在位于输送工作台3的中心轴3a(图1)侧的工件收置孔4t的壁面4w形成的空气控制孔4a，经由在移载部IOt中形成于工作台基座2的空气通路10p2而连通于切换阀14a。切换阀14a具有选择三种切换模式xl、x2、x3的功能。
[0157]切换模式xl选择设置于工作台基座2内的真空产生源13，此时，空气通路10p2连通于真空产生源13，从空气控制孔4a向箭头V102的方向将工件收置孔4t内抽真空。另外，切换模式x2选择设置于工作台基座2内的压缩空气产生源15，此时，空气通路10p2连通于压缩空气产生源15，从空气控制孔4a向工件收置孔4t内沿箭头C102的方向喷出压缩空气。此外，切换模式x3什么都不选择，因此空气通路10p2与哪都不连通，工件收置孔4t内保持大气压的状态。
[0158]另外，在移载部IOt中，在工件收置孔4t所处的工作台基座2形成有传感器通路10s2。在成为传感器通路10s2的下方的工作台基座2内，配置有后述的光传感器光源4La(图28至图35)，朝向工件收置孔4t内送出向上的光，但是在图9中未图示。
[0159]与以上的工件收置孔4t相关的结构和作用，对于在移载部IOt中与工件收置孔4t相对的工件收置孔Ilt也是同样的。
[0160]在位于样本工作台IOx的中心轴IOxa (图1)侧的工件收置孔Ilt的壁面Ilw形成的空气控制孔11a，经由在移载部IOt中形成于工作台基座2的空气通路IOpl连通于切换阀14b。而且，切换阀14b选择切换模式xl、x2、x3，从而与工件收置孔4t同样地，将工件收置孔Ilt内向箭头Vl Ol的方向抽真空，或者向工件收置孔Ilt内向箭头ClOl的方向喷出压缩空气，或者工件收置孔Ilt内保持大气压的状态。
[0161]此外，在移载部IOt中，在工件收置孔Ilt所处的工作台基座2形成有传感器通路IOsl0在成为传感器通路IOsl的下方的工作台基座2内，配置有后述的光传感器光源IlLa(图28至图35)，与光传感器光源4La (图28至图35)同样地进行光的送出，但是在图9中未图示。
[0162]在图10中，示出在图9所示的移载部IOt中在工件收置孔Ilt中收置有样本工件Wls的立体图。切换阀14a选择切换模式x3，切换阀14b选择切换模式xl。因此，样本工件Wls被向箭头VlOl的方向真空吸引，保持于工件收置孔lit。此外，此时的样本工件Wls成为使发光面WlL朝向上侧且使电极Wla (阳极)朝向壁面Ilw侧的状态。若从该状态移载到与工件收置孔Ilt相对的工件收置孔4t，则样本工件Wls的朝向与图7所示的工件Wl的朝向一致。
[0163]对在移载部IOt中的样本工件Wls的移载，使用图11至图35来详细地进行说明。
[0164]图11 (a) (b) (c)至图27 (a) (b) (c)是在作为图1的单点划线区域Pl的放大图的图2中对应图8所示的位置以及孔序号，示出各工件收置孔内的工件的移动的状况的示意图。
[0165]此处，在图11 (a) (b) (c)至图27 (a) (b) (c)以及对应的说明中，将输送工作台3的全部16个工件收置孔4通过孔序号如工件收置孔(I)、工件收置孔(2)、..?那样记述而分别区分。同样地，将样本工作台IOx的全部8个工件收置孔11通过孔序号如工件收置孔[I]、工件收置孔[2]、..?那样记述而分别区分。另外，对于通过线性送料器5输送、在通常测定模式下通过输送工作台3输送的工件Wl (图7)，以1、2、..?那样的表记来分别区分。而且，同样地，对于在通常测定模式下保管于样本工作台ΙΟχ，且在样本测定模式下通过由输送工作台3输送的样本工件Wls (图10)，以a、b、..?那样的表记来分别区分。
[0166]另外，在本实施方式中，使样本工件Wls的数量为四个。图11是图8所示的初始状态。即，在位置〈1>工件收置孔(I)停止。此时，输送工作台3的工件收置孔(I)至(16)全部为空，通过在图11 (b)中在从孔序号(I)到(16)的全部数据栏记述示出该工件收置孔为空的“一”来表示该状态。
[0167]另外，在样本工作台IOx的工件收置孔[I]中收置有样本工件a，同样地，在工件收置孔[2]、[3]、[4]中分别收置有样本工件b、c、d。通过在图11 (c)中在孔序号[I]、[2]、
[3]、[4]的数据栏分别记述为a、b、c、d来示出该状态。
[0168]此外，对于样本工作台10x，与空的工件收置孔对应的数据也记述为“一”。此外，在图11 (a)中，在线性送料器5上，从靠近输送工作台3—侧依次排列有工件1、2、3。而且，在工件3的左侧，还如工件4、5、...那样多个工件Wl排列为一列，通过线性送料器5沿图1的箭头BI方向输送，但是未图示。
[0169]接着，如图12 (a)所示，线性送料器5上的工件Wl在通过图1中的分离供给部6的作用而被分离后，通过图7的箭头F6方向的真空吸引而向在图12 (a)中箭头Gl所示的方向移动，收置于输送工作台3的工件收置孔(I)中。通过在图12 (b)中在与位置〈1>以及孔序号(I)对应的行 的左侧表记箭头G1，且一并使数据为I来示出该状态。
[0170]从该状态开始通常测定模式，输送工作台3沿图1中的箭头Al方向间歇旋转，输送工件I。然后，若输送工作台3停止，则空的工件收置孔(16)停止于位置〈1>，在此处收置工件2。然后，同样地输送工作台3在图1中的箭头Al方向上间歇旋转，空的工件收置孔(15)停止于位置〈1>，在此处收置工件3。在图13 (a)中示出此时的状况。
[0171]工件收置孔(15)停止于位置〈1>，向箭头Gl方向收置工件3。此前收置了工件1、2的工件收置孔(I)、(16)分别移动到位置〈3>、〈2>。此时，虽然工件收置孔(I)停止于位置〈3>，即移载部10t，但是，由于处于通常测定模式下，因此没有移载部IOt对于工件收置孔(I)的作用。
[0172]图13的状态后，在输送工作台3的空的工件收置孔中从线性送料器5在位置〈1>依次收置工件Wl。然后，工件Wl通过输送工作台3的间歇旋转而输送，在如上述那样实施了各种测定后从输送工作台3排出。然后，因排出而再次成为空的工件收置孔到达位置〈1>，反复进行同样的工作。这些工作全部通过图1所示的控制部12的控制来实施。
[0173]如上所述，在工件测定装置I中，为了确认第一测定部7a、第二测定部7b、第三测定部7c的测定精度而应该进行样本工件Wls的数据取得的正时由使工件测定装置I工作的程序自动设定。
[0174]因此，若计时器12e通过时间计数检测到以上那样的通常测定模式已持续预先规定的时间，则控制部12判定为上述正时已到来。而且，进行控制，以转变为进行样本工件Wls的数据取得的样本测定模式。在下面详述其工作。
[0175]首先，在上述正时，停止图1所示的分离供给部6的工作。这样，在输送工作台3的工件收置孔4中不会新收置工件Wl。而且，在上述正时以前收置于输送工作台3的工件收置孔4中的工件Wl通过输送工作台3的间歇旋转，依次停止于图1所示的第一测定部7a、第二测定部7b、第三测定部7c，分别实施预定的测定。而且，基于这些测定结果，在不合格工件排出部8或合格工件排出部9从工件收置孔4排出。
[0176]在该时间点，输送工作台3的全部工件收置孔4成为空的。然后，输送工作台3以初始状态停止。在图14 (a) (b) (c)中示出该状况。在图14 (a)中，工件收置孔(I)停止于位置〈1>，在线性送料器5上排列着没有收置于输送工作台3的工件收置孔4中的工件W1。在其前头工件附上了序号，但是，这是一例，并不限于该序号。此外，如图14 (b)所示，工件收置孔(I)至(16)全部为空。
[0177]至此，从通常测定模式向样本测定模式的转变完成。从此，开始样本测定模式。首先，输送工作台3间歇旋转，工件收置孔(I)到达位置〈3>。在图15 (a) (b) (c)中示出该状况。接着，样本工作台IOx在图1中的箭头Xl方向上间歇旋转，收置有样本工件a的工件收置孔[I]到达位置I而停止。在图16 (a) (b) (c)中示出该状况。
[0178]如图16 (a) (b) (c)所示，位置〈3>与位置I相对的位置是移载部10t，从图16
(a)可知，在移载部10t，没有收置工件的输送工作台3的工件收置孔(I)与收置有样本工件a的样本工作台IOx的工件收置孔[I]相对。
[0179]对于从该状态移载样本工件a的顺序和移载完成的确认方法，使用作为从图16
