专利名称：用于泵中的机械活塞的位置控制的系统和方法
技术领域：
本发明通常涉及流体泵。特别是，本发明的实施例涉及用于在半导体制造中使用的马达驱动单级或多级泵中的机械活塞的位置控制的系统和方法。
背景技术：
已经有很多用途需要对由泵送装置分配流体的量和/或速率进行精确控制。在半导体处理中，例如重要的是控制光化学药品(例如光致抗蚀剂)施加在半导体晶片上的量和速率。在处理过程中施加在半导体晶片上的涂层通常需要在晶片表面上有特定平直度和/或均匀厚度(它以埃来测量)。处理化学药品施加(即分配)在晶片上的速率必须仔细控制，以便保证处理液体均匀施加。在目前，在半导体工业中使用的光化学药品通常非常昂贵，价格为每升$1000或更高。因此很希望保证使用最少但足够量的化学药品，并保证该化学药品不会由于泵送装置而受到损害。不幸的是，由于很多相互关联的问题，在目前的泵送系统中可能很难获得这些希望的量。例如，由于引入供给源的问题，不同系统的压力可能变化。由于流体动力学特性，不同流体所需的压力也不同(例如，具有更高粘性的流体需要更大压力)。在工作时，来自泵送系统(例如步进马达)各个部件的振动可能对泵送系统的性能有不利影响，特别是在分配阶段。在利用气动泵的泵送系统中，当螺线管起动时，可能引起较大的压力峰值。在利用多级泵的泵送系统中，工作中的较小故障可能在液体中引起尖锐的压力峰值。这些压力峰值和随后的压力降可能损害流体(即可能不利地改变流体的物理特征)。另外，压力峰值可能导致流体压力积累，这可能使得分配泵分配比预定更多的流体，或者以具有不利动态特征的方式来分配流体。而且，由于这些问题相互关联，因此有时解决一个问题可能引起更多问题和/或使得情况更差。通常，泵送系统不能在循环过程中令人满意地控制压力变化。因此需要新的泵送系统，它能够提供实时、平滑的运动以及对流体运动和分配量进行极其精确和可重复的位置控制。特别是，泵中的机械活塞需要精确和可重复的位置控制。本发明实施例能够解决这些和更多需要。
发明内容
本发明实施例提供了用于泵中的机械活塞的精确和可重复位置控制的系统和方法，它基本消除或减少了在半导体制造中使用的现有泵送系统和方法的缺点。特别是，本发明实施例提供了具有马达驱动泵的泵送系统。在本发明的一个实施例中，马达驱动泵是分配泵。 在本发明的实施例中，分配泵可以是多级或单级泵的一部分。在本发明的一个实施例中，两级分配泵通过永磁体同步马达(PMSM)和利用场定向控制(FOC)的数字信号处理器(DSP)来驱动。在本发明的一个实施例中，分配泵由无刷DC马达(BLDCM)来驱动，该无刷DC马达有位置传感器，用于实时位置反馈。这里所述的本发明实施例的优点包括能够提供实时平滑运动以及对于流体运动和分配量的极其精确和可重复的位置控制。本发明的目的是降低发热，同时不会不希望地损害分配阀的精确位置控制。该目的可通过具有定制控制方案的本发明实施例来实现，该定制控制方案设置成增加用于关键函数(例如分配)的马达位置控制算法的操作频率，并减少对于非关键函数的可选范围的操作频率。本发明实施例的另一优点是提高速度控制。这里的定制控制方案可以使马达在非常低的速度下运转，同时仍保持恒定速度，这使得这里所述的新泵送系统能够在很宽的速度范围内工作，且变化最小，从而大大提高了分配性能和工作能力。
参考下面的说明并结合附图，可以更完全地了解本发明和本发明的优点，在附图中，相同参考标号表示相同特征，且附图中图1是根据本发明一个实施例的、具有无刷DC马达的马达组件的示意图；图2是根据本发明一个实施例的、利用无刷DC马达的多级泵(“多级泵”)的示意图；图3是根据本发明一个实施例的、利用多级泵的泵送系统的示意图；图4是用于本发明一个实施例的阀和马达定时的示意图；图5是根据本发明一个实施例的、比较无刷DC马达和步进马达的平均力矩输出和速度范围的曲线图；图6是根据本发明一个实施例的、在无刷DC马达和步进马达之间比较平均马达电流和负载的曲线图；图7是表示在30kHz马达操作和IOkHz马达操作之间的差异的曲线图；图8是根据本发明一个实施例的、表示无刷DC马达和步进马达在不同阶段的循环正时的线图；图9是根据本发明一个实施例的、解释步进马达和无刷DC马达在过滤处理开始时的压力控制正时的线图；以及图10是根据本发明一个实施例的、表示使用无刷DC马达的单级泵的视图。
