一种铝基强诱电体薄膜的制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种铝基强诱电体薄膜的制造方法，本发明的工艺流程为：一级化成→二级化成→三级化成→一级馈电→四级化成→五级化成→六级化成→二级馈电→去极化→一级修补→烘干→退火→二级修补→烘干→二次退火→防水和修补→烘干。本发明改变了馈电槽位置，从而将一级馈电和二级馈电的工序后移，使加载电压更为稳定与合理，并对馈电槽液成分的局限性实现了突破，更有利于水合氧化铝膜的去除、析氢量的减少并节约了电能；退火前加入烘干步骤，将有效避免游离态水与结合态水的分别处理，避免高温下水与铝箔的反应影响诱电体薄膜的致密性；新增多次修补与多次退火，更有利于诱电体薄膜缺陷的先暴露后修复，联合打造高品质的致密诱电体薄膜。
【专利说明】一种铝基强诱电体薄膜的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及铝基强诱电体薄膜的制造方法，尤其是一种铝电解电容器阳极铝箔的强诱电体薄膜的制造方法。
【背景技术】
[0002]作为电能的储存容器之一，电容器在电子产品集成电路中因其“隔直流、通交流、不走电荷”的特性，起到电源滤波、信号滤波、耦合与去藕等重要作用，广泛应用于军事、航天、汽车、医疗器械、消费型电子等诸多领域。铝电解电容器因其单位体积容量大、价格低廉以及氧化铝膜良好的“自愈”性能，是电容器家族不可替代的成员之一。
[0003]铝电解电容器是采用特殊结构和特殊工艺制造的电容器，它分为阳极和阴极两个部分，阳极采用阀金属铝箔并在其表面经电化学方法生成一极薄且具有单向导电性的强诱电体的氧化铝膜作为介质，阴极采用能够生成和修复介质氧化膜的液体或固态电解质，另使用一铝箔作为引出阴极，通过卷绕或叠片的方式制成电容器。可见，阳极铝箔表面生成氧化铝膜的诱电(绝缘)性能是影响铝电解电容器质量的重要因素，性能较差者将大大提高其表面缺陷形成的漏导电流，严重影响产品的寿命。
[0004]评价铝电解电容器阳极铝箔介质氧化铝膜诱电(绝缘)性能优劣的指标之一就是检测其漏电流大小。影响铝电解电容器漏电流大小的因素很多，包括施加电压高低及时间长短、电容器本身电容量大小、使用环境(如是否发热升温)与制造工艺(如氧化膜质量、原材料纯度、电解液配方)等，究其本质，与阳极化成铝箔直接相关的重中之重就是阳极氧化膜的绝缘(诱电)质量。铝氧化膜介质，虽然是耐电场强度很高的绝缘物，但它绝不是一层完美无缺的超薄型薄膜，而且表面上或多或少的存在着各种极微小的疵点、空洞以及缝隙之类的缺陷，同时在晶体结构上易形成晶格缺陷，所谓的漏导电流就是由通过这些缺陷的杂质离子电流和电子电流组成的。
[0005]现有技术的缺点是:1、广品漏电流大；2、广品质量稳定性差。
【发明内容】
[0006]本发明的目的是提供一种铝基强诱电体薄膜的制造方法。该方法能提高铝箔表面诱电体薄膜的致密性，降低产品漏电流，还能提高产品的稳定性与一致性。
[0007]为实现上述目的，本发明所采用的技术方案是:
一种铝基强诱电体薄膜的制造方法，包括以下步骤:
I)化成处理
A、一级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为10?50mA/cm2、电压为0.2?15V、温度为50?90°C、质量百分比浓度为
0.3%?15%的含有己二酸盐、葵二酸盐、柠檬酸盐中的一种或者任意组合溶液中放置I?5分钟后取；
B、二级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25?125mA/cm2、电压为3?30V、温度为75?95°C、质量百分比浓度为
0.3%?15%的含有己二酸盐、葵二酸盐、柠檬酸盐中的一种或者任意组合溶液中放置I?5分钟后取出；
C、三级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25?125mA/cm2、电压5?50V、温度为75?95°C、质量百分比浓度为0.3%?15%的含有己二酸盐、葵二酸盐、柠檬酸盐中的一种或者任意组合溶液中放置I?5分钟后取出；