(a)的箭头Kl方向观察移载部IOt的透视图的图28 (a) (b)至图31 (a) (b)来进行说明。图28 (a)是与图16 (a)对应的透视图，图10是其立体图。在图10中，切换阀14a选择切换模式x3，切换阀14b选择切换模式xl。因此，工件收置孔4t内保持为大气压，工件收置孔Ilt内被向箭头VlOl的方向抽真空。
[0180]S卩，在图28 (a)中，样本工件Wls (a)收置于工件收置孔Ilt内，位于在工件收置孔Ilt正下方的工作台基座2内形成的传感器通路IOsl的正上方。
[0181]此外，虽然在图28 (a) (b)至图31 (a) (b)中使用样本工件Wls Ca)的表记，但是，这是为了与图16 (a) (b) (c)的样本工件(a)对应。此处，在传感器通路IOsl下方的工作台基座2内，配置有光传感器光源llLa，朝向工件收置孔Ilt内送出向上的检测光LU.另一方面，在工件收置孔11的上方且与光传感器光源IlLa相对的位置配置有光传感器 llLb。
[0182]这种情况下，检测光Lll被收置于工件收置孔Ilt内的样本工件Wls (a)隔断，不被光传感器IlLb检测到。另一方面，在移载部10t，在与工件收置孔Ilt相对的工件收置孔4t正下方的工作台基座2内形成的传感器通路10s2的下方的工作台基座2内，配置有光传感器光源4La，朝向工件收置孔4t内送出向上的检测光L4。另一方面，在工件收置孔4t的上方且与光传感器光源4La相对的位置配置有光传感器4Lb。
[0183]这种情况下，由于在工件收置孔4t内没有收置样本工件Wls (a)，因此检测光L4被光传感器4Lb检测到。这样，在没有通过光传感器IlLb检测到检测光LI I，且通过光传感器4Lb检测到检测光L4的情况下，判定为样本工件Wls Ca)收置于样本工作台ΙΟχ。
[0184]在图28 (b)中不出该关系。由上述光传感器光源llLa、光传感器IILb、光传感器光源4La、光传感器4Lb构成了移载检测单元。
[0185]在图29 (a) (b)至图31 (a) (b)中示出从图28 (a)的状态将样本工件Wls (a)从样本工作台IOx移载到输送工作台3的状况。首先，在图29 (a) (b)中，切换阀14b选择切换模式x2，空气通路IOpl与压缩空气产生源15连通而向箭头ClOl的方向喷出压缩空气。同时，切换阀14a选择切换模式xl，空气通路10p2与真空产生源13连通而向箭头C102的方向抽真空。因此，样本工件Wls (a)开始向箭头Hl的方向移动。图29 (b)中示出使上述内容与检测光Lll以及检测光L4的检测状态对应的状况。
[0186]如图29 (b)所示，样本工件Wls (a)处于移动中，检测光Lll以及检测光L4的检测状态与图28 (b)相同。在图30 (a)中示出从图29 (a)的状态经过了稍许时间时的状况。样本工件Wls (a)向箭头Hl的方向持续移动，到达工件收置孔Ilt与工件收置孔4t的大体中间地点。此时,样本工件Wls (a)从传感器通路IOsl的正上方位置离开，检测光Lll由光传感器IlLb检测到。在图30 (b)中示出该关系。
[0187]然后，样本工件Wls (a)收置于工件收置孔4t内，如图31 (a)那样位于传感器通路10s2上。因此，从在传感器通路10s2下方的工作台基座2内配置的光传感器光源4La朝向工件收置孔4t内照射的检测光L4被样本工件Wls Ca)隔断，不被光传感器4Lb检测至IJ。在图31 (b)中示出该关系。这样，若将在移载部IOt是否通过光传感器IlLb以及光传感器4Lb检测到检测光Lll以及检测光L4的信息发送到图1所示的控制部12，则在这些信息从图28 (b)经图29 (b)、图30 (b)而变化为了图31 (b)的状态时，控制部12能够判定为样本工件Wls Ca)已从样本工作台IOx移载到输送工作台3。
[0188]此处，在图17 (a) (b) (c)示出与图31 (a) (b)对应的示意图。即，从箭头Kl方向观察图17 Ca)的透视图是图31 (a)。
[0189]在图17 (a) (b) (c)中，样本工件a向在移载部IOt示出的箭头Hl方向移动，从样本工作台IOx的工件收置孔[I]移载到输送工作台3的工件收置孔(I)。通过从图17(c)的位置I (孔序号[I])朝向图17 (b)的位置〈3> (孔序号(I))的箭头Hl示出该移载的状况。若这样地样本工件a的移载完成，则输送工作台3以及样本工作台IOx均间歇旋转。然后，如图18 (a)所示，空的工件收置孔(16)和收置了样本工件b的工件收置孔[2]分别到达移载部IOt而相对。而且，与上述样本工件a时同样地，样本工件b从样本工作台IOx的工件收置孔[2]移载到输送工作台3的工件收置孔(16)。在图19 (a) (b) (c)中示出移载结束时的状况。
[0190]之后，同样地使输送工作台3以及样本工作台IOx间歇旋转，在移载部IOt依次移载样本工件c以及d。在图20 (a) (b) (c)中示出样本工件d的移载完成时的状况。在图20 (a) (b) (c)中,全部的样本工件a?d从样本工作台IOx移载到输送工作台3。接着，输送工作台3间歇旋转，该样本工件a?d以该顺序依次到达图1所示的第一测定部7a、第二测定部7b、第三测定部7c并停止。然后，在各个测定部，对于各样本工件a?d实施与对于作为被测定工件的工件Wl实施的测定相同的波长测定、辉度测定、总光通量测定。
[0191]此时，如使用图8 Ca)所说明那样，控制部12识别各样本工件a?d分别收置于输送工作台3的工件收置孔(1)、(16)、(15)、(14)中的状况。因此，与各样本工件a?d相关的第一测定部7a、第二测定部7b、第三测定部7c的测定结果能够通过控制部12单独地识别。
[0192]这样地实施了各种测定的样本工件a?d通过输送工作台3的间歇旋转，通过不合格工件排出部8以及合格工件排出部9，而再次到达移载部10t。而且，通过控制部12的控制，样本工件a?d在移载部IOt从输送工作台3的工件收置孔(I)、(16)、(15)、(14)再次收置到先前收置了各样本工件a?d的样本工作台IOx的工件收置孔[I]、[2]、[3]、[4]。使用图21 (a) (b) (c)至图27 (a) (b) (c)来对该状况进行说明。
[0193]图21 (a) (b) (c)示出收置于输送工作台3的工件收置孔(I)中而实施了各种测定的样本工件a通过输送工作台3的间歇旋转而到达了移载部IOt时的状况。在移载部IOt与输送工作台3的工件收置孔(I)相对的样本工作台IOx的工件收置孔的孔序号是
[4]，这与示出完成了样本工件d从样本工作台IOx移载到输送工作台3的状态的图20(a)
(b)(C) 一致。
[0194]接着，样本工作台IOx在图1中的箭头Xl方向上间歇旋转，如图22 (a) (b) (c)所示，孔序号[I]的工件收置孔在移载部IOt与输送工作台3的工件收置孔(I)相对。
[0195]对于从该状态移载样本工件a的顺序和移载完成的确认方法，使用作为从图22的箭头Kl方向观察移载部IOt的透视图的图32 (a) (b)至图35 (a) (b)来进行说明。此夕卜，对于图32 (a) (b)至图35 (a) (b)所示的各部分的功能，由于已在图28 (a) (b)至图31 (a) (b)中记述，因此省略。
[0196]图32 (a)是与图22对应的透视图。在图32 (a)中，切换阀14a选择切换模式xl，切换阀14b选择切换模式x3。因此，工件收置孔4t内被向箭头V102方向抽真空，工件收置孔Ilt内保持为大气压。由于样本工件Wls (a)收置于工件收置孔4t内，因此光传感器光源4La送出的向上的检测光L4被样本工件Wls Ca)隔断，而不被光传感器4Lb检测到。
[0197]另一方面，由于在移载部IOt在与工件收置孔4t相对的工件收置孔Ilt中没有收置样本工件Wls(a)，因此光传感器光源IlLa送出的向上的检测光Lll被光传感器IlLb检测到。因此，可知样本工件Wls (a)收置于输送工作台3中。在图32 (b)中示出该关系。
[0198]在图33 (a) (b)至图35 (a) (b)中示出从图32 (a)的状态将样本工件Wls (a)从输送工作台3移载到样本工作台IOx的状况。首先，在图33 Ca)中，切换阀14a选择切换模式x2，空气通路10p2与压缩空气产生源15连通而向箭头C102的方向喷出压缩空气。同时，切换阀14b选择切换模式xl，空气通路IOpl与真空产生源13连通而向箭头VlOl的方向抽真空。因此，样本工件Wls (a)开始向箭头Jl的方向移动。
