一种用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置的制作方法

本发明涉及光刻胶检测附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置。

背景技术

众所周知，用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置是一种用于晶圆生产过程中，对样本光刻胶涂敷均匀质量进行肉眼观察检测，使其更好进行改进的辅助装置，其在光刻胶检测的领域中得到了广泛的使用；现有的用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置包括检测台和支撑柜，支撑柜的顶端与检测台底部相连，支撑柜内设置有盛放腔，并且支撑柜前侧连通设置有取放口；现有的用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置使用时，将样本放置在检测台顶端，工作人员通过肉眼对其进行观察即可；现有的用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置使用中发现，其检测台支撑高度固定，不能方便根据工作人员身高需要方便进行调节，导致其适应能力较差；并且样本不能方便固定在检测台上，导致其实用性较差；而且不能方便对检测不合格的样本进行筛出放置，从而导致其使用较为不便。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本发明提供一种其检测台支撑高度可以方便根据工作人员身高需要方便进行调节，提高其适应能力；并且样本能够方便固定在检测台上，提高其实用性；而且能够方便对检测不合格的样本进行筛出放置，从而使其使用较为方便的用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置。

本发明的一种用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置，包括检测台和支撑柜，支撑柜内设置有盛放腔，并且支撑柜前侧连通设置有取放口；还包括两组支撑杆，检测台底端横向设置有上滑道，并在上滑道处设置有两组上滑块，两组上滑块可相对上滑道横向滑动，支撑柜顶端横向设置有下滑道，并在下滑道处设置有两组下滑块，两组下滑块可相对下滑道横向滑动，两组支撑杆的顶端分别与两组上滑块轴连接，两组支撑杆的底端分别与两组下滑块轴连接，两组支撑杆中部可转动连接；还包括两组固定装置，两组固定装置均包括插管和插柱，两组插柱内端均设置有夹板，两组插管内均设置有移动腔，两组插柱的外端分别插入至两组插管的内端内部，两组固定装置还均包括两组限位滑块和限位弹簧，限位弹簧位于移动腔内部，限位弹簧一端与移动腔内侧壁连接，限位弹簧另一端与插柱的外端连接，插管前侧和后侧均设置有连通槽，两组限位滑块一端分别与插柱连接，两组限位滑块另一端分别穿过两组连通槽并均伸出至插管外侧，两组限位滑块分别可相对两组连通槽滑动，两组夹板内侧均设置有防滑层；还包括放置箱，放置箱安装在支撑柜左侧，放置箱内部设置有放置腔，放置箱顶端连通设置有放置口，还包括推板、推杆和推块，推块位于放置腔内部，推杆的顶端与推块底端连接，推杆的底端穿过放置箱底侧壁并伸出至放置箱下方与推板连接。

本发明的一种用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置，还包括右连接柱、把手、连接架、连接杆、转动柱和右转动板，右连接柱安装在检测台顶端右方，把手安装在连接架上，转动柱的左端穿过右连接柱并伸出至右连接柱左侧与右转动板右端连接。

本发明的一种用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置，连接杆包括套簧和可伸缩管，套簧左端与转动柱右端连接，套簧右端与连接架左端连接，可伸缩管左端与转动柱右端连接，可伸缩管右端与连接架左端连接，套簧套装在可伸缩管外侧，还包括环形吸铁石板，环形吸铁石板可转动套装在转动柱外侧，且环形吸铁石板安装在右连接柱右侧，连接架上设置有铁板，铁板吸附在环形吸铁石板处。

本发明的一种用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置，还包括左连接柱、转动轴和左转动板，左连接柱安装在检测台顶端左方，左连接柱右侧壁上设置有转动槽，转动轴左侧设置有转动片，转动片位于转动槽内部，且转动片可相对转动槽旋转，转动轴安装在左转动板左侧，两组插管的外端分别与右转动板左侧和左转动板右侧连接。

