专利名称：带有气体润滑单元的空气弹簧隔振基础的制作方法
技术领域：
本发明属于超低频隔振领域，尤其是一种带有气体润滑单元的空气弹簧隔 振基础。
背景技术：
空气弹黉隔振基础由于其低頻隔振效果好、对负载变化不敏感、使用寿命 长等优点而被广泛应用于振动隔离领域。随着超精密加工与测量、微纳米技术 和超大规模集成电路制造精度水平的不断提高，对振动隔离的超低频性能提出 了更高的要求。然而目前的空气弹簧隔振基础因空气弹簧横、纵向刚度相互耦 合导致横、纵向超低频隔振性能无法兼顾，这在很大程度上限制了其在超低频 隔振领域的进一步应用。
专利US577卯M)，，Susj^nded low-frequency horizontal pendulum isolator for vibration isolation systems"提出将空气弹簧与单摆机构串联以支撑台体。 由于单摆机构的横向刚度远小于空气弹簧横向刚度而纵向刚度远大于空气弹簧 的纵向刚度，两者串联后等效横向刚度接近单摆机构横向刚度，等效纵向刚度 接近空气弹簧纵向刚度，因而隔振系统的横向刚度取决于单摆的横向刚度、纵 向刚度取决于空气弹簧的纵向刚度。它可解决因空气弹簧横、纵向刚度耦合带 来的隔振系统横向隔振和纵向隔振不能兼顾的问题。但是单摆机构的横向隔振 能力很大程度上取决于单摆的臂长，臂长越长隔振效果越好，欲获得超低的隔 振频率就会导致系统隔振系统会有庞大的尺寸，这也是它的一个很大的弱点， 此外它的;^载能力不高，不适于承载大型隔振基础。
专利CN1487216A "倒摆式气动隔振器"利用密封气囊的柔性实现与地面 的垂直隔振，依靠倒摆的水平摆动实现水平隔振。它也可解决因空气弹簧横、 纵向刚度耦合带来的隔振系统横向隔振和纵向隔振不能兼顾的问题。但是由于 它的所有承载都将施加到底座内的滚珠之上，因而其承载能力不高，不适于承 载大型隔振基础。
此外国内外根多学者提出采用主动控制方法实现超低频隔振(L K.G.AHN， et al. A Hybrid-type Active Vibration Isolation System Using Neural Networks. Journal of Sound and Vibration. 1996， 192(4)， 793-805.;2. Yoshiya Nakamura， et al. Development of Active 6-DOF Microvibration Control System Using Giant Mag股tostrictive Actuator. SPIE 1999， 229-240)，其原理是采用主动作动器和空 气弹簧并联，选用适当主动控制策略控制作动器的运动，达到减振的目的。这 种方法的缺点是结枸较复杂、需消耗大量的外部能源、可能导致系统不稳定。
发明内容
为了克服上述已有技术中的不足，本发明提出一种带有气体润滑单元的空 气弹簧隔i!X础，采用气体润滑单元和空气弹簧组成的串联结构以支撑基体， 基体側面布置有低刚度扶正装置。本发明采用新颖的串联隔振结构，利用气体 润滑单元横向摩擦力趋近于零而纵向承载能力与空气弹簧相当的特性，不仅使 隔振基础的横向刚度降低为其侧面的低刚度扶正装置的刚度，而且使纵向刚度 降低为气体润滑单元和空气弹簧串联等效刚度。可在不改变隔振基础承载能力 的条件下，大幅度提高隔振基础的横、纵向超低频隔振性能，有效的解决了目 前空气弹簧隔振基础横、纵向隔振不能兼顾的问题。另外本发明的空气弹簧隔 ,础依然属于无瀕^M动隔振系统，相比主动控制系统省去了外部能源提供环