[0199]在图33 (b)中示出使该状态与检测光L4以及检测光Lll的检测状态对应的状况。样本工件Wls (a)处于移动中，检测光L4以及检测光Lll的检测状态与图32 (b)相同。在图34 (a)中示出从图33 (a)的状态经过了稍许时间时的状况。
[0200]如图34 (a)所示，样本工件Wls (a)向箭头Jl的方向持续移动，并到达工件收置孔4t与工件收置孔Ilt的大体中间地点。此时，样本工件Wls (a)从传感器通路10s2的正上方位置离开，检测光L4由光传感器4Lb检测到。在图34 (b)示出该关系。
[0201]然后，样本工件Wls (a)收置于工件收置孔Ilt内，如图35 (a)那样位于传感器通路IOsl上。因此，从光传感器光源IlLa朝向工件收置孔Ilt内照射的检测光11被样本工件Wls (a)隔断，不被光传感器IlLb检测到。在图35 (b)示出该关系。
[0202]在移载部10t，是否通过光传感器4Lb以及光传感器IlLb检测到检测光L4以及检测光Lll的信息发送到图1所示的控制部12。在这些信息从图32 (b)经图33 (b)、图34 (b)而变化为了图35 (b)的状态时，控制部12能够判定为样本工件Wls Ca)已从输送工作台3移载到样本工作台IOx。[0203]此处，在图23 (a) (b) (c)中示出与图35 (a) (b)对应的示意图。即，从箭头Kl方向观察图23 (a)的透视图是图35 (a)。在图23 (a)中，样本工件a向移载部IOt所示的箭头Jl方向移动，从输送工作台3的工件收置孔(I)移载到样本工作台IOx的工件收置孔[I]。通过从图23 (b)的位置〈3> (孔序号(I))朝向图23 (c)的位置I (孔序号[I])的箭头Jl示出该移载的状况。
[0204]若这样地样本工件a的移载完成，输送工作台3以及样本工作台IOx均间歇旋转。然后，如图24 (a)所示，收置了样本工件b的工件收置孔(16)与空的工件收置孔[2]分别到达移载部IOt而相对。然后，与上述样本工件a时同样地，样本工件b从输送工作台3的工件收置孔(16)移载到样本工作台IOx的工件收置孔[2]。在图25 (a) (b) (c)中示出移载完成时的状况。
[0205]之后，同样地使输送工作台3以及样本工作台IOx间歇旋转，在移载部IOt依次移载样本工件c以及d。在图26 (a) (b) (c)中示出样本工件d的移载完成时的状况。
[0206]在图26 (a) (b) (c)中，全部的样本工件a?d从输送工作台3移载到样本工作台ΙΟχ。而且，各样本工件a?d在样本工作台IOx中的移载目的地与先前收置这些样本工件的工件收置孔一致。
[0207]若如上所述，全部的样本工件移载到样本工作台10x，则通过控制部12，在比较部12b对在图1所示的第一测定部7a、第二测定部7b、第三测定部7c中测定的各样本工件Wl的测定结果与预先在控制部12内的储存部12a中储存的各样本工件Wls的已知的测定结果(基准特性)进行比较。然后，对于双方的测定结果的差异偏离预先规定的标准值(预定值)的测定部，从警报部12c显示警报，或者发出警报声，通知作业者，以校正配置于该测定部的测定器。
[0208]通过以上动作结束样本测定模式，工件测定装置I停止工作。如果存在上述通知，则作业者切断工件测定装置I的电源，校正了应该校正的测定器后，再次接通电源来启动工件测定装置I。启动了的工件测定装置I以通常测定模式再次开始工作。
[0209]另外，若没有上述通知，不需要测定器的校正，则作业者一度切断工件测定装置I的电源，然后马上接通电源来启动工件测定装置I。或者，也可以在保持接通电源的状态下按下启动用的按钮开关来启动工件测定装置I。在任一种情况下，启动了的工件测定装置I都以通常测定模式再次开始工作。
[0210]如上所述，根据本实施方式，能够容易且简单地确认第一测定部7a、第二测定部7b、第三测定部7c的测定精度。
[0211]第二实施方式
[0212]接着，通过图36至图51对本发明的第二实施方式进行说明。
[0213]图36是示出应用了本发明的工件测定装置21的主视图。工件测定装置21具有与垂直配置的工作台基座22相邻且自由旋转地配置的作为输送体的圆形输送工作台23，输送工作台23通过未图示的驱动机构的作用而绕中心轴23a沿箭头A2的方向间歇旋转。
[0214]在输送工作台23的外周附近贯穿输送工作台23的两面地形成有作为保持部的多个工件收置孔24。即，工件收置孔24在输送工作台23的一面以及另一面开口，在这里单独地收置后述的作为被测定工件的工件W2以及与该工件W2相同形状的样本工件W2s并将其输送。[0215]另外，如图37所示，朝向输送工作台23的一面而水平配置有直线形状的线性送料器25。线性送料器25具有通过未图示的驱动机构的作用振动，通过该振动使工件W2以一列状态朝向输送工作台23的一面输送的功能。线性送料器25的终端部接近输送工作台23的一面，在此处与工件收置孔24的开口部相对。在线性送料器25的终端部与工件收置孔24的开口部相对的位置，配置有使线性送料器25上的工件W2 —个个分离而单个地供给到工件收置孔24的作为分离供给单元的分离供给部26。从该分离供给部26沿输送工作台23的间歇旋转方向即箭头A2方向依次配置有进行工件W2的各种特性的测定的作为测定单元的第一测定部27a、第二测定部27b以及从工件收置孔24排出基于测定的结果而判定为不合格的工件W2的作为排出单元的不合格工件排出部28和从工件收置孔24排出基于测定的结果而判定为合格的工件W2的作为排出单元的合格工件排出部29。
[0216]另外，沿输送工作台23的间歇旋转方向即箭头A2方向，在分离供给部26与第一测定部27a之间，配置有作为样本工件供给单元的样本工作台30x，且配置有在样本工作台30x与输送工作台23之间进行样本工件W2s的移载的移载部30t。
[0217]由该样本工作台30x和移载部30t，构成测定系统确认部30。样本工作台30x的形状与输送工作台23同样地呈圆形，通过未图示的驱动机构的作用，绕中心轴30xa向箭头X2方向间歇旋转。在样本工作台30x的靠近外周部的部分，形成有具有与输送工作台23同样形状的作为保管部的多个工件收置孔31，在工件收置孔31中保管样本工件W2s。
[0218]而且，设置有进行构成工件测定装置21的输送工作台3、分离供给部26、第一测定部27a、第二测定部27b、不合格工件排出部28、合格工件排出部29、样本工作台30x以及移载部30t的控制的控制部32。
[0219]此外，输送工作台23间歇旋转来输送工件W2，因此，为了防止在间歇旋转时因作用于工件W2的振动而工件W2飞出到输送工作台23的外侧，在从分离供给部26到合格工件排出部29的输送工作台23的一面侧，形成有未图示的工作台盖。
[0220]在图37中示出从图36中的箭头M方向观察工件测定装置21的俯视图。然而，为了简便，在图37中没有记述第一测定部27a、第二测定部27b、不合格工件排出部28、合格工件排出部29。上述线性送料器25通过振动使工件W2以一列状态朝向输送工作台23的一面输送的方向是图37中的箭头B2的方向。
[0221]另外，测定系统确认部30的样本工作台30x位于输送工作台23的一面侧，如图36所示那样在移载部30t与输送工作台23重叠。而且，如后所述，工件收置孔24和工件收置孔31的各自的开口部在移载部30t相对。此外，在测定系统确认部30中，在样本工作台30x的与输送工作台23的相反一侧，配置有工作台盖30b，工作台盖30b内置移载部30t的功能，并且用于防止因与样本工作台30x的间歇旋转相伴的振动而使样本工件W2s从样本工作台30x飞出。
[0222]在图38中示出图36中的测定系统确认部30附近、即单点划线区域P2的放大图。然而，为了简便，在图38中没有记述工作台盖30b。
[0223]输送工作台23的工件收置孔24与样本工作台30x的工件收置孔31在移载部IOt各自的开口部相对。将该开口部相对状态下的工件收置孔24和工件收置孔31在图38中记作工件收置孔24t和工件收置孔31t。在工件收置孔24和工件收置孔31中，收置图39以及图40所示的形状的工件W2以及样本工件W2s。此处，样本工件W2s与工件W2相同，且是其特性即图36所示的第一测定部27a、第二测定部27b的各自的测定结果为已知的工件。