具体实施例方式下面将参考附图介绍本发明的优选实施例，附图并不必须按比例画出，且各个附图中，相同标号用于表不相同和相应的部件。本发明实施例涉及具有多级(“多级”)泵的泵送系统，用于在半导体制造过程中将流体供给和分配至晶片上。具体地说，本发明实施例提供了一种使用多级泵的泵送系统，它包括供给级泵，该供给级泵由步进马达来驱动；以及分配级泵，该分配级泵由无刷DC马达来驱动，用于极其精确和可重复地控制流体运动和流体在晶片上的分配量。应当知道，使用这里所述的这种泵的多级泵和泵送系统是作为实例提供，而不是进行限制，且本发明实施例可以用于其它的多级泵结构。下面将更详细地介绍具有精确和可重复的位置控制的马达驱动泵送系统的实施例。图1是根据本发明一个实施例的马达组件3000的示意图，该马达组件3000有马达3030和与它连接的位置传感器3040。在图1所示的实例中，隔膜组件3010通过丝杠3020而与马达3030连接。在一个实施例中，马达3030是永磁体同步马达(“PMSM”)。在刷式DC马达中，电流极性通过换向器和电刷而改变。不过，在PMSM中，通过与转子位置同步转换的功率晶体管来进行极性反转。因此，PMSM可以有类似“无刷”的特征，并认为比刷式DC马达更可靠。另外，PMSM可以通过由转子磁体产生转子磁通而获得更高效率。PMSM的另外优点包括减小振动、降低噪音(通过省略电刷)、高效散热、占地面积更小和转子惯性更低。根据定子怎样缠绕，由于马达运动而在定子中引起的反电动势(back-electromagnetic force)可以有不同型面。一种型面可以是梯形形状，另一型面可以是正弦曲线形状。在本说明书中，术语PMSM将表示所有类型的无刷永磁体马达，并可用于与术语无刷DC马达(“BLDCM”)互换。在本发明实施例中，BLDCM 3030可以用作泵(例如图2中所示的多级泵100)中的供给马达和/或分配马达。在该实例中，多级泵100包括供给级部分105和分开的分配级部分110。供给级105和分配级110可以包括滚转隔膜泵，以便在多级泵中泵送流体。供给级泵150 (“供给泵150”)例如包括供给腔室155，用于收集流体；供给级隔膜160，用于在供给腔室155中运动和转移流体；活塞165，用于使供给级隔膜160运动；丝杠170 ;以及供给马达175。丝杠170通过螺母、齿轮或者用于从马达向丝杠170施加能量的其它机构而与供给马达175连接。供给马达175使得螺母旋转，该螺母再使丝杠170旋转，从而驱动活塞165。供给马达175可以为任意合适马达(例如步进马达、BLDCM等)。在本发明的一个实施例中，供给泵175使用步进马达。分配级泵180 (“分配泵180”)可以包括分配腔室185、分配级隔膜190、活塞192、丝杠195和分配马达200。分配马达200可以为任意合适马达，包括BLDCM。在本发明的一个实施例中，分配马达200使用图1的BLDCM 3030。分配马达200可以通过数字信号处理器(“DSP”)(利用在分配马达200处的场定向控制“F0C”)、通过多级泵100上的控制器或者通过单独的泵控制器(例如泵100的外部)来进行控制。分配马达200还可以包括编码器(例如细线旋转位置编码器或位置传感器3040)，用于实时反馈分配马达200的位置。使用位置传感器使得活塞192的位置能够精确和可重复地进行控制，这导致精确和可重复地控制分配腔室185中的流体运动。例如，使用2000线编码器，根据一个实施例，它向DSP发送8000脉冲，这可以以0. 045的旋转度来精确测量和控制。此外，BLDCM可以在很小或无振动的情况下以较低速度运转。分配级部分110还可以包括压力传感器112，该压力传感器112确定在分配级110处的流体压力。由压力传感器112确定的压力可以用于控制各泵的速度。合适的压力传感器包括基于陶瓷和聚合物的压阻和电容压力传感器，包括由德国Korb的Metallux AG制造的压力传感器。在流体流的透视图中，过滤器120位于供给级部分105和分配级部分110之间，以便从处理流体中过滤杂质。多个阀(例如进口阀125、隔离阀130、阻挡阀135、清洗阀140、通气阀145和出口阀147)可以合适定位，以便控制流体怎样流过多级泵100。