D、一级馈电:将铝箔置于两块平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25?300mA/cm2、电压一3?一30V、温度为15?45°C、质量百分比浓度为0.3%?15%的含有己二酸盐、葵二酸盐、柠檬酸盐中的一种或者任意组合溶液中放置I?5分钟后取出；
E、四级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25?125mA/cm2、电压为7?80V、温度为75?95°C、质量百分比浓度为
0.3%?15%的含有己二酸盐、葵二酸盐、柠檬酸盐中的一种或者任意组合溶液中放置I?5分钟后取出；
F、五级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25?125mA/cm2、电压为9?110V、温度为75?95°C、质量百分比浓度为
0.3%?15%的葵二酸盐溶液中放置I?5分钟后取出；
G、六级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为5?lOOmA/cm2、电压为11?150V、温度为75?95°C、质量百分比浓度为
0.3%?15%的含有己二酸盐、葵二酸盐、柠檬酸盐中的一种或者任意组合溶液中放置5?15分钟后取出；
H、二级馈电:将铝箔置于两块平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25?350mA/cm2、电压一3?一30V、温度为15?65°C、质量百分比浓度为0.01%?15%的
含有己二酸盐、葵二酸盐、柠檬酸盐、有机胺、磷酸或磷酸二氢盐、过氧化氢中的一种或者任意组合溶液中放置I?5分钟后取出，水洗；
2)去极化处理
所述去极化处理:将铝箔置于电流密度为4?6mA/cm2、电压为40?110V、温度为45?55°C、质量百分比浓度为2%?3%的磷酸溶液中处理3分钟后取出，水洗；
3)干燥与退火处理
将铝箔置于60?30(TC干燥I?5分钟后再于450?60(TC空气氛中进行退火处理I?5分钟；
4)防水和处理
将铝箔置于电流密度为I?5mA/cm2、电压为I?150V、温度为75?95°C、质量百分比浓度为0.1%?5%的含有磷酸和磷酸二氢盐、己二酸盐中的一种或者任意组合溶液中处理I?5分钟后取出，水洗；
5)烘干处理
对铝箔进行200°C的烘干处理I?5分钟。
[0008]进一步地，还包括重复处理步骤:在进行步骤5)之前，对上述3)、4)两个步骤重复进行I?3次。[0009]所述的己二酸盐为己二酸铵或己二酸钠或己二酸钾。
[0010]所述的葵二酸盐为葵二酸钠或葵二酸钾或葵二酸铵。
[0011]所述的磷酸二氢盐为磷酸二氢钠或磷酸二氢钾或磷酸二氢铵。
[0012]所述的柠檬酸盐为柠檬酸钠或柠檬酸铵或柠檬酸钾。
[0013]所述的有机胺为乙醇胺或二乙醇胺或三乙醇胺或三乙胺或聚乙烯亚胺。
[0014]另外，上述的退火:是指对铝箔进行热处理；上述的馈电:是指施加反向电压。
[0015]本发明的有益效果:
1、改变馈电槽位置，从而将一级馈电和二级馈电的工序后移，使加载电压更为稳定与合理，并对馈电槽液成分的局限性实现了突破，更有利于水合氧化铝膜的去除、析氢量的减少并节约了电能。
[0016]2、退火前加入烘干步骤，将有效避免游离态水与结合态水的分别处理，避免高温下水与铝箔的反应影响诱电体薄膜的致密性。
[0017]3、新增多次修补与多次退火，更有利于诱电体薄膜缺陷的先暴露后修复，联合打造高品质的致密诱电体薄膜。
[0018]4、在各级化成槽电极板关键位置加装电流屏蔽板，相对提高电流分布均匀性，减少铝箔在槽体中的高温无效浸泡。
【具体实施方式】
[0019]实施例1
一种铝基强诱电体薄膜的制造方法，包括以下步骤:
I)化成处理
A、一级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为10?50mA/cm2、电压为0.2?15V、温度为50°C、质量百分比浓度为0.3%的己二酸盐溶液中放置5分钟后取，所述的己二酸盐为己二酸铵；