[0224]具体而言，使用与在第一测定部27a、第二测定部27b使用的测定器相同且校正后的测定器，对于样本工件W2s预先实施与第一测定部27a、第二测定部27b的测定项目相同的测定，将其测定结果(基准特性)储存于控制部32内的储存部32a中。该样本工件W2s的基准特性能够通过控制部32的控制而从储存部32a读取。
[0225]另外，控制部32具有:在采取样本测定模式时，对样本工件W2s的基准特性和工件W2的测定结果进行比较的比较部32b ;和通过比较部32b进行比较的结果是两者的差异超过了预定值时，发出警报的警报部32c。另外，控制部32具有:判定部32d，在采取通常测定模式时，基于第一测定部27a、第二测定部27b的测定结果来进行工件W2是合格还是不合格的判定；和自动切换单元32f，切换控制部32的模式。
[0226]此处，使用图39至图41对工件W2进行说明。在图39中示出工件W2的立体图，且在图40 (a) (b) (c)中分别示出从图39中的箭头C2、D2、E2的方向观察工件W2的图。此外，在图41中示出工件W2的电路图。工件W2是电感器。
[0227]如图39以及图40 (a) (b) (c)所示，工件W2包括由绝缘体形成为六面体形状的基体W2x和在其长度方向两端由导电体形成的电极W2a、W2b。而且，电极W2a、W2b和工件W2的电路的对应如图41那样。即、在电极W2a、W2b之间形成有电感器L0，通过绝缘体覆盖其周围而做成基体W2x。市场上销售有以下的产品:构成工件W2的六面体的各边的长度(图40中的a2、b2、c2)为，长度方向的长度a2为2mm?3mm左右，电极W2a、W2b的各边的长度b2以及c2分别为1_?2_左右。
[0228]接着，使用图42以及图43对输送工作台23的工件收置孔24进行说明。图42是工件收置孔24停止于图36以及图37中的分离供给部26的状态下的立体图。
[0229]工件收置孔24在与工作台基座22相邻地配置的输送工作台23的两面开口，图36以及图37所示的线性送料器25的终端部位于与该开口部相对的位置，但是，没有在图42中图示。在与该开口部相对的工作台基座22内，形成有在其壁面24w具有开口部24b的空气通路26v。空气通路26v连通于设置于工作台基座22内的真空产生源132。而且，通过来自该真空产生源132的向箭头F26方向的抽真空，在工件收置孔24的内部朝向壁面24w作用吸引力。此外，输送工作台23与工作台基座22极接近地配置，因此在分离供给部26，工件收置孔24的内部成大体密闭状态，上述吸引力高效地作用。
[0230]接着，对由这样的结构构成的本实施方式的作用、即工件测定方法进行说明。
[0231]在图36中，工件W2集中地投入未图示的零件供给器。然后，以电极W2a以及W2b朝向工件的行进方向即图37所示的箭头B2方向的方式使方向一致，在线性送料器25上排成一列。如上所述，直线送料器25通过未图示的驱动机构的作用振动，通过该振动，工件W2以一致于上述方向的一列状态向箭头BI方向输送。然后，到达了与停止的输送工作台23的工件收置孔24的开口部相对的位置的工件W2在分离供给部26中通过未图示的分离机构的作用而被一个个分离，通过图42所示的向箭头26方向的抽真空而单个地收置于工件收置孔24中。
[0232]这样，在图43中作为立体图示出工件W2收置于工件收置孔24中的状况。此时，由于在线性送料器25上预先如上述那样使工件W2的方向一致，因此在工件W2收置于工件收置孔24中的状态下，电极W2a、W2b在输送工作台23的两面露出。此外，虽然图43所示的工件W2的电极W2b面向工作台基座22侧，但是，也存在以电极W2a面向工作台基座22侧的方式收置的工件W2。
[0233]接着，输送工作台23在图36所示的箭头A2的方向上间歇旋转，在分离供给部26收置于工件收置孔24中的工件W2通过移载部30t，在第一测定部27a处停止。然后，与作为测定器的LCR表连接的未图示的探针与在输送工作台23的两面露出的工件W2的电极W2a以及W2b抵接，实施工件W2的电感值测定以及Q值测定。接着，通过输送工作台23的间歇旋转，工件W2到达第二测定部27b并停止。然后，与第一测定部27a同样地，与作为测定器的直流电阻计连接的未图示的探针与在输送工作台23的两面露出的工件W2的电极W2a以及W2b抵接，实施工件W2的直流电阻值测定。
[0234]若以上的测定结束，则基于来自第一测定部27a、第二测定部27b的测定结果，控制部32通过判定部32d来判定工件W2是合格还是不合格。然后，与该判定结果对应地，通过输送工作台23的间歇旋转，在不合格工件排出部28或合格工件排出部29排出工件收置孔24内的工件W2。在合格工件排出部29全部的工件收置孔24成为空的，在通过输送工作台23的间歇旋转而到达了分离供给部26的空的工件收置孔24中再次收置工件W2，反复进行与上述同样的作用。以上是工件测定装置21的通常测定模式。
[0235]工件测定装置21的样本测定模式的工作与工件测定装置I的样本测定模式相同。即，在图38中，将在样本工作台30x的工件收置孔31中预先收置的样本工件W2s在移载部30t移载到输送工作台23的工件收置孔24中，在图36所示的第一测定部27a、第二测定部27b实施了测定后，再次在移载部30t处移载到样本工作台30x的工件收置孔31中。此夕卜，从通常测定模式向样本测定模式的转变也与工件测定装置I同样地成为基于程序的自动设定。
[0236]工件测定装置21与工件测定装置I同样地，具有输送工作台23的工件收置孔24以及样本工作台30x的工件收置孔31的位置识别功能。在输送工作台23形成有全部共16个工件收置孔24，在样本工作台30x形成有全部共8个工件收置孔31。这些工件收置孔的数量与工件测定装置I相同。在图44 (a) (b) (c)中示出对于各工件收置孔，与工件测定装置I同样地标记了固定位置和孔序号的示意图。
[0237]在图44 (a) (b) (c)中，固定位置和孔序号的表记方法与在工件测定装置I的说明中引用的图8 (a) (b) (c)相同，因此省略详细说明。
[0238]此处，输送工作台23的固定位置<1>赋予在图36中与分离供给部26相对的工件收置孔的位置，移载部30t的固定位置在输送工作台23是(3)，样本工作台30x是[8]。
[0239]这些赋予方法与工件测定装置I相同。另外，对图44 (a) (b) (c)与图8 (a) (b)
(c)进行比较可知，输送工作台23的间歇旋转方向A2以及样本工作台30x的间歇旋转方向X2仍然与工件测定装置I相同。进而，如图44 (c)所示，预先收置样本工件a?d的样本工作台30x的工件收置孔31的孔序号也与工件测定装置I相同。即，在工件测定装置21中，通常测定模式下的工作以及样本测定模式下的在样本工作台30x与输送工作台23之间移载样本工件W2s的步骤，除了各工作台的工件收置孔的形状不同以外，与工件测定装置I的图11 (a) (b) (c)至图27 (a) (b) (c)完全相同。因此，省略详细说明。
[0240]在图45中示出从图38的箭头K2方向观察移载部30t的透视图。在图45中，移载部30t中，工作台基座22、输送工作台23、样本工作台30x、工作台盖30b按该顺序以在相互之间均具有微小间隙的方式从右向左排列配置。输送工作台23的工件收置孔24t与样本工作台30x的工件收置孔31t如上述那样各自的开口部相对。
[0241]另外，在工作台基座22内，形成有与工件收置孔24t的开口部相对地开口的空气通路30p2。同样地，在工作台盖30b内，形成有与工件收置孔31t的开口部相对地开口的空气通路30pl。进而，在工作台基座22内，形成有与工件收置孔24t的开口部相对地开口的传感器通路30s2。
[0242]在位于传感器通路30s2右方的工作台基座22内，配置有光传感器24L，该光传感器24L具有朝向工件收置孔24t内送出光并通过是否检测到反射光来检测在工件收置孔24t内是否移载了样本工件W2s的功能。
[0243]该光传感器24L具有将第一实施方式的图28 (a) (b)至图35 (a) (b)所不的光传感器光源4La和光传感器4Lb整合为一的功能，以反射型光传感器或光反射器等名称在市场上销售。同样地，在工作台盖30b内，形成有与工件收置孔31t的开口部相对地开口的传感器通路30sI。