本发明的一种用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置，还包括两组上辅支杆、两组辅支弹簧和两组下辅支杆，两组上辅支杆分别安装在检测台底端左侧和右侧，两组辅支弹簧的顶端分别与两组上辅支杆连接，两组辅支弹簧的底端分别与两组下辅支杆连接，两组下辅支杆均安装在支撑柜顶端。

本发明的一种用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置，还包括两组上复位杆、两组复位弹簧和两组下复位杆，两组上复位杆分别安装在放置箱底端左侧和右侧，两组复位弹簧的顶端分别与两组上复位杆连接，两组复位弹簧的底端分别与两组下复位杆连接，两组下复位杆均安装在推板顶端。

本发明的一种用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置，还包括分隔板，分隔板左侧和右侧分别安装在支撑柜内左侧壁和内右侧壁，支撑柜内底侧壁和分隔板顶端横向均设置有多组插槽，还包括多组插板，多组插板底端分别插入至多组插槽内部。

本发明的一种用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置，还包括四组螺纹杆和四组螺纹管，四组螺纹杆的顶端分别安装在支撑柜底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧，四组螺纹杆底端分别螺装至四组螺纹管顶端内部，四组螺纹管底端均设置有吸盘。

与现有技术相比本发明的有益效果为：其能够通过滑动两组上滑块和两组下滑块使两组支撑杆夹角进行调节，使检测台支撑高度能够方便根据工作人员身高需要方便进行调节，提高其适应能力，滑块与滑道之间能够机械锁紧，从而方便滑块进一步进行固定；并且可以通过四组限位滑块分别带动两组插柱挤压两组限位弹簧使样本拿出，当需要样本固定时，可以在两组限位弹簧的自身弹力下使两组夹板对样本进行贴紧固定，使样本能够方便固定在检测台上，提高其实用性；而且能够通过放置箱方便对检测不合格的样本进行筛出放置，从而使其使用较为方便，当样本过少时，可以通过推动推板，使其带动推块向上推动，方便样本的取出。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是图1的a部局部放大图；

图3是图1的b部局部放大图；

图4是插管和插柱连接的结构示意图；

附图中标记：1、检测台；2、支撑柜；3、支撑杆；4、上滑块；5、下滑块；6、插管；7、插柱；8、夹板；9、限位滑块；10、限位弹簧；11、连通槽；12、防滑层；13、放置箱；14、推板；15、推杆；16、推块；17、右连接柱；18、把手；19、连接架；20、转动柱；21、右转动板；22、套簧；23、可伸缩管；24、环形吸铁石板；25、铁板；26、左连接柱；27、转动轴；28、左转动板；29、转动片；30、辅支弹簧；31、复位弹簧；32、分隔板；33、插板；34、螺纹杆；35、螺纹管；36、吸盘。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