B、二级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25?125mA/cm2、电压为3?30V、温度为75°C、质量百分比浓度为0.3%的己二酸盐溶液中放置5分钟后取出，所述的己二酸盐为己二酸铵；
C、三级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25?125mA/cm2、电压5?50V、温度为75°C、质量百分比浓度为0.3%的己二酸盐溶液中放置5分钟后取出，所述的己二酸盐为己二酸铵；
D、一级馈电:将铝箔置于两块平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25?300mA/cm2、电压一3?一30V、温度为15°C、质量百分比浓度为0.3%的己二酸盐溶液中放置5分钟后取出，所述的己二酸盐为己二酸铵；
E、四级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25?125mA/cm2、电压为7?80V、温度为75°C、质量百分比浓度为0.3%的己二酸盐溶液中放置5分钟后取出，所述的己二酸盐为己二酸铵；
F、五级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25?125mA/cm2、电压为9?110V、温度为75°C、质量百分比浓度为0.3%的葵二酸盐溶液中放置5分钟后取出，所述的葵二酸盐为葵二酸钠； G、六级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为5?lOOmA/cm2、电压为11?150V、温度为75°C、质量百分比浓度为0.3%的葵二酸盐中的溶液中放置5分钟后取出，所述的葵二酸盐为为葵二酸钠；
H、二级馈电:将铝箔置于两块平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25?350mA/cm2、电压一3?一30V、温度为15°C、质量百分比浓度为0.01%的葵二酸盐溶液中放置5分钟后取出，水洗,所述的葵二酸盐为为葵二酸钠；
2)去极化处理
将铝箔置于电流密度为2?8mA/cm2、电压为3?150V、温度为35°C、质量百分比浓度为0.1%的含有磷酸和磷酸二氢盐中的一种或者组合溶液中处理5分钟后取出，水洗；
3)干燥与退火处理
将铝箔置于60°C干燥5分钟后再于450°C空气氛中进行退火处理5分钟；
4)防水和处理
将铝箔置于电流密度为I?5mA/cm2、电压为10?150V、温度为75°C、质量百分比浓度为5%的含有磷酸和磷酸二氢盐溶液中处理I?5分钟后取出，水洗,所述的磷酸二氢盐为
磷酸二氢钠；
5)重复处理步骤:在进行步骤5)之前，对上述3)、4)两个步骤重复进行I次。
[0020]6)烘干处理
对铝箔进行200°C的烘干处理5分钟。
[0021]实施例2
一种铝基强诱电体薄膜的制造方法，包括以下步骤:
I)化成处理
A、一级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为10?50mA/cm2、电压为0.2?15V、温度为90°C、质量百分比浓度为1%的己二酸盐和葵二酸盐溶液中放置4分钟后取，所述的己二酸盐为己二酸钾，所述的葵二酸盐为葵二酸钾；
B、二级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25?125mA/cm2、电压为3?30V、温度为85°C、质量百分比浓度为5%的含有己二酸盐、葵二酸盐组合溶液中放置5分钟后取出，所述的己二酸盐为己二酸钾，所述的葵二酸盐为葵二酸钾；
C、三级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25?125mA/cm2、电压5?50V、温度为95°C、质量百分比浓度为15%的含有己二酸盐、葵二酸盐中的组合溶液中放置I分钟后取出，所述的己二酸盐为己二酸钾，所述的葵二酸盐为葵二酸钾；
D、一级馈电:将铝箔置于两块平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25?300mA/cm2、电压一3?一30V、温度为30°C、质量百分比浓度为10%的含有己二酸盐、葵二酸盐中的组合溶液中放置3分钟后取出，所述的己二酸盐为己二酸钾，所述的葵二酸盐为葵二酸钾；