[0244]在位于传感器通路30sl左方的工作台盖30b内，配置有光传感器31L，该光传感器31L具有朝向工件收置孔31t内送出光并通过是否检测到反射光来检查在工件收置孔31t内是否移载了样本工件W2s的功能。
[0245]光传感器31L具有将第一实施方式的图28 (a) (b)至图35 (a) (b)所不的光传感器光源IlLa和光传感器IlLb整合为一的功能。由该传感器24L以及光传感器31L构成移载检测单元。在图46中示出移载部30t的放大立体图。
[0246]如图46所示，在移载部30t，形成于工作台基座22的空气通路30p2与切换阀142a连通。切换阀142a具有选择三种切换模式xl、x2、x3的功能。切换模式xl选择设置于工作台基座22内的真空产生源132，此时，空气通路30p2连通于真空产生源132，工件收置孔24t内被向箭头V302的方向抽真空。另外，切换模式x2选择设置于工作台基座22内的压缩空气产生源152，此时，空气通路30p2连通于压缩空气产生源152，向工件收置孔24t内向箭头C302的方向喷出压缩空气。另外，切换模式x3什么都不选择，因此空气通路30p2与哪都不连通，工件收置孔24t内保持大气压的状态。
[0247]同样地，在移载部IOt中，形成于工作台盖30b的空气通路30pl连通于切换阀142b。而且，通过切换阀142b选择切换模式xl、x2、x3，与工件收置孔24t同样地，工件收置孔31t内被向箭头V301的方向抽真空，或向工件收置孔31t内向箭头C301方向喷出压缩空气，或工件收置孔31t内保持大气压的状态。
[0248]在图47中示出在移载部30t中在工件收置孔31t中收置有样本工件W2s的状况。切换阀142a选择切换模式x3，切换阀142b选择切换模式xl。因此，样本工件W2s被向箭头V301的方向真空吸引，保持于工件收置孔31t。若样本工件W2s从该状态移载到与工件收置孔31t相对的工件收置孔24t，则样本工件W2s的朝向与图43所示的工件W2的朝向一致。
[0249]对于移载部30t的移载样本工件W2s的顺序和移载完成的确认方法，使用图48(a)(b)至图51 (a) (b)来进行说明。其原理与工件测定装置I的图28 (a) (b)至图35 (a)(b)相同，因此说明大幅简化地进行。图48 (a)是与图45对应的透视图，图47是其立体图。在图48 (a)中，切换阀142a选择切换模式x3，切换阀142b选择切换模式xl。
[0250]如图48 Ca)所示，工件收置孔24t内保持为大气压，工件收置孔31t内被向箭头V301的方向抽真空。即，在图48 (a)中，样本工件W2s收置于工件收置孔31t内，位于紧靠着在与工件收置孔31t相对的工作台盖30b内形成的传感器通路30sl的位置。因此，从光传感器31L通过传感器通路30sl朝向工件收置孔31t内送出的光被样本工件W2s反射，该反射光L31通过传感器通路30sl到达光传感器31L而被检测。
[0251]另一方面，由于样本工件W2s远离传感器通路30s2，因此从配置于工作台基座22内的光传感器24L通过传感器通路30s2朝向工件收置孔31t内送出的光在到达样本工件W2s前衰减。因此，没有被样本工件W2s反射的光，光传感器24L什么都检测不到。这种情况下，可知样本工件W2s收置于样本工作台30x中。在图48 (b)中示出该关系。
[0252]在图49 (a) (b)中示出从图48 (a) (b)的状态将样本工件W2s从样本工作台30x移载到输送工作台23的状况。
[0253]在图49 Ca)中，切换阀142a选择切换模式xl，空气通路30p2连通于真空产生源132，向箭头V302方向进行抽真空。同时，切换阀142b选择切换模式x2，空气通路30pl连通于压缩空气产生源152，向箭头C301的方向喷出压缩空气。因此，样本工件W2s开始向箭头H2方向移动，在图49 Ca)中，处于从样本工作台30x向输送工作台23移动中的状态。
[0254]如图49 Ca)所示，样本工件W2s从传感器通路30sl以及30s2中任一个均远离，因此从光传感器31L通过传感器通路30sl朝向工件收置孔31t内送出的光以及从光传感器24L通过传感器通路30s2朝向工件收置孔24t内送出的光均在到达样本工件W2s前衰减。因此，没有被样本工件W2s反射的光，光传感器31L和24L什么都检测不到。在图49(b)示出该关系。在图50 (a)中示出从该状态进一步经过时间，样本工件W2s已移载到输送工作台23的状态。
[0255]如图50 Ca)所示，样本工件W2s收置于工件收置孔24t内，位于紧靠着在与工件收置孔24t相对的工作台基座22内形成的传感器通路30s2的位置。因此，光传感器31L以及24L的检测状况与图48 (b)的情况相反，成为图50 (b)那样。
[0256]S卩，若将在移载部30t中光传感器31L以及24L是否检测到反射光的信息发送到图36所示的控制部32，则在这些信息从图48 (b)经图49 (b)变为了图50 (b)的状态时，控制部32能够判定为样本工件W2s已从样本工作台30x移载到输送工作台23。同样地，在将样本工件W2s从输送工作台23移载到样本工作台30x时，从图50 (a) (b)的状态经图51 (a) (b)的状态变为图48 (a) (b)的状态。
[0257]在图51 Ca)中，切换阀142a选择切换模式x2，空气通路30p2连通于压缩空气产生源152，向箭头C302的方向喷出压缩空气。同时，切换阀142b选择切换模式xl，空气通路30pl连通于真空产生源132，向箭头V301的方向进行抽真空。因此，样本工件W2s开始向箭头J2的方向移动，在图51 Ca)中，处于从输送工作台23向样本工件30x移动中的状态。此时，样本工件W2s相对于光传感器31L以及24L的位置与图49 (a) (b)所示的状态是同样的，因此各光传感器的反射光检测成为图51 (b)那样。
[0258]S卩，若将在移载部30t中光传感器31L以及24L是否检测到反射光的信息发送到图36所示的控制部32，则在这些信息从图50 (b)经图51 (b)变为了图48 (b)的状态时，控制部32能够判定为样本工件W2s已从输送工作台23移载到样本工作台30x。[0259]如上所述，在图36所示的工件测定装置21中，也能够与图1所示的工件测定装置I同样地进行样本测定模式下的工作，对其测定结果与预先储存于控制部32内的储存部中的各样本工件的已知的测定结果进行比较。而且，对于双方的测定结果的差异偏离预定的标准值的测定部，与上述工件测定装置I同样地发出警报来通知作业者。
[0260]第三实施方式
[0261]接着，使用图52至图66对本发明的第三实施方式进行说明。
[0262]在图52中示出应用了本发明的工件测定装置41的俯视图。另外，在图53中示出从箭头N方向观察图52的主视图。
[0263]但是，为了简便，在图53中，除了图52的主要部分以外没有进行表记。工件测定装置41具有作为输送体的水平的输送工作台43，在输送工作台43的一面侧设置有相对于输送工作台43自由进退的输送管嘴(nozzle) 44来作为保持部。在图52以及图53中，在水平配置的工作台基座42的上方离开地、由作为中心轴的支柱43a支撑而自由旋转地配置有作为输送体的圆形的输送工作台43。
[0264]输送工作台43通过未图示的驱动机构的作用绕支柱43a在图52所示的箭头A3方向上间歇旋转。接近输送工作台43的外周部地在面向工作台基座42的一面侧配置有多个输送管嘴44。如图53所示，输送管嘴44通过未图示的驱动机构的作用相对于输送工作台43的一面向箭头Q以及箭头R的方向自由进退。图53示出全部的输送管嘴44处于上限位置的状态。输送工作台43以输送管嘴44位于该上限位置的状态间歇旋转。在输送管嘴44的下端，单个地保持作为被测定工件的后述工件W3以及与工件W3相同的样本工件W3s并将其输送。
[0265]如图52所示，在工作台基座42上，朝向输送工作台43的外周部正下方地配置有直线形状的线性送料器5。线性送料器5具有通过未图示的驱动机构的作用振动，通过该振动使工件W3以一列状态向箭头B3方向输送的功能。线性送料器5的终端部在输送工作台43的外周部的正下方，位于工作台基座42的上面。而且，在比该位置稍靠近输送工作台43的支柱43a且成为输送管嘴44的正下方的位置，配置有使线性送料器5上的工件W3 —个个分离而单个地供给到输送管嘴44的作为分离供给单元的分离供给台46。