多级泵100的阀可以打开或关闭，以便允许或限制流体流向多级泵100的各个部分。这些阀可以为气动驱动(例如气体驱动)的隔膜阀，它们根据要维持的是压力还是真空而进行打开或关闭。也可以是其它合适阀。工作时，多级泵100可以包括准备段、分配段、充装段、预过滤段、过滤段、通气段、清洗段和静态清洗段(见图4)。在供给段，进口阀125打开，供给级泵150使得供给级隔膜160运动(例如拉动)，以便将流体吸入供给腔室155中。一旦足够量的流体充入供给腔室155中，进口阀125关闭。在过滤段，供给级泵150使得供给级隔膜160运动，以便使流体离开供给腔室155。隔离阀130和阻挡阀135打开，以便允许流体流过过滤器120至分配腔室185。根据本发明一个实施例，隔离阀130可以首先打开(例如在“预过滤段”)，以便能够在过滤器120中产生压力，然后，阻挡阀135打开，以便允许流体流入分配腔室185中。根据另一实施例，隔离阀130和阻挡阀135可以打开，且供给泵运动，以便在过滤器的分配侧产生压力。在过滤段，分配泵180能够运动至初始位置。如美国临时专利申请No. 60/630384(标题为 “SYSTEM AND METHOD FOR A VARIABLE HOME POSITION DISPENSE SYSTEM，，，申请人为Laverdiere等，申请日为2004年11月23日(ENTG1590))和PCT申请No. PCT/US2005/042127 (标题为 “SYSTEM AND METHOD FOR VARIABLE HOME POSITION DISPENSESYSTEM”，申请人为Laverdiere等，申请日为2005年11月21日(ENTG1590/PCT))中所述(这两篇文献都被本文参引)，分配泵的初始位置可以是这样的位置，它使得在分配泵处有用于分配循环的最大可用容积，但是小于分配泵可以提供的最大可用容积。初始位置根据分配循环的各种参数来进行选择，以便减小多级泵100的无用滞留容积。类似地，供给泵150可以运动至初始位置，该初始位置提供的容积小于它的最大可用容积。当流体流入分配腔室185中时，流体压力增加。分配腔室185中的压力可以通过调节供给泵150的速度来控制，如美国专利申请No. 11/292559 (标题为“SYSTEM AND METHODFOR CONTROL OF FLUID PRESSURE”，申请人为 Gonnella 等，申请日为 2005 年 12 月 2 日(ENTG1630))中所述，该文献被本文参引。根据本发明的一个实施例，当分配腔室185中的流体压力达到预定压力设置点时(例如由压力传感器112来确定)，分配级泵180开始使得分配级隔膜190后退。换句话说，分配级泵180增加分配腔室185的可用容积，以便允许流体流入分配腔室185中。这例如可以通过以预定速率使分配马达200反转来实现，从而使得分配腔室185中的压力降低。当分配腔室185中的压力下降至低于设置点(在系统的公差内)时，供给马达175的速率增大，从而使得分配腔室185中的压力达到设置点。当压力超过设置点(在系统的公差内)时，供给马达175的速率减小，从而使得下游分配腔室185中的压力减小。增大和减小供给马达175速度的过程可以重复进行，直到分配级泵达到初始位置，在该位置点，两个马达可以停止。根据另一实施例，第一级马达的速度在过滤段中可以使用“死区”控制方案来控制。当分配腔室185中的压力达到初始界限值时，分配级泵可以使得分配级隔膜190运动，以便使流体更自由地流入分配腔室185中，从而使得分配腔室185中的压力降低。当压力降低至低于最小压力界限值时，供给马达175的速度增大，从而使得分配腔室185中的压力增大。当分配腔室185中的压力增大至超过最大压力界限值时，供给马达175的速度降低。还有，增大和减小供给马达175的速度的过程可以重复进行，直到分配级泵达到初始位置。在通气段开始时，隔离阀130打开，阻挡阀135关闭，通气阀145打开。在另一实施例中，阻挡阀135可以在通气段中保持打开，在通气段结束时关闭。在该时间中，当阻挡阀135打开时，控制器能够了解压力，因为分配腔室中的压力(该压力可以由压力传感器112来测量)将受到过滤器120中的压力的影响。