技术总结
本发明公开了一种阳极氧化制备氧化铝晶体基底的方法，属于晶体基底的制备技术领域。本发明的技术方案要点为：一种阳极氧化制备氧化铝晶体基底的方法，具体步骤为：将铝片依次经过脱脂处理、退火处理和电化学抛光处理得到预处理后的铝片；以预处理后的铝片作为阳极，铂电极作为阴极，在醋酸溶液中于5℃进行阳极氧化直至铝片变为透明的氧化铝为止；将得到的氧化铝基底用高纯水清洗后置于退火炉中，在高纯氧气气氛下以50℃/s的升温速率升温至800℃保温1小时，然后随炉冷却后制得氧化铝晶体基底。本发明可以直接得到平整光亮、晶格完整的清洁表面氧化铝晶体基底，解决了用大面积的蓝宝石作为基底成本较高的问题。
技术研发人员：郭志超;李平林;申建芳;程素君
受保护的技术使用者：新乡学院
文档号码：201610202242
技术研发日：2016.04.05
技术公布日：2017.10.13