[0266]从该分离供给台46沿输送工作台43的间歇旋转方向即箭头A3方向，与工件测定装置I同样地，依次配置有:进行工件W3的各种特性的测定的作为测定单元的第一测定部47a、第二测定部47b、第三测定部47c以及从输送管嘴44排出基于测定的结果而判定为不合格的工件W3的作为排出单元的不合格工件排出部48、从工件收置孔44排出基于测定的结果而判定为合格的工件W3的作为排出单元的合格工件排出部49。
[0267]另外，沿输送工作台43的间歇旋转方向即箭头A3方向，在成为分离供给台46与第一测定部47a之间的工作台基座42的上面，配置有作为样本工件供给单元的样本工作台10x，且配置有在样本工作台IOx与输送工作台43之间进行样本工件W3s的移载的作为移载位置的移载部50t。样本工作台IOx为与在第一实施方式中说明的例子相同的形状。另夕卜，移载部50t配置于样本工作台IOx的工件收置孔11成为输送管嘴44的正下方的位置。另外，配置有用于控制构成工件测定装置41的输送工作台43、分离供给部46、第一测定部47a、第二测定部47b、第三测定部47c、不合格工件排出部48、合格工件排出部49、样本工作台IOx以及移载部50t的工作的控制部52。[0268]另外，控制部52具有:在采取样本测定模式时，对样本工件W3s的基准特性与工件W3的测定结果进行比较的比较部52b ;和通过比较部52b进行比较的结果是两者的差异超过了预定值时，发出警报的警报部52c。另外，控制部52具有:判定部52d，在采取通常测定模式时，基于第一测定部47a、第二测定部47b、第三测定部47c的测定结果来进行工件W3是合格还是不合格的判定；和自动切换单元52f，切换控制部52的模式。
[0269]此处，对工件W3进行说明。在图54中示出工件W3的立体图，分别在图55 (a)、
(b)、(c)中示出从图54中的箭头C3、D3、E3的方向观察工件W3的图。工件W3是发光二极管(LED)。如图54以及图55所示，工件W3具有与图3以及图4所示的工件Wl类似的形状。S卩，工件W3由绝缘体形成为六面体形状，在作为其一面的面W3f4，大体平面状地形成由透明的树脂覆盖的发光面W3L，并且在与面W3f4相邻且互相相对的两个面即面W3f2以及面W3f3,由导电体构成的电极W3a、W3b分别突出。而且，电极W3a、W3b与工件W3的电路的对应与图5是同样的。
[0270]S卩，电极W3a为阳极，电极W3b为阴极，若从直流电压源将预先规定的直流电压以电极W3a比电极W3b电位高的方式对工件W3供给，则发光面W3L发光。这样，由于电极W3a和电极W3b存在方向性，因此在从外部观察工件W3时需要识别其方向。出于该目的，在面W3fl的靠近电极W3b —侧的角部，印刷有示出电极W3b为阴极的阴极标志W3m。市场上销售有如下产品:构成工件W3的六面体的各边的长度(图55中的a3、b3、c3)为，印刷有阴极标志W3m的面W3f I的各边的长度a3、b3为5mm?7mm左右，电极W3a、W3b突出的面W3f2以及面W3f3的短边的长度c3为2mm左右。
[0271]如图54以及图55所示，工件W3与图3以及图4所示的工件Wl不同，在构成该工件的六个面中面积最大的面W3f I没有发光面，因此，如后述那样，能够通过输送管嘴44吸附面W3f I来进行输送。
[0272]工件测定装置41与工件测定装置I同样地，具有输送工作台43的输送管嘴44以及样本工作台IOx的工件收置孔11的位置识别功能。此处，输送工作台43代替工件测定装置I中的输送工作台3的工件收置孔4而配置有输送管嘴44，因此将在输送工作台3的说明中使用的孔序号改称为管嘴序号来进行说明。在输送工作台43配置有全部共16个输送管嘴44，在样本工作台IOx形成有全部共8个工件收置孔11。这些输送管嘴以及工件收置孔的数量与工件测定装置I相同。在图56中示出对于各输送管嘴以及工件收置孔，与工件测定装置I同样地标记固定位置和管嘴序号或孔序号的示意图。固定位置和管嘴序号或孔序号的表记方法与在工件测定装置I的说明中引用的图8相同，因此省略详细说明。
[0273]此处，输送工作台43的固定位置<1>赋予在图52中配置于分离供给台46的正上方的输送管嘴的位置，移载部50t的固定位置在输送工作台43是(3)，在样本工作台IOx是[8]。这些标注方法与工件测定装置I相同。
[0274]另外，对图56和图8进行比较可知，输送工作台43的间歇旋转方向A3以及样本工作台IOx的间歇旋转方向X3仍然与工件测定装置I相同。此外，预先收置样本工件a?d的样本工作台IOx的工件收置孔11的孔序号也与工件测定装置I相同。即，在工件测定装置41中，通常测定模式下的工作以及样本测定模式下的在样本工作台IOx与输送工作台43之间移载样本工件W3s的步骤，除了输送工作台43具有输送管嘴来代替工件收置孔以夕卜，与工件测定装置I的图11至图27完全相同。因此，省略详细说明。[0275]接着，以下对具有这样的结构的工件测定装置41的作用、即工件测定方法进行说明。在图52中，工件W3集中投入未图示的零件供给器。
[0276]然后，通过未图示的方向检测机构的作用，以图54所示的发光面W3L成为与工件的行进方向即图52所示的箭头B3方向相反的方向的方式使方向一致，在线性送料器5上排成一列。在图52中，通过线性送料器5的作用，沿着箭头B3方向以一列状态输送的工件W3若到达其终端部，则通过未图示的分离供给机构的作用，向图56中的箭头G3方向朝向分离供给台46单个地移载。若工件W3移载到分离供给台46上，则在图53中停止于分离供给台46正上方的上限位置的、下端没有保持工件W3的输送管嘴44向箭头Q方向下降。然后，如图57所示，以输送管嘴44的下端抵接于放置于分离供给台46的工件W3的面W3fl的状态停止。
[0277]这种情况下，在输送管嘴44的内部形成有空气通路44a，在输送管嘴44的下部敞开有开口部44b。而且，空气通路44a经由图53所示的输送工作台43以及中心轴43a而到达工作台基座42内，连通于配置于此的切换阀16a。
[0278]切换阀16a具有选择2种切换模式yl、y3的功能。切换模式yl选择设置于工作台基座42内的真空产生源133a，此时，空气通路44b连通于真空产生源133a，被向箭头F44的方向抽真空。
[0279]另一方面，切换模式y3什么都不选择，因此空气通路44b与哪里都不连通，保持大气压的状态。输送管嘴44从在图53中停止于分离供给台46正上方的上限位置的状态向箭头Q的方向下降，如图57所示，在直到其下端与工件W3的面W3fl抵接的期间，切换阀16a选择切换模式y3。
[0280]S卩，空气通路44b处于大气压的状态。然后，若输送管嘴44的下端与工件W3的面W3fl抵接而停止，则切换阀16a选择切换模式yl。此时，空气通路44b连通于真空产生源133a，向箭头F44的方向抽真空，因此工件W3被吸附保持于输送管嘴44的下端。此时，图57所示的工件W3如上述那样在线性送料器5上方向一致，因此箭头S方向与图56中的箭头G3方向一致。S卩，工件W3以发光面W3L朝向输送工作台43的外侧的方式保持于输送管嘴44。
[0281]接着，输送管嘴44以保持着工件W3的状态，向图53的箭头R方向上升而在上限位置处停止。然后，输送工作台43在图52的箭头A3方向上间歇旋转，输送工件W3。
[0282]然后，工件W3通过移载部50t，在第一测定部47a停止。然后，输送管嘴44向图53所示的箭头Q方向下降，工件W3放置于在工作台基座42上配置的、未图示的测定台上。然后，与工件测定装置I的第一测定部7a同样地，使用未图示的直流电源以及波长计，来实施工件W3的波长测定。在该测定期间，维持工件W3吸附保持于输送管嘴44的状态。若测定结束，则输送管嘴44以保持着工件W3的状态向图53的箭头R方向上升而在上限位置处停止。然后，输送工作台43在图52的箭头A3方向上间歇旋转，输送工件W3。然后，与第一测定部47a同样地，工件W3依次停止于第二测定部47b、第三测定部47c，反复进行输送管嘴44的下降、各测定部的测定项目的测定、输送管嘴44的上升。
[0283]此处，与第二测定部47b、第三测定部47c对应的测定项目与第一实施方式中的工件测定装置I的第二测定部7b、第三测定部7c的测定项目相同。因此，省略详细说明。