如图1至图4所示，本发明的一种用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置，包括检测台1和支撑柜2，支撑柜2内设置有盛放腔，并且支撑柜2前侧连通设置有取放口；还包括两组支撑杆3，检测台1底端横向设置有上滑道，并在上滑道处设置有两组上滑块4，两组上滑块4可相对上滑道横向滑动，支撑柜2顶端横向设置有下滑道，并在下滑道处设置有两组下滑块5，两组下滑块5可相对下滑道横向滑动，两组支撑杆3的顶端分别与两组上滑块4轴连接，两组支撑杆3的底端分别与两组下滑块5轴连接，两组支撑杆3中部可转动连接；还包括两组固定装置，两组固定装置均包括插管6和插柱7，两组插柱7内端均设置有夹板8，两组插管6内均设置有移动腔，两组插柱7的外端分别插入至两组插管6的内端内部，两组固定装置还均包括两组限位滑块9和限位弹簧10，限位弹簧10位于移动腔内部，限位弹簧10一端与移动腔内侧壁连接，限位弹簧10另一端与插柱7的外端连接，插管6前侧和后侧均设置有连通槽11，两组限位滑块9一端分别与插柱7连接，两组限位滑块9另一端分别穿过两组连通槽11并均伸出至插管6外侧，两组限位滑块9分别可相对两组连通槽11滑动，两组夹板8内侧均设置有防滑层12；还包括放置箱13，放置箱13安装在支撑柜2左侧，放置箱13内部设置有放置腔，放置箱13顶端连通设置有放置口，还包括推板14、推杆15和推块16，推块16位于放置腔内部，推杆15的顶端与推块16底端连接，推杆15的底端穿过放置箱13底侧壁并伸出至放置箱13下方与推板14连接；其能够通过滑动两组上滑块和两组下滑块使两组支撑杆夹角进行调节，使检测台支撑高度能够方便根据工作人员身高需要方便进行调节，提高其适应能力，滑块与滑道之间能够机械锁紧，从而方便滑块进一步进行固定；并且可以通过四组限位滑块分别带动两组插柱挤压两组限位弹簧使样本拿出，当需要样本固定时，可以在两组限位弹簧的自身弹力下使两组夹板对样本进行贴紧固定，使样本能够方便固定在检测台上，提高其实用性；而且能够通过放置箱方便对检测不合格的样本进行筛出放置，从而使其使用较为方便，当样本过少时，可以通过推动推板，使其带动推块向上推动，方便样本的取出。

本发明的一种用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置，还包括右连接柱17、把手18、连接架19、连接杆、转动柱20和右转动板21，右连接柱17安装在检测台1顶端右方，把手18安装在连接架19上，转动柱20的左端穿过右连接柱17并伸出至右连接柱17左侧与右转动板21右端连接；其能够通过手动转动把手，使其带动转动柱上的右转动板进行转动，带动固定时的样本能够方便进行转动，降低其使用局限性。

本发明的一种用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置，连接杆包括套簧22和可伸缩管23，套簧22左端与转动柱20右端连接，套簧22右端与连接架19左端连接，可伸缩管23左端与转动柱20右端连接，可伸缩管23右端与连接架19左端连接，套簧22套装在可伸缩管23外侧，还包括环形吸铁石板24，环形吸铁石板24可转动套装在转动柱20外侧，且环形吸铁石板24安装在右连接柱17右侧，连接架19上设置有铁板25，铁板25吸附在环形吸铁石板24处；其能够通过铁板吸附在环形吸铁石板处方便把手进行限位，从而方便右转动板进行固定，与此同时，当把手需要转动时，手动拉动把手使其向右移动，使铁板与环形吸铁石板不再吸附，方便转动，通过可伸缩管辅助支撑转动的同时辅助套簧不易扭曲变形。

本发明的一种用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置，还包括左连接柱26、转动轴27和左转动板28，左连接柱26安装在检测台1顶端左方，左连接柱26右侧壁上设置有转动槽，转动轴27左侧设置有转动片29，转动片29位于转动槽内部，且转动片29可相对转动槽旋转，转动轴27安装在左转动板28左侧，两组插管6的外端分别与右转动板21左侧和左转动板28右侧连接；其能够通过转动片可相对转动槽旋转的设计辅助样本进一步方便转动并提高支撑效果。

本发明的一种用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置，还包括两组上辅支杆、两组辅支弹簧30和两组下辅支杆，两组上辅支杆分别安装在检测台1底端左侧和右侧，两组辅支弹簧30的顶端分别与两组上辅支杆连接，两组辅支弹簧30的底端分别与两组下辅支杆连接，两组下辅支杆均安装在支撑柜2顶端；其能够通过两组辅支弹簧方便调节和提高支撑效果。