E、四级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25?125mA/cm2、电压为7?80V、温度为95°C、质量百分比浓度为15%的含有己二酸盐、葵二酸盐的溶液中放置I?5分钟后取出，所述的己二酸盐为己二酸钾，所述的葵二酸盐为葵二酸钾；
F、五级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25?125mA/cm2、电压为9?110V、温度为85°C、质量百分比浓度为10%的葵二酸盐溶液中放置I?5分钟后取出；
G、六级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为5?lOOmA/cm2、电压为11?150V、温度为85°C、质量百分比浓度为10%的含有己二酸盐、葵二酸盐中的组合溶液中放置10分钟后取出，所述的己二酸盐为己二酸钾，所述的葵二酸盐为葵二酸钾；
H、二级馈电:将铝箔置于两块平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25?350mA/cm2、电压一 3?一 30V、温度为40°C、质量百分比浓度为10%的磷酸溶液中放置3分钟后取出，水洗；
2)去极化处理
将铝箔置于电流密度为5?lOmA/cm2、电压为10?150V、温度为65°C、质量百分比浓度为5%的磷酸二氢盐溶液中处理3分钟后取出，水洗；
3)干燥与退火处理
将铝箔置于140?220°C干燥2?4分钟后再于500?550°C空气氛中进行退火处理3分钟；
4)防水和处理
将铝箔置于电流密度为I?5mA/cm2、电压为I?150V、温度为95°C、质量百分比浓度为5%的含有磷酸和磷酸二氢盐、己二酸盐中的一种或者任意组合溶液中处理I分钟后取出，水洗；
5)重复处理步骤:在进行步骤5)之前，对上述3)、4)两个步骤重复进行2次。
[0022]6)烘干处理
对铝箔进行200°C的烘干处理5分钟。
[0023]实施例3
一种铝基强诱电体薄膜的制造方法，包括以下步骤:
I)化成处理
A、一级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为10?50mA/cm2、电压为0.2?15V、温度为95°C、质量百分比浓度为15%的柠檬酸盐溶液中放置I分钟后取，所述的柠檬酸盐为柠檬酸铵；
B、二级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25?125mA/cm2、电压为3?30V、温度为85°C、质量百分比浓度为10%的柠檬酸盐溶液中放置I分钟后取出，所述的柠檬酸盐为柠檬酸铵；
C、三级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25?125mA/cm2、电压5?50V、温度为85°C、质量百分比浓度为10%柠檬酸盐溶液中放置I分钟后取出，所述的柠檬酸盐为柠檬酸铵；
D、一级馈电:将铝箔置于两块平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为120?200mA/cm2、电压一10?一20V、温度为25?35°C、质量百分比浓度为5%?10%的含有己二酸盐、葵二酸盐、柠檬酸盐中的一种或者任意组合溶液中放置3分钟后取出；
E、四级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25?125mA/cm2、电压为7?80V、温度为85°C、质量百分比浓度为10%的柠檬酸盐溶液中放置I分钟后取出，所述的柠檬酸盐为柠檬酸铵；
F、五级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25?125mA/cm2、电压为9?110V、温度为85°C、质量百分比浓度为10%的葵二酸盐溶液中放置I分钟后取出；
