一种压电气泵的制作方法

技术特征：

1.一种压电气泵，包括外壳和设置在所述外壳内的压电组件，所述外壳上具有进气通道和出气通道；其特征在于：所述压电组件和外壳之间形成消音腔体，所述消音腔体内设置有至少一消音板，所述消音板上设有贯穿该消音板的至少一通孔。

2.根据权利要求1所述的压电气泵，其特征在于：所述通孔中的至少一个在所述消音板两面中的至少一面上凸出形成孔壁。

3.根据权利要求2所述的压电气泵，其特征在于：所述消音板的厚度和/或所述孔壁的厚度至少1mm。

4.根据权利要求1所述的压电气泵，其特征在于：所述压电组件和外壳之间还形成流通腔体，分别连通所述进气通道和出气通道。

5.根据权利要求4所述的压电气泵，其特征在于：所述压电组件包括支架和设置在所述支架的一面上的压电振子，所述支架背向所述压电振子的一面与所述外壳之间形成一不可变腔体，朝向所述压电振子的一面与所述压电振子之间形成一可变腔体，所述不可变腔体和可变腔体共同组成所述流通腔体；所述不可变腔体被隔断形成第一腔体和第二腔体，所述第一腔体连通所述进气通道，所述第二腔体连通所述出气通道；所述可变腔体和第一腔体之间通过一可打开和关闭的第一阀体来控制两者之间的连通，所述可变腔体和第二腔体之间通过一可打开和关闭的第二阀体来控制两者之间的连通。

6.根据权利要求5所述的压电气泵，其特征在于：所述支架上具有连通所述第一腔体和可变腔体的第一安装孔，所述第一阀体安装固定在所述第一安装孔上；所述支架上具有连通所述第二腔体和可变腔体的第二安装孔，所述第二阀体安装固定在所述第二安装孔内。

7.根据权利要求4-6中任一所述的压电气泵，其特征在于：所述消音腔体和流通腔体分别位于所述压电组件相对的两侧上。

8.根据权利要求5或6所述的压电气泵，其特征在于：所述压电振子设置在所述支架朝向所述消音腔体的一面上，且位于所述消音腔体内；所述消音板上的通孔开口朝向所述压电振子。

9.根据权利要求1所述的压电气泵，其特征在于：所述进气通道处设置有滤尘机构。

10.根据权利要求1或9所述的压电气泵，其特征在于：所述进气通道具有至少一道弯折。