技术特征:
技术总结
本发明公开了一种超高真空腔体的研磨工艺,包括预清洗、一次电解抛光、二次电解抛光、二次高压清洗、中和处理和三次高压清洗,为了进一步提高超高真空腔体的表面美观效果,还包括后续的对腔体密封面的精细研磨工序、四次高压清洗和干燥,经处理后的超高真空腔体结构面粗糙度能达到Ra 0.8~1.5的范围,有效减少表面波纹,且纹理朝向和线条粗细均一致,杂质释放气体量少,提高了超高真空腔体构件的表面质量,有效保证了超高真空腔体构件结构面的密封性。
技术研发人员:瞿建强;黄仕强
受保护的技术使用者:江阴市光科光电精密设备有限公司
技术研发日:2019.03.20
技术公布日:2019.06.14