本发明的技术解决方案是
带有气体润滑单元的空气弹簧隔振基础，其组成包括基体(5)、 一组空气 弹簧(4)、供气系统(l)、高度控制系统(2)、多个气体润滑单元(3)和低刚度扶正装 置，所述的供气系统(1)与所述的高度控制系统(2)输入端相连，所述的高度控制 系统(2)输出端与每个所述的空气弹簧(4)分别相连，所述的气体润滑单元(3)直接 与所述的供气系统(l)相连，所述的气体润滑单元(3沐所述的空气弹簧(4)串联安 装于所述的基体(5)之下，由所述的气体润滑单元(3)所述的与空气弹簧(4)组成串 联结构以支撑所述的基体，所述的基体(5)侧面布置所述的低刚度扶正装置(6)。
所述的一种带有气体润滑单元的空气弹簧隔振基础，所述的气体润滑单元 (3虔于空气弹簧(4)之上或者之下。
所述的一种带有气体润滑单元的空气弹簧隔振基础，所述的低刚度扶正装 置(6)是柔性气囊或者金属蠊旋弹簧或者非金属橡胶。
所述的一种带有气体润滑单元的空气弹簧隔振基础，所述的气体润滑单元 (3)由供气孔(8)、节流器(7)和气体润滑工作面(9)组成，气体经供气孔(8)后由节 流器(7)流出，进入气体润滑工作面(9)。
本发明具有以下特点及良好效果
本发明将气体润滑单元和空气弹簧原本相互独立的装置有机整合成为一个 整体，使其功能和结构相融合。利用气体润滑单元横向摩擦力趋近于零而纵向 承载能力与空气弹簧相当的特性，木仅使隔振基础的横向刚度降低为其侧面的 低刚度扶正装置的刚度，而且使纵向刚度降低为气体润滑单元和空气弹簧串联 等效刚度，可同时实现隔振基础的横、纵向超低频隔振，解决了现有空气弹簧 隔振基础横、纵向隔振性能相互影响、无法兼顾的问题。通过设计合理的气体
润滑单元和选择合适的低刚度扶正装置，可使得隔振基础纵向固有频率降至
0.7Hz以下，横向固有频率降至0.2Hz 0.5Hz。这是区别于现有技术的创新点 之一；
本发明采用气体润滑单元和空气弹簧组成的串联结构支撑基体，利用气体 润滑单元的纵向承载能力与空气弹簧的纵向承载能力相当的特性，可有效保持 隔振基础的固有承载能力，克服了现有的单摆或者倒摆与空气弹簧串联结构承 载能力差的缺点，满足了大型隔振基础在进行超低频隔振的同时对承载能力的 要求。这是区别于现有技术的创新点之二。
本设计方案采用十分简单的结构，仅在传统空气弹簧隔振基础中加入气体 润滑单元和低刚度扶正装置，即可解决目前空气弹簧隔振基础横、纵向隔振不 能兼顾的问题，提高隔振基础双向超低频隔振性能。对比主动控制技术，本发 明可省去外界能源提供环节，从根本上解决了稳定性问题，而且结构简单、易 于实现。
附图1是本发明的一种带有气体润滑单元的空气弹簧隔振基础结构示意
附图2是本发明的高度控制系统原理示意附图3是本发明中气体润滑单元和空气弹簧串联布置方式示意图,其中气 体润滑单元位于空气弹簧之上；
附图4是本发明中气体润滑单元和空气弹簧串联布置方式示意图，其中空 气弹簧位于气体润滑单元之上；
图5给出了气体润滑单元的结构示意图。
图中，l气路系统、2高度控制系统、3气体润滑单元、4空气弹簧、5基体、 6低刚度扶正装置、7节流器、8供气孔、9气体润滑工作面、IO高度控制器、 ll位移传感器、12三位电磁阀。
具体实施例方式
本发明的一种带有气体润滑单元的空气弹簧隔振基础的系统结构及工作原 理结合实施例及附國详细说明如下
本发明的一种带有气体润滑单元的空气弹簧隔振基础一实施例,结构如图1 所示，包括基体5、多个空气弹簧4、多个气体润滑单元3，气体润滑单元3 与空气弹簧4组成的串连结构支撑基体5，基体5侧面布置低刚度扶正装置6。
