一种用于控制供应给真空泵的气体源的方法与流程

文档序号:11286446阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种用于调节在压缩机或真空元件(1)的出口通道(3)处的温度的方法,该方法包括在入口通道(9)上设置调压阀(4)的步骤,该入口通道(9)与压缩机或真空元件(1)直接流体连通,该阀(4)通过相对于该压缩机或真空元件(1)内的压力值与设定压力值之间的差调整在工艺通道(8)与压缩机或真空元件(1)之间流动的流体的体积来调节压缩机或真空元件(1)内的压力,其中该方法还包括以下步骤:‑启动压缩机或真空元件(1)和通过将压缩机或真空元件(1)的入口通道(2)连接至吹扫气体源一段预选定时间间隔来启动预吹扫循环;‑随后将入口通道(9)连接至工艺通道(8);以及‑将入口通道(2)与工艺通道(8)断开连接和启动在入口通道(2)处调节气体流的后吹扫循环以维持真空元件(1)内的设定温度一段选定时间间隔。

技术研发人员:J·科克尔伯格斯
受保护的技术使用者:阿特拉斯·科普柯空气动力股份有限公司
技术研发日:2016.01.07
技术公布日:2017.09.26
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