[0071]接下来，如图1、图2及图18所示，密封盖88成为通过移动装置而移动至堵塞基座部件85的上部开口的位置，并在该位置处向下方被按压的状态。而且，对压缩机51进行驱动，从而向密封盖88的进气口 89送入空气并对保持室45内进行加压。此时，以后述的方式而使电镀液循环，并以将保持室45内的内压维持在电镀液于被镀物1与阳极10之间流动的区域（该区域相当于液槽）的内压以上的方式，对压缩机51进行驱动并将空气送进保持室45内。
[0072] 在该状态下，被镀物1被配置在阳极10的轴上。S卩，阳极10的内周面与被镀物1的外周面等间隔地分离，且电镀液在该空间内流动。
[0073]接下来，对循环装置60的栗65进行驱动，从而使电镀液管理槽64内的电镀液在向下部承受部件90的电镀液的流入口 93输送、之后依次穿过下部承受部件90、阳极10、上部承受部件80、电镀液的流出口 83而返回至电镀液管理槽64的循环通道63中巡回。此时，在阳极10内与被镀物1之间流动有电镀液。
[0074] 而且，由电源装置70对第一供电部件20以及第二供电部件30进行通电，并向阳极10施加正电压，向被镀物1施加负电压，从而执行高速电镀。
[0075] 如此，该高速电镀装置在执行高速电镀时，使保持装置40的抵接部43无缝地抵接在圆柱形状的被镀物1的同一外周面上，且该抵接部43由作为具有耐化学性的弹性体的海绵板46而构成。另外，压缩机51送入空气而对保持室45内进行加压。因此，由海绵板46构成的抵接部43通过气压而被按压，从而能够紧密连接在被镀物1的外周面上。此外，通过对保持室45内进行加压，从而欲从抵接部43与被镀物1的边界部或抵接部43彼此的边界部向保持室45侧漏泄的电镀液利用气压而被推回。因此，该保持装置40能够可靠地防止电镀液从基座部件85的下方向基座部件85的收纳部86内漏泄。此外，由于该保持装置40通过作为弹性体的海绵板46来构成抵接部43,因此即使被镀物1的外周面形状发生变化也能够使抵接部43紧密连接在被镀物1的外周面上。因此，该保持装置40能够应对多种的被镀物1。此外，由于该保持装置40的构成抵接部43的海绵板46具有耐化学性，因此能够防止由于电镀液而造成的抵接部43的恶化，从而能够长期防止电镀液的漏泄。
[0076] 因此，实施例的保持装置40以及具备该保持装置40的高速电镀装置能够对多种的被镀物1进行保持，并且能够可靠地防止电镀液的漏泄。
[0077] 当结束高速电镀时，该高速电镀装置停止从电源装置70向第一供电部件20及第二供电部件30的通电。此外，循环装置60的栗65也停止，使电镀液从阳极10内排出并贮留在电镀液管理槽64内。而且，密封盖88通过移动装置而从堵塞基座部件85的上部开口的位置向退避位置移动。于是，各保持部件41向后退位置移动，夹头5对被镀物1的上端部进行把持，并且第二供电部件30向后退位置移动。而且，夹头5将被镀物1上提，并且支承棒15将被镀物1上推，从而使被镀物1从基座部件85的上部开口抽出并结束电镀工序。
[0078] 本发明并不限定于通过上述记载以及附图所说明的实施例，例如接下来的实施例也被包含在本发明的技术范围内。
[0079](1)虽然在实施例中，将保持装置应用于高速电镀装置中，但该保持装置也能够被应用于需要长期防止液体的漏泄的装置中。
[0080](2)虽然在实施例中，使阳极形成为圆筒形状，但在对其他形状的被镀物进行电镀的情况下只要形成为与其形状相符的形状即可。
[0081](3)虽然在实施例中，对第二供电部件的中心部件与被覆部件进行螺纹结合，但也可以采用如下方式，即，将被覆部件的插入空间的内周面和中心部件的外周面设为圆锥形状，并将中心部件压入被覆部件的插入空间内。