G、六级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为5?lOOmA/cm2、电压为11?150V、温度为85°C、质量百分比浓度为10%的柠檬酸盐溶液中放置5分钟后取出，所述的朽1檬酸盐为朽1檬酸铵；
H、二级馈电:将铝箔置于两块平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为120?240mA/cm2、电压一5?一25V、温度为35?45°C、质量百分比浓度为5%?10%的含有己二酸盐、葵二酸盐、柠檬酸盐、有机胺、磷酸或磷酸二氢盐、过氧化氢中的一种或者任意组合溶液中放置3分钟后取出，水洗；
2)去极化处理
所述去极化处理:将铝箔置于电流密度为4?6mA/cm2、电压为40?11OV、温度为45?55°C、质量百分比浓度为2%?3%的含有磷酸和磷酸二氢盐中的一种或者组合溶液中处理3分钟后取出，水洗；
3)干燥与退火处理
将铝箔置于140?220°C干燥2?4分钟后再于500?550°C空气氛中进行退火处理3分钟；
4)防水和处理
将铝箔置于电流密度为I?5mA/cm2、电压为I?150V、温度为95°C、质量百分比浓度为5%的含有磷酸和磷酸二氢盐、己二酸盐中的一种或者任意组合溶液中处理I分钟后取出，水洗；
5)重复处理步骤:在进行步骤5)之前，对上述3)、4)两个步骤重复进行3次。
[0024]6)烘干处理
对铝箔进行200°C的烘干处理I分钟。
[0025]实施例3中，所述的己二酸盐为己二酸铵或己二酸钠或己二酸钾。所述的葵二酸盐为葵二酸钠或葵二酸钾或葵二酸铵。所述的磷酸二氢盐为磷酸二氢钠或磷酸二氢钾或磷酸二氢铵。所述的有机胺为乙醇胺或二乙醇胺或三乙醇胺或三乙胺或聚乙烯亚胺。
[0026]以上所述是本发明的优选实施方式而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，应当指出，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，都不脱离本发明技术方案的保护范围。
【权利要求】
1.一种铝基强诱电体薄膜的制造方法，其特征在于，包括以下步骤: 1)化成处理 A、一级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为10~50mA/cm2、电压为0.2~15V、温度为50~90°C、质量百分比浓度为0.3%~15%的含有己二酸盐、葵二酸盐、柠檬酸盐中的一种或者任意组合溶液中放置I~5分钟后取； B、二级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25~125mA/cm2、电压为3~30V、温度为75~95°C、质量百分比浓度为0.3%~15%的含有己二酸盐、葵二酸盐、柠檬酸盐中的一种或者任意组合溶液中放置I~5分钟后取出； C、三级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25~125mA/cm2、电压5~50V、温度为75~95°C、质量百分比浓度为0.3%~15%的含有己二酸盐、葵二酸盐、柠檬酸盐中的一种或者任意组合溶液中放置I~5分钟后取出； D、一级馈电:将铝箔置于两块平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25~300mA/cm2、电压一3~一30V、温度为15~45°C、质量百分比浓度为0.3%~15%的含有己二酸盐、葵二酸盐、柠檬酸盐中的一种或者任意组合溶液中放置I~5分钟后取出； E、四级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25~125mA/cm2、电压为7~80V、温度为75~95°C、质量百分比浓度为0.3%~15%的含有己二酸盐、葵二酸盐、柠檬酸盐中的一种或者任意组合溶液中放置I~5分钟后取出； F、五级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25~125mA/cm2、电压为9~110V、温度为75~95°C、质量百分比浓度为0.3%~15