一种用于晶圆的电镀挂具的制作方法

文档序号:12498339阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于晶圆的电镀挂具,包括主体板(1),在所述主体板(1)上设置有把手(2),在所述主体板(1)和所述把手(2)上设置有导电板(3),所述主体板(1)上设置有通孔(10),其特征在于:所述主体板(1)上设置有呈阶梯状的晶圆槽,所述晶圆槽的半径范围为6英寸至12英寸,在所述主体板(1)的上端面均布设置有可伸缩的压杆(4),所述压杆(4)的前端设置有金属片(5),在电镀时所述金属片(5)压在所述晶圆槽内的晶圆(A)上。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的电镀挂具,其特征在于:所述通孔(10)的圆心与所述晶圆槽的圆心重合。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆的电镀挂具,其特征在于:所述晶圆槽由下至上依次为第一晶圆槽(11)、第二晶圆槽(12)和第三晶圆槽(13),所述第一晶圆槽(11)的半径为6英寸,所述第二晶圆槽(12)的半径为8英寸,所述第三晶圆槽(13)的半径为12英寸。

4.根据权利要求1或2所述的一种用于晶圆的电镀挂具,其特征在于:所述主体板(1)的上端面均布设置有6个滑槽(14),所述压杆(4)的数量为6个,每根所述压杆(4)的下端均设置有滑块(40),所述滑块(40)滑动设置于所述滑槽(14)内。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆的电镀挂具,其特征在于:电流通过所述导电板(3)依次通过压杆(4)、金属片(5)后传递至晶圆(A)上。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆的电镀挂具,其特征在于:所述金属片(5)为铜片。

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