[0082](4)虽然在实施例中，第二供电部件的被覆部件以与电镀液所浸湿的部位相比较广的范围对中心部件进行被覆，但被覆部件只要至少对电镀液所浸湿的部位进行被覆即可。
[0083](5)虽然在实施例中，将海绵板的长边部的中央部切口形成为半圆形状而形成抵接部，但只要切口形状符合被镀物的形状即可。此外，也可以设为没有切口。
[0084](6)虽然在实施例中，通过两个保持部件而从两个方向对被镀物进行夹持，但也可以通过三个以上的保持部件而使抵接部无缝地抵接在被镀物的同一外周面上。
[0085](7)虽然在实施例中，在保持部主体上设置有两处对海绵板进行夹持的在高度方向上远离的槽部，但也可以仅设置一处，也可以设置三处以上。
[0086](8)虽然在实施例中，将一块或两块海绵板重叠地插入到保持部主体的槽部中并对其进行夹持，但也可以将三块以上重叠地插入到保持部主体的槽部中并对其进行夹持。
[0087]符号说明
[0088]1···被镀物（工件）；
[0089]40…保持装置；
[0090]41…保持部件；
[0091]43···抵接部；
[0〇92]45…保持室；
[0093]46…海绵板（弹性体）；
[0094]50…加压装置。
【主权项】
1.一种保持装置，具备保持部件，所述保持部件在保持室内对跨及流动有液体的液槽和与该液槽连通的保持室而配置的工件进行保持，所述保持装置的特征在于，所述保持部件具有多个抵接部，所述抵接部由具有耐化学性的弹性体构成，且无缝地抵接在所述工件的同一外周面上并对所述工件进行夹持，所述保持装置具备加压装置，所述加压装置在所述工件已被所述保持部件夹持的状态下，送入空气而对所述保持室内进行加压。2.如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，所述抵接部以与所抵接的所述工件的侧面形状相比而较小的相似形状对所述弹性体进行切口的方式而形成。3.如权利要求1或2所述的保持装置，其特征在于，所述加压装置将所述保持室内的内压维持在所述液体进行流动的状态下的所述液槽内的内压以上。4.一种高速电镀装置，其特征在于，具备：权利要求1至3中的任意一项所述的保持装置，其对作为所述工件的被镀物进行保持；所述液槽，所述液体为电镀液，所述液槽中流动有电镀液；循环装置，其使电镀液以在所述液槽内流动的方式循环；保持室，其与所述液槽连通；阳极；供电部件，其与所述工件接触并对所述工件施加负电压；电源装置，其经由该阳极以及所述供电装置而对所述被镀物进行通电。
【专利摘要】本发明提供一种保持装置该保持装置能够对多种工件进行保持，并且能够可靠地防止液槽内的液体的漏泄。保持装置(40)具备保持部件(41)，其在保持室(45)内对跨及流动有电镀液(液体)的液槽和与该液槽连通的保持室(45)而配置的被镀物(工件)(1)进行保持。保持部件(41)具有多个抵接部(43)，所述抵接部(43)由具有耐化学性的海绵板(弹性体)(46)构成，且无缝地抵接在被镀物(工件)(1)的同一外周面上并对被镀物(工件)(1)进行夹持，所述保持装置具备加压装置(50)，所述加压装置(50)在被镀物(工件)(1)已被保持部件(41)夹持的状态下，送入空气而对保持室(45)内进行加压。
【IPC分类】C25D17/00, C25D17/06, C25D21/00
【公开号】CN105308221
【申请号】CN201480033957
【发明人】望月嘉隆, 宫崎稔久, 高松辉
【申请人】Ｋｙｂ株式会社, 株式会社中央制作所
【公开日】2016年2月3日
【申请日】2014年6月6日
【公告号】EP3009535A1, US20160130714, WO2014199909A1