供给级泵150向流体施加压力，以便通过打开的通气阀145而从过滤器120中除去空气泡。供给级泵150可以控制成以预定速率进行通气，能够有更长的通气时间和更低的通气速率，从而能够精确控制通气浪费量。当供给泵是气动类型泵时，流体流限制器可以布置在通气流体通路中，且施加在供给泵上的气动压力可以增加或降低，以便保持“通气”设置点压力，从而对在其它情况下无法控制的方法进行一些控制。在清洗段开始时，隔离阀130关闭，阻挡阀135关闭(当它在通气段打开时)，通气阀145关闭，且清洗阀140打开，进口阀125打开。分配泵180向分配腔室185中的流体施加压力，以便使空气泡通过清洗阀140排出。在静态清洗段，分配泵180关闭，但是清洗阀140保持打开，以便继续通气。在清洗或静态清洗段中除去的任何多余流体都可以从多级泵100排出(例如返回流体源或丢弃)，或者重新循环至供给级泵150。在准备段，进口阀125、隔离阀130和阻挡阀135可以打开，清洗阀140关闭，这样，供给级泵150可以达到源(例如源瓶)的周围压力。根据另一实施例，全部阀在准备段都关闭。在分配段，出口阀147打开，分配泵180向分配腔室185中的流体施加压力。因为出口阀147可以反应成比分配泵180更慢地进行控制，因此出口阀147可以首先打开，且预定时间后再起动分配马达200。这防止分配泵180通过局部打开的出口阀147而将流体推出。而且，这防止流体由于阀打开(它是微型泵)而从分配喷嘴向上运动，随后通过马达运动而进行向前流体运动。在其它实施例中，可以同时使出口阀147打开和由分配泵180开始分配。还可以进行附加反吸段，在该附加反吸段中，除去在分配喷嘴中的多余流体。在反吸段中，出口阀147可以关闭，且第二马达或真空可以用于将多余流体吸出出口喷嘴。也可选择，出口阀147可以保持打开，分配马达200可以使该流体反向回到分配腔室中。反吸段帮助防止多余流体滴至晶片上。图3是使用多级泵100的泵送系统10的示意图。泵送系统10还可以包括流体源15和泵控制器20，它们与多级泵100 —起工作，以便将流体分配至晶片25上。多级泵100的操作可以由泵控制器20来控制。泵控制器20可以包括计算机可读介质27 (例如RAM、ROM、闪存、光盘、磁盘驱动器或者其它计算机可读介质)，该计算机可读介质27包含一组控制指令30，用于控制多级泵100的操作。处理器35 (例如CPU、ASIC、RISC、DSP或其它处理器)可以执行这些指令。泵控制器20可以在泵100的内部或者外部。具体地说，泵控制器可以存在于多级泵100上，或者通过用于传递控制信号、数据或其它信息的一个或多个通信链路而与多级泵100连接。例如，泵控制器20在图3中表示为通过通信链路40和45而与多级泵100通信连接。通信链路40和45可以是网络(例如以太网、无线网、全球局域网、DeviceNet网或者其它本领域已知或发展的网络)、总线(例如SCSI总线)或者其它通信链路。泵控制器20可以实现为在它上面的PCB板、遥控器，或者以其它合适方式实现。泵控制器20可以包括合适的界面(例如网络界面、I/O界面、模数转换器和其它部件)，以便使泵控制器20能够与多级泵100通信。泵控制器20可以包括本领域已知的各种计算机部件，包括处理器、存储器、界面、显示装置、外围设备或者其它计算机部件。泵控制器20可以控制多级泵中的各种阀和马达，以使多级泵精确分配流体，包括低粘性流体(即小于100厘泊)或其它流体。在美国临时专利申请NO. 60/741657 (标题为“I/O INTERFACE SYSTEM ANDMETHOD FOR A PUMP”，申请人为Cedrone等，申请日为2005年12月2日(ENTG1810))中所述的I/O界面连接器介绍了可用于使泵控制器20与各种界面和制造工具连接的I/O适配器。图4提供了用于多级泵100的各操作段的阀和分配马达正时的示意图。尽管各阀表示为在段变化过程中同时关闭，但是阀的关闭时间可以稍微分开(例如100毫秒)，以便降低压力峰值。例如，在通气和清洗段，隔离阀130可以稍微在通气阀145之前关闭。不过应当知道，在本发明的不同实施例中也可以采用其它的阀正时。