[0284]若以上的测定结束，则控制部52基于来自第一测定部47a、第二测定部47b、第三测定部47c的测定结果通过判定部52d判定工件W3是合格还是不合格。然后，与该判定结果对应地，通过输送工作台43的间歇旋转，在不合格工件排出部48或合格工件排出部49排出吸附保持于输送管嘴44的工件W3。
[0285]在排出时，在各工件排出部48、49中，图57所示的切换阀16a选择切换模式y3，使空气通路44a为大气压，从而使工件W3从输送管嘴44的下端由于重力而自然落下，导向未图示的排出口。
[0286]在图52中，在合格工件排出部49以后全部输送管嘴44的下端都成为什么都不保持的状态，在通过输送工作台43的间歇旋转而到达了分离供给台46正上方位置的输送管嘴44再次吸附保持工件W3，反复进行与上述同样的作用。以上一系列作用是通常测定模式，全部基于控制部52的控制来执行。
[0287]接着，对样本测定模式进行说明。如上所述，在工件测定装置41中，输送工作台43的输送管嘴44以及样本工作台IOx的工件收置孔11的位置识别功能与工件测定装置I相同。
[0288]另外，样本测定模式下在样本工作台IOx与输送工作台43之间移载样本工件W3s的步骤也与工件测定装置是I同样的。因此，此处仅对移载部50t中的移载方法和移载检测单元进行说明。
[0289]在图58中，作为立体图示出样本工件W3s收置于样本工作台IOx的工件收置孔11中的状况。移载部50t中工件收置孔11的上侧敞开。另外，样本工件W3s，以发光面W3L朝向样本工作台IOx的外周侧且面W3fl朝向上侧的方式收置于工件收置孔11内。
[0290]S卩，在图52中，移载部50t中的样本工件W3s的发光面W3L面向箭头T方向。在移载部50t中，工件收置孔11内与图10所示的工件测定装置I的样本工作台IOx的情况同样地，经由空气通路50v而连通于切换阀16b。切换阀16b具有选择2种切换模式yl、y3的功能。
[0291]其中，切换模式yl选择设置于工作台基座42内的真空产生源133b，此时，空气通路50v连通于真空产生源133b，工件收置孔11内被向箭头F50的方向抽真空。另一方面，切换模式y3什么都不选择，所以空气通路50v与哪里都不连通，工件收置孔11内保持大气压的状态。
[0292]对于在样本测定模式下在工件收置孔11和输送管嘴44之间移载样本工件W3s的方法和确认移载完成的方法，使用作为移载部50t的不意图的图59 (a) (b)至图66 (a)
(b)来进行说明。图59 (a)示出输送管嘴44停止于收置了样本工件W3s的工件收置孔11正上方的上限位置的状态。
[0293]如图59 (a)所示，切换阀16a选择切换模式y3，输送管嘴44的空气通路44a成为大气压。此处，在空气通路44a，在到达切换阀16a的中途，形成有从空气通路主体44x分支的空气通路分支部44y。而且，在空气通路分支部44y的终端部配置有真空传感器44s2。真空传感器44s2具有检测空气通路44a内成为真空的功能。在图59 (a) (b)中，空气通路44a为大气压，因此真空传感器44s2处于非检测出态。此处，对于用于实现输送管嘴44的上升以及下降的机构，简单地进行说明。
[0294]在图59 (a) (b)至图66 (a) (b)中记述的气缸44c是如下机构:通过从未图示的空气源使空气出入缸筒44t内，使活塞44p在缸筒44t内往返移动，通过与活塞44p连接的活塞杆44r的作用来进行输送管嘴的上升以及下降。在图59 (a) (b)至图66 (a) (b)中，为了简便，记述为活塞杆44r的移动方向与输送管嘴44的移动方向相同。另外，在气缸44c,配置有检测活塞44p的位置的缸传感器44sl。缸传感器44sl,若检测到与输送管嘴44处于图53所示的上限位置的情况对应的活塞44p的位置，则发出上限检测信号NU。若检测到如图57所示与输送管嘴44处于与样本工件W3s的面W3H抵接的位置的情况对应的活塞44p的位置，则发出下限检测信号ND。由缸传感器44sl和真空传感器44s2构成移载检测单元。
[0295]此外，在图59 (a)中，输送管嘴44处于上限位置，因此缸传感器44sl发出上限检测信号NU。将此时的各传感器的状态和样本的位置在图59(b)中示出。另外，在图59 (a)中，切换阀16b选择切换模式yl。由此，样本工件Ws3通过上述抽真空的作用保持于工件收置孔11内。
[0296]接着，如图60 (a)所示，向缸筒44t内注入空气，活塞44p向箭头QO的方向移动。这样，输送管嘴44向箭头Q的方向(与图53中的箭头Q对应)下降。此时，缸传感器44sI成为非检测出状态。而且，真空传感器44s2也持续非检测出状态。在图60 (b)中示出该关系。
[0297]若从该状态经过不久，则如图61 (a)所示，输送管嘴44与样本工件W3s的面W3H抵接，缸传感器44sl发出下限检测信号ND。在图61 (b)中示出该关系。
[0298]接着，如图62 (a)所示，切换阀16a选择切换模式yl，空气通路44a连通于真空产生源133a，被向箭头F44的方向抽真空，因此工件W3被吸附保持于输送管嘴44的下端。因此，空气通路44a内成为真空，真空传感器44s2检测到真空。在图62 (b)中示出该关系。接着，如图63 (a)所示，排出缸筒44t内的空气，活塞44p向箭头RO的方向移动。这样，输送管嘴44以吸附保持着样本工件W3s的状态向箭头R的方向(与图53中的箭头R对应)上升。此时，缸传感器44sl成为非检测出状态。而且，真空传感器44s2持续检测出状态。在图63 (b)中示出该关系。若从该状态经过不久，则如图64 (a)所示，输送管嘴44到达上限位置，缸传感器44sl发出上限检测信号NU。在图64 (b)中示出该关系。
[0299]在该状态下，样本工件W3s从样本工作台IOx移载到了输送工作台43。S卩，若在移载部50t中将缸传感器44sl是否检测到上限检测信号NU或下限检测信号ND以及真空传感器44s2检测到真空还是未检测到真空的信息发送到图52所示的控制部52，则在该信息从图59 (b)经图60 (b)至图63 (b)变化为了图64 (b)的状态时，控制部52能够判定为样本工件W3s已从样本工作台IOx移载到输送工作台43。
[0300]此外，如上所述，在图52中，移载部50t中样本工件W3s的发光面W3L面向箭头T方向，因此移载到输送工作台43的样本工件W3s的各面的方向成为与作为被测定工件的工件W3相同。
[0301]通过以上的步骤，若样本工件a?d保持于输送管嘴44，则该样本工件依次到达图52所示的第一测定部47a、第二测定部47b、第三测定部47c并停止。而且，在各个测定部中，对于各样本工件a?d实施与对于作为被测定工件的工件W3的测定相同的波长测定、辉度测定、总光通量测定。然后，各样本工件在移载部50t从输送工作台43移载到样本工作台ΙΟχ。在图64中示出完成了测定的样本工件W3s到达了移载部50t时的状况。
[0302]从该状态，如图65 Ca)所示，向缸筒44t内注入空气，活塞44p向箭头QO的方向移动。这样，输送管嘴44向箭头Q的方向(与图53中的箭头Q对应)下降。此时，缸传感器44sl成为非检测出状态。而且，真空传感器44s2持续检测出状态。在图65 (b)中示出该关系。
[0303]若从该状态经过不久，则如图62 Ca)所示保持于输送管嘴44的样本工件W3s放置于样本工作台IOx的工件收置孔11内。于是，缸传感器44sl发出下限检测信号ND。在图62 (b)中不出该关系。
[0304]接着，如图61 Ca)所示，切换阀16a选择切换模式y3，空气通路44b与哪都不连通，因此工件W3s变得不吸附于输送管嘴44的下端。此时，空气通路44a内为大气压，真空传感器44s2成为非检测出。在图61 (b)中不出该关系。
[0305]接着，如图66 (a)所示，排出缸筒44t内的空气，活塞44p向箭头RO的方向移动。这样，输送管嘴44从样本工件W3s离开而向箭头R的方向(与图53中的箭头R对应)上升。此时，缸传感器44sl成为非检测出状态。而且，真空传感器44s2持续非检测出状态。在图66 (b)中不出该关系。
