专利名称：一种镀膜机扩散泵的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及真空镀膜设备领域，具体涉及ー种镀膜机扩散泵。
背景技术：
随着真空管的大規模生产，节能降耗已成为ー个企业盈利的主要方式，而再生产过程中，镀膜机作为生产中的耗电大户，它的耗电量直接影响真空管的生产成本，为了降低镀膜机的单耗，在不影响使用的情况下对镀膜机扩散泵进行改造。
发明内容本实用新型的目的就是在镀膜机扩散泵系统要求的条件下，改用功率较低的加热器。
·[0004]为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是在泵壳中设有多根导流管，在导流管上部设有喷油嘴，在泵壳的外侧壁上设有多个水冷套，在泵壳的底部设有电磁加热器，冷却水进口和冷却水出口分别设在泵壳的上部和下部。将原姆小时耗电量9千瓦时的扩散泵油加热器更改为姆小时耗电量6千瓦时的电磁波加热器，从而大大提高了工作效率，平均每台镀膜机扩散系统每小时节约电能3千瓦时。
现结合附图对本实用新型作进ー步的说明图I为本实用新型剖面图。图中I、水冷套，2、喷油嘴，3导流管，4、泵壳，5、加热器，6、冷却水进ロ，7、进气ロ，8、排气ロ，9、冷却水出口。
具体实施方案如图I所示，在泵壳4中设有多根导流管3，在导流管3上部设有喷油嘴2，在泵壳4的外侧壁上设有多个水冷套1，在泵壳4的底部设有电磁加热器5，冷却水进ロ 6和冷却水出ロ 9分别设在泵壳4的上部和下部。在导流管3的顶部设有进气ロ 7，排气ロ 8设在冷却水出ロ 9的ー侧端。
权利要求1.一种镀膜机扩散泵，其特征在于在泵壳中设有多根导流管，在导流管上部设有喷油嘴，在泵壳的外侧壁上设有多个水冷套，在泵壳的底部设有电磁加热器，冷却水进口和冷却水出ロ分别设在泵壳的上部和下部。
专利摘要本实用新型公开了一种镀膜机扩散泵，其特征在于，在泵壳中设有多根导流管，在导流管上部设有喷油嘴，在泵壳的外侧壁上设有多个水冷套，在泵壳的底部设有电磁加热器，冷却水进口和冷却水出口分别设在泵壳的上部和下部。通过以上设置，本实用新型大大提高了工作效率，平均每台镀膜机扩散系统每小时节约电能3千瓦时。
文档编号F04F9/00GK202431626SQ20112057347
公开日2012年9月12日 申请日期2011年12月31日 优先权日2011年12月31日
发明者徐焕民 申请人:山东科能太阳能科技有限公司