另外，多个段可以一起进行(例如充装/分配阶段可以同时进行，这时，进口阀和出口阀可以在分配/充装段打开)。还应当知道，各循环中并不必须重复特定段。例如，清洗和静态清洗段可以并不在每个循环都执行。类似地，通气段可以并不在每个循环都执行。还有，在重新装入之前可以执行多个分配。各个阀的打开和关闭可以引起流体中的压力峰值。例如，在静态清洗段结束时关闭清洗阀140可以使得分配腔室185中的压力增大。这种情况可能出现，因为各阀可以在它关闭时排出少量流体。例如，清洗阀140可以在它关闭时向分配腔室185中排出少量流体。因为当由于清洗阀140关闭引起压力增大时出口阀147关闭，因此在随后的分配段中当压力并不降低时可能使得流体“射出”至晶片上。为了在静态清洗段(或者附加段)中释放该压力，分配马达200可以反向，以便使活塞192退回预定距离，以便补偿由于阻挡阀135和/或清洗阀140关闭而引起的任何压力增大。由阀(例如清洗阀140)关闭引起的压力增大的一个校正实施例在美国临时专利申请No. 60/741681(标题为“SYSTEM AND METHOD FORCORRECTING FOR PRESSURE VARIATIONS USING A MOTOR”，申请人为 Gonnela 等，申请日为2005年12月2日(ENTG1420-3))中介绍，该文献被本文参引。通过避免关闭阀产生夹带空间和在夹带空间之间打开阀，也可以减小处理流体中的压力峰值。美国临时专利申请No. 60/742168 (标题为“METHOD AND SYSTEM FOR VALVESEQUENCING IN A PUMP”，申请人为 Gonnella 等，申请日为 2005 年 12 月 2 日(ENTG1740))介绍了用于正时阀打开和关闭的一个实施例，以便降低在处理流体中的压力峰值。还应当知道，在准备段中，在分配腔室185中的压力可以根据隔膜的特性、温度或其它因素而变化。分配马达200可以进行控制，以便补偿该压力偏移，如美国临时专利申请No. 60/741682 (标题为 “SYSTEM AND METHOD FOR PRESSURE COMPENSATION IN A PUMP”，申请人为James Cedrone,申请日为2005年12月2日(ENTG1800))中所述，该文献被本文参引。因此，本发明实施例提供了一种具有平稳流体处理特征的多级泵，它能够避免或减小可能的有害压力变化。本发明实施例还可以使用其它泵控制机构和阀衬，以便帮助降低处理流体压力的不利影响。用于多级泵100的泵组件的附加实例可以在美国专利申请No. 11/051576 (标题为“PUMP CONTROLLER FOR PRECISION PUMPING APPARATUS”，申请人为Zagars等，申请日为2005年2月4日(ENTG1420-2))中知道，该文献被本文参引。在一个实施例中，多级泵100包括作为供给马达175的步进马达和作为分配马达200的BLDCM 3030。合适的马达和相关部件可以由Dover, NH, USA的EAD Motors等获得。在工作时，BLDCM 3030的定子产生定子通量，转子产生转子通量。在定子通量和转子通量之间的相互作用限定了力矩，并因此限定了 BLDCM 3030的速度。在一个实施例中，数字信号处理器(DSP)用于实现全部场定向控制(F0C)。FOC算法在计算机可读介质中使用的计算机可执行软件指令中实现。这时，数字信号处理器以及芯片级硬件外围设备可以有计算能力、速度和可编程性，以便在微秒范围内以相对较少的附加成本来控制BLDCM 3030和完全执行FOC算法。可以用于实现本发明实施例的一个DSP实例是可由Dallas，TX, USA中的Texas Instruments Inc.获得的 16 位 DSP (部件号为 TMS320F2812PGFA)。BLDCM 3030可以包括至少一个位置传感器，以便感测实际转子位置。在一个实施例中，位置传感器可以在BLDCM 3030的外部。在一个实施例中，位置传感器可以在BLDCM3030的内部。在一个实施例中，BLDCM 3030可以无传感器。