[0306]然后，输送管嘴到达图53所示的上限位置并停止。在上述图59 (a)中示出该状况。而且，如图59 (b)所示，缸传感器44sl发出上限检测信号NU，真空传感器44s2为非检测出。即，若在移载部50t中将缸传感器44sl以及真空传感器44s2的检测信息发送到图52所示的控制部52，则在该信息按图64 (b)、图65 (b)、图62 (b)、图61 (b)、图66 (b)、图59 (b)的顺序进行了变化时，控制部52能够判定为样本工件W3s已从输送工作台43移载到样本工作台10x。
[0307]如上所述，在图52所示的工件测定装置41中，也能够与图1所示的工件测定装置I同样地进行样本测定模式下的工作，对该测定结果与预先储存于控制部52内的储存部中的各样本工件的已知测定结果进行比较。而且，对于双方的测定结果的差异超过了预先规定的标准值的测定部，与上述工件测定装置I同样地发出警报来通知作业者。
[0308]此外，在各实施方式中，示出了将测定部的数量设为三处或两处的例子，但是，测定部的数量并不限定于此。另外，对于各测定部中的测定项目，也不限于上述说明中的项目。
[0309]进而，在上述各实施方式中，输送工作台水平或垂直地设置，但是，并不限于此，也可以倾斜设置输送工作台。
[0310]另外，在上述各实施方式中，示出了通过基于程序的自动切换单元来执行为了确认测定精度而应该进行样本工件的数据取得的正时、即模式切换的例子，但是，并不限于此，也可以使用作业者的手动操作、例如按钮开关等手动切换单元来执行应该进行样本工件的数据取得的正时、即模式切换。
[0311]另外，上述各实施方式均使用了绕中心轴间歇旋转的圆形的输送工作台作为输送体，但是，输送体的形状不限定于这样的输送工作台。例如，作为输送体，也可以使在长度方向上配置有单个地收置工件的多个凹部的环状(无端)输送带，通过间歇移动在该长度方向上绕转。
[0312]另外，上述各实施方式均使用了绕中心轴间歇旋转的圆形的样本工作台作为样本工件供给单元，但是，样本工件供给单元的形状只要能够在与输送体之间相互移载样本工件，且能够设置移载检测单元即可，不限定于这样的圆形的工作台。
【权利要求】
1.一种工件测定装置，其特征在于，具备: 输送体，其具有保持工件或样本工件的多个保持部，自由旋转地设置； 分离供给单元，其将工件单个地分离并供给到输送体的保持部； 测定单元，其配置于分离供给单元的下游侧，测定保持于输送体的保持部的工件或样本工件的特性；以及 排出单元，其配置于测定单元的下游侧，排出保持于输送体的保持部的工件， 在分离供给单元与测定单元之间，设置有样本工件供给单元，所述样本工件供给单元将预先确定了基准特性的样本工件供给到输送体的保持部，并且具有收置样本工件的多个保管部， 设置有控制装置，所述控制装置对输送体、分离供给单元、测定单元、排出单元以及样本工件供给单元进行控制， 控制装置在采用通常测定模式时，将从分离供给单元供给到输送体的保持部的工件通过测定单元进行了测定后，从排出单元排出；在采用样本测定模式时，将从样本工件供给单元的保管部供给到输送体的保持部的样本工件通过测定单元进行了测定后，不从排出单元排出而返回到样本工件供给单元的保管部。
2.根据权利要求1所述的工件测定装置，其特征在于， 从样本工件供给单元的保管部供给到输送体的保持部的样本工件在通过测定单元进行了测定后，返回到样本工件供给单元的原来的保管部。
3.根据权利要求1所述的工件测定装置，其特征在于， 控制装置具有:比较部，其对由测定单元测定出的样本工件的测定结果与预先内置的样本工件的基准特性进行比较而求出其差异；和警报部，其连接于比较部，在测定结果与样本工件的基准特性的差异超过了预定值时发出警报。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的工件测定装置，其特征在于， 样本工件供给单元具有移载检测单元，所述移载检测单元分别检测:样本工件从样本工件供给单元的保管部供给到了输送体的保持部内、和样本工件返回到了样本工件供给单元的保管部。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的工件测定装置，其特征在于， 控制装置具有自动切换单元，所述自动切换单元自动切换通常测定模式和样本测定模式。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的工件测定装置，其特征在于， 控制装置具有手动切换单元，所述手动切换单元通过手动来切换通常测定模式和样本测定模式。
7.根据权利要求6所述的工件测定装置，其特征在于， 手动切换单元具有按钮开关。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的工件测定装置，其特征在于， 输送体具有圆形的输送工作台。
9.根据权利要求8所述的工件测定装置，其特征在于， 输送体的保持部由设置于输送工作台的外周、朝向外侧开口的凹部构成。
10.根据权利要求8所述的工件测定装置，其特征在于，输送体的保持部由设置于输送工作台的外周附近、贯穿输送工作台的贯穿孔构成。
11.根据权利要求8所述的工件测定装置，其特征在于， 输送体的保持部由输送管嘴构成，所述输送管嘴设置于输送工作台的一面，相对于该一面进退。
12.—种工件测定方法，使用如下的工件测定装置，所述工件测定装置具备: 输送体，其具有保持工件或样本工件的多个保持部，自由旋转地设置； 分离供给单元，其将工件单个地分离并供给到输送体的保持部； 测定单元，其配置于分离供给单元的下游侧，测定保持于输送体的保持部的工件或样本工件的特性；以及 排出单元，其配置于测定单元的下游侧，排出保持于输送体的保持部的工件， 在分离供给单元与测定单元之间，设置有样本工件供给单元，所述样本工件供给单元将预先确定了基准特性的样本工件供给到输送体的保持部，并且具有收置样本工件的多个保管部， 设置有控制装置，所述控制装置对输送体、分离供给单元、测定单元、排出单元以及样本工件供给单元进行控制， 所述工件测定方法的特征在于，包括: 控制装置采用通常测定模式，将从分离供给单元供给到输送体的保持部的工件通过测定单元进行了测定后，从排出单元排出的工序；和 控制装置采用样本测定模式，将从样本工件供给单元的保管部供给到输送体的保持部的样本工件通过测定单元进行了测定后，不从排出单元排出而返回到样本工件供给单元的保管部的工序。
13.根据权利要求12所述的工件测定方法，其特征在于， 从样本工件供给单元的保管部供给到输送体的保持部的样本工件在通过测定单元进行了测定后，返回到样本工件供给单元的原来的保管部。
14.根据权利要求12所述的工件测定方法，其特征在于， 控制装置具有:比较部，其对由测定单元测定出的样本工件的测定结果与预先内置的样本工件的基准特性进行比较而求出其差异；和警报部，其连接于比较部，在测定结果与样本工件的基准特性的差异超过了预定值时发出警报。
15.根据权利要求13或14所述的工件测定方法，其特征在于， 样本工件供给单元具有移载检测单元，所述移载检测单元分别检测:样本工件从样本工件供给单元的保管部供给到了输送体的保持部内、和样本工件返回到了样本工件供给单元的保管部。
16.根据权利要求12至15中任一项所述的工件测定方法，其特征在于， 控制装置具有自动切换单元，所述自动切换单元自动切换通常测定模式和样本测定模式。
17.根据权利要求12至15中任一项所述的工件测定方法，其特征在于， 控制装置具有手动切换单元，所述手动切换单元通过手动来切换通常测定模式和样本测定模式。
18.根据权利要求17所述的工件测定方法，其特征在于，手动切换单元具有按钮开关。
19.根据权利要求12至18中任一项所述的工件测定方法，其特征在于， 输送体具有圆形的输送工作台。
20.根据权利要求17所述的工件测定方法，其特征在于， 输送体的保持部由设置于输送工作台的外周、朝向外侧开口的凹部构成。
21.根据权利要求19所述的工件测定方法，其特征在于， 输送体的保持部由设置于输送工作台的外周附近、贯穿输送工作台的贯穿孔构成。
22.根据权利要求19所述的工件测定方法，其特征在于， 输送体的保持部由输送管嘴构成，所述输送管嘴设置于输送工作台的一面，相对于该一面进 退。
【文档编号】B07C5/02GK103990601SQ201410051130
【公开日】2014年8月20日 申请日期:2014年2月14日 优先权日:2013年2月14日
【发明者】吉沢诚二, 小岛智幸, 阿部博晃 申请人:东京威尔斯股份有限公司