本发明的一种用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置，还包括两组上复位杆、两组复位弹簧31和两组下复位杆，两组上复位杆分别安装在放置箱13底端左侧和右侧，两组复位弹簧31的顶端分别与两组上复位杆连接，两组复位弹簧31的底端分别与两组下复位杆连接，两组下复位杆均安装在推板14顶端；其能够通过两组复位弹簧方便将推块底端与放置腔内底侧壁接触，保证了放置箱的正常使用。

本发明的一种用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置，还包括分隔板32，分隔板32左侧和右侧分别安装在支撑柜2内左侧壁和内右侧壁，支撑柜2内底侧壁和分隔板32顶端横向均设置有多组插槽，还包括多组插板33，多组插板33底端分别插入至多组插槽内部；其能够通过分隔板使支撑柜内底侧壁和分隔板均可以放置物品，提高空间利用率，并通过插板方便对空间分隔，提高实用性，并配合多组插板底端分别插入至多组插槽内部的设计方便插板手动插入或拔出，更加实用。

本发明的一种用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置，还包括四组螺纹杆34和四组螺纹管35，四组螺纹杆34的顶端分别安装在支撑柜2底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧，四组螺纹杆34底端分别螺装至四组螺纹管35顶端内部，四组螺纹管35底端均设置有吸盘36；其能够通过手动旋转四组螺纹管使其整体进行根据放置面需要进行平稳放置，提高适应能力，能够通过四组吸盘提高整体放置稳定性。

本发明的一种用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置，其在工作时，能够通过滑动两组上滑块和两组下滑块使两组支撑杆夹角进行调节，使检测台支撑高度能够方便根据工作人员身高需要方便进行调节，提高其适应能力，滑块与滑道之间能够机械锁紧，从而方便滑块进一步进行固定；并且可以通过四组限位滑块分别带动两组插柱挤压两组限位弹簧使样本拿出，当需要样本固定时，可以在两组限位弹簧的自身弹力下使两组夹板对样本进行贴紧固定，使样本能够方便固定在检测台上，提高其实用性；而且能够通过放置箱方便对检测不合格的样本进行筛出放置，从而使其使用较为方便，当样本过少时，可以通过推动推板，使其带动推块向上推动，方便样本的取出；能够通过手动转动把手，使其带动转动柱上的右转动板进行转动，带动固定时的样本能够方便进行转动，降低其使用局限性；能够通过铁板吸附在环形吸铁石板处方便把手进行限位，从而方便右转动板进行固定，与此同时，当把手需要转动时，手动拉动把手使其向右移动，使铁板与环形吸铁石板不再吸附，方便转动，通过可伸缩管辅助支撑转动的同时辅助套簧不易扭曲变形；能够通过转动片可相对转动槽旋转的设计辅助样本进一步方便转动并提高支撑效果；能够通过两组辅支弹簧方便调节和提高支撑效果；能够通过两组复位弹簧方便将推块底端与放置腔内底侧壁接触，保证了放置箱的正常使用；能够通过分隔板使支撑柜内底侧壁和分隔板均可以放置物品，提高空间利用率，并通过插板方便对空间分隔，提高实用性，并配合多组插板底端分别插入至多组插槽内部的设计方便插板手动插入或拔出，更加实用；能够通过手动旋转四组螺纹管使其整体进行根据放置面需要进行平稳放置，提高适应能力，能够通过四组吸盘提高整体放置稳定性。

本发明的一种用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置，以上所述所有部件的安装方式、连接方式或设置方式均为常见机械方式，并且其所有部件的具体结构、型号和系数指标均为其自带技术，只要能够达成其有益效果的均可进行实施，故不在多加赘述。

本发明的一种用于晶圆生产中光刻胶涂敷质量的检测装置，在未作相反说明的情况下，“上下左右、前后内外以及垂直水平”等包含在术语中的方位词仅代表该术语在常规使用状态下的方位，或为本领域技术人员理解的俗称，而不应视为对该术语的限制，与此同时，“第一”、“第二”和“第三”等数列名词不代表具体的数量及顺序，仅仅是用于名称的区分。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。