在图1所示的实例中，位置传感器3040与BLDCM 3030连接，用于BLDCM 3030的实际转子位置的实时反馈，它由DSP使用，以便控制BLDCM 3030。具有位置传感器3040的附加优点是它证实了极其精确和可重复的机械活塞位置控制(例如图2的活塞192)，这意味着在活塞移动分配泵中极其精确和可重复地控制流体运动和分配量(例如图2的分配泵180)。在一个实施例中，活塞传感器3040是细线旋转位置编码器。在一个实施例中，位置传感器3040为2000线编码器。根据本发明的一个实施例，2000线编码器可以向DSP提供8000脉冲或计数。当使用2000线编码器时，可以以0. 045旋转度来精确测量和控制。也可以使用其它合适的编码器，例如，位置传感器3040可以是1000或8000线编码器。BLDCM 3030可以以非常低的速度运转，且仍然保持恒定速度，这意味着很少或者无振动。在其它技术例如步进马达中，不能够在不将振动引入泵送系统中的情况下以较低速度运转，这是由于较差的恒定速度控制产生的。该变化将引起较差的分配性能，并导致非常窄的操作窗口范围。另外，振动可能对处理流体有不利影响。下面的表I和图5 — 9比较了步进马达和BLDCM，并显示了利用BLDCM 3030作为多级泵100中的分配马达200的多个优点。表I
权利要求
1.一种泵，其包括分配泵，其中，所述分配泵是活塞位移泵，它包括分配腔室；活塞;分配级隔膜，所述分配级隔膜位于所述分配腔室和所述活塞之间；无刷DC马达；以及丝杠，所述丝杠连接所述活塞和所述无刷DC马达；其中，所述无刷DC马达由计算机可读介质所包含的软件指令来控制，所述软件指令能由执行控制方案的处理器来执行，且所述处理器与所述计算机可读介质和所述泵通信连接。
2.根据权利要求1所述的泵，还包括位置传感器，所述位置传感器与所述无刷DC马达连接，并与所述处理器进行通信，用于提供所述无刷DC马达的实际转子位置的实时位置反馈。
3.根据权利要求2所述的泵，其中所述位置传感器在内部或外部与所述无刷DC马达连接。
4.根据权利要求2所述的泵，其中所述位置传感器可操作以提供测量，所述测量便于以O. 045的无刷DC马达的旋转度来控制所述活塞。
5.根据权利要求1所述的泵，其中所述控制方案设置成通过使得所述无刷DC马达在单个循环过程中以至少两个控制器频率运行而产生最少的热量，所述至少两个控制器频率包括用于所述单个循环的分配部分的第一频率。
6.一种控制泵中的机械活塞的位置的方法，包括使所述机械活塞与无刷DC马达连接；使用位置传感器，用于所述机械活塞的实时位置反馈；以及根据执行控制方案的软件指令来控制所述无刷DC马达的控制循环的操作频率；其中，所述软件指令存在于计算机可读介质上，并可由处理器来执行；所述处理器与所述计算机可读介质和所述泵通信连接；所述控制方案在分配过程中增大所述无刷DC马达的所述操作频率，以便提高所述机械活塞的位置控制，而在非分配操作的过程中减小所述无刷DC马达的所述操作频率，以便使产生的热量最少。
7.根据权利要求6所述的方法，还包括在循环的分配部分中使得所述无刷DC马达的所述操作频率增大至大约30kHz。
8.根据权利要求6所述的方法，还包括在循环的非分配部分中使得所述无刷DC马达的所述操作频率减小至大约IOkHz。
9.根据权利要求6所述的方法，其中所述泵是单级泵或多级泵。
全文摘要
本发明所披露的系统和方法的实施例利用无刷DC马达(BLDCM)驱动泵系统中的单级或多级泵，用于实时、平滑运动以及极其精确和可重复地对流体运动和分配量进行位置控制，其在半导体制造中非常有用。该BLDCM可以利用位置传感器，来对执行定制场定向控制方案的处理器进行实时位置反馈。本发明的实施例能够通过定制控制方案，根据潜在函数的关键程度，通过增加和减小BLDCM的操作频率来减小产生的热量，而不会损害分配泵的精确位置控制。该控制方案能够以非常低的速度运行BLDCM，同时保持恒定的速度，这就使得泵系统能够在很宽的速度范围下操作，具有很小的变化，大大地增加了分配性能和操作能力。
文档编号F04B49/06GK103016324SQ20121036559
公开日2013年4月3日 申请日期2006年11月20日 优先权日2005年11月21日
发明者G·戈纳拉, J·塞德罗恩, I·加什盖 申请人:恩特格里公司