%的葵二酸盐溶液中放置I~5分钟后取出； G、六级化成:将铝箔置于两块附电流屏蔽板的平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为5~lOOmA/cm2、电压为11~150V、温度为75~95°C、质量百分比浓度为0.3%~15%的含有己二酸盐、葵二酸盐、柠檬酸盐中的一种或者任意组合溶液中放置5~15分钟后取出； H、二级馈电:将铝箔置于两块平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为25~350mA/cm2、电压一3~一30V、温度为15~65°C、质量百分比浓度为0.01%~15%的含有己二酸盐、葵二酸盐、柠檬酸盐、有机胺、磷酸或磷酸二氢盐、过氧化氢中的一种或者任意组合溶液中放置I~5分钟后取出，水洗； 2)去极化处理 将铝箔置于电流密度为0~lOmA/cm2、电压为0~150V、温度为35~65°C、质量百分比浓度为0.1%~5%的含有磷酸和磷酸二氢盐中的一种或者组合溶液中处理0.5~5分钟后取出，水洗； 3)干燥与退火处理 将铝箔置于60~30(TC干燥I~5分钟后再于450~60(TC空气氛中进行退火处理I~5分钟；4)防水和处理 将铝箔置于电流密度为I~5mA/cm2、电压为I~150V、温度为75~95°C、质量百分比浓度为0.1%~5%的含有磷酸和磷酸二氢盐、己二酸盐中的一种或者任意组合溶液中处理I~5分钟后取出，水洗； 5)烘干处理 对铝箔进行200°C的烘干处理I~5分钟。
2.根据权利要求1所述的铝基强诱电体薄膜的制造方法，其特征在于:进一步地，还包括重复处理步骤:在进行步骤5)之前，对上述3)、4)两个步骤重复进行I~3次。
3.根据权利要求1所述的铝基强诱电体薄膜的制造方法，其特征在于:所述的己二酸盐为己二酸铵或己二酸钠或己二酸钾；所述的有机胺为乙醇胺或二乙醇胺或三乙醇胺或三乙胺或聚乙烯亚胺。
4.根据权利要求1所述的铝基强诱电体薄膜的制造方法，其特征在于:所述的葵二酸盐为葵二酸钠或葵二酸钾或葵二酸铵。
5.根据权利要求1所述的铝基强诱电体薄膜的制造方法，其特征在于:所述的磷酸二氢盐为磷酸二氢钠或磷酸二氢钾或磷酸二氢铵。
6.根据权利要I所述的铝基强诱电体薄膜的制造方法，其特征在于:所述的柠檬酸盐为柠檬酸钠或柠檬酸铵或柠檬酸钾。
7.根据权利要I所述的铝基强诱电体薄膜的制造方法，其特征在于:所述一级馈电:将招箔置于两块平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为120~200mA/cm2、电压一 10~一 20V、温度为25~35°C、质量百分比浓度为5%~10%的含有己二酸盐、葵二酸盐、柠檬酸盐中的一种或者任意组合溶液中放置3分钟后取出。
8.根据权利要I所述的铝基强诱电体薄膜的制造方法，其特征在于:根据权利要I所述的铝基强诱电体薄膜的制造方法，其特征在于:所述二级馈电:将铝箔置于两块平行石墨板、钛板或不锈钢板之间，在施加电流密度为120~240mA/cm2、电压一 5~一 25V、温度为35~45°C、质量百分比浓度为5%~10%的含有己二酸盐、葵二酸盐、柠檬酸盐、有机胺、磷酸或磷酸二氢盐、过氧化氢中的一种或者任意组合溶液中放置3分钟后取出，水洗。
9.根据权利要I所述的铝基强诱电体薄膜的制造方法，其特征在于:根据权利要I所述的铝基强诱电体薄膜的制造方法，其特征在于:所述去极化处理:将铝箔置于电流密度为4~6mA/cm2、电压为40~110V、温度为45~55°C、质量百分比浓度为2%~3%的含有磷酸和磷酸二氢盐中的一种或者组合溶液中处理3分钟后取出，水洗。
10.根据权利要I所述的铝基强诱电体薄膜的制造方法，其特征在于:所述干燥与退火处理:将铝箔置于140~220°C干燥2~4分钟后再于500~550°C空气氛中进行退火处理3分钟。
【文档编号】C25D11/12GK103762081SQ201310748627
【公开日】2014年4月30日 申请日期:2013年12月31日 优先权日:2013年12月31日
【发明者】秦力, 谭惠忠, 王文宝, 欧永聪, 陈东荣 申请人:肇庆华锋电子铝箔股份有限公司