由于气体润滑单元3横向摩擦力趋近于零，因而它与空气弹簧4串联等效 横向刚度为零，等效纵向刚度为
夂+A2
这里A为等效纵向刚度，^为空气弹簧4纵向刚度，^为气体润滑单元3 纵向刚度。因此气体润滑单元3和空气弹簧4组成的串联结构支撑基体5，可使 隔振基础横向刚度趋近于零而纵向刚度也有一定程度的下降，为了保证隔振基 础横向稳定，在基体5侧面布置低刚度扶正装置6，通过设计合理的气体润滑单 元3和选择合适的低刚度扶正装置6,可同时大幅提高隔振基础的横、纵向超低 频隔振性能。
高度控制系统2作用是调节基体5的纵向位置以克服负载变化对隔振基础 性能逾成的影响。目前应用比较广泛的高度控制方式为反饿控制，如图2所示。 它包括高度控制器IO、位移传感器11和三位电磁阀12。高度控制器10依据 安装在基体5上的位移传感器11反馈的高度信号控制三位电磁阀12使得气路
实现充气(供气系统1直接与空气弹簧3相连)、保持、排气(空气弹簧3直接 与大气相连)三种状态。
图3和图4例举了两种气体润滑单元3与空气弹簧4的串联布置方式，气 体润滑单元3既可以安装在基体5与空气弹簧4之间，也可以安装在空气弹簧4 与地面之间。整个系统安装方便结构紧凑。
图5给出了气体润滑单元的结构示意图，由节流器7、供气孔8、气体润滑 工作面组成。工作时高压气体进入供气孔8，经过节流器7后气体压力进一步升 高并汇集到气体润滑工作面9上，最后在气体润滑工作面9上形成一个高压气 膜来承载基体的重量。
所述的低刚度扶正装置6是柔性气囊或者金属蠊旋弹簧或者非金属橡胶。
所述的气体润滑单元3由供气孔8、节流器7和气体润滑工作面9组成， 气体经供气孔8后由节流器7流出，进入气体润滑工作面9。
气体润滑单元3的承载能力与供气压力、气体润滑工作面9的面积和节流 孔7形式有关，通过合理选择以上参数可以使得气体润滑单元3承载能力与空 气弹簧4承载能力相当，两者串联依然保持隔振基础固有的承载能力。从而克 服现有的单摆或者倒摆与空气弹簧串联结构承载能力差的缺点，满足了大型隔 振基础在进行超低頻隔振的同时对承载能力的要求。另外本发明的空气弹簧隔 振基础依然属于无源被动隔振系统，相比主动控制系统省去了外部能源提供环 节，不存在稳定性问题。
以上结合附图对本发明的具体实施方式
做了说明，但这些说明不能被理解 为限制了本发明的范围，本发明的保护范围由随附的权利要求书限定，任何在 本发明权利要求书基础上进行的改动都是本发明的保护范围。
权利要求
1.一种带有气体润滑单元的空气弹簧隔振基础，其组成包括基体(5)、一组空气弹簧(4)、供气系统(1)、高度控制系统(2)、多个气体润滑单元(3)和低刚度扶正装置，其特征是所述的供气系统(1)与所述的高度控制系统(2)输入端相连，所述的高度控制系统(2)输出端与每个所述的空气弹簧(4)分别相连，所述的气体润滑单元(3)直接与所述的供气系统(1)相连，所述的气体润滑单元(3)和所述的空气弹簧(4)串联安装于所述的基体(5)之下，由所述的气体润滑单元(3)所述的与空气弹簧(4)组成串联结构以支撑所述的基体，所述的基体(5)侧面布置所述的低刚度扶正装置(6)。
2. 根据权利要求1所述的一种带有气体润滑单元的空气弹簧隔振基础，其 特征是所述的气体润滑单元(3)置于空气弹簧(4)之上或者之下。
3. 根据权利要求1或2所述的一种带有气体润滑单元的空气弹簧隔振基础, 其特征是所述的低刚度扶正装置(6)是柔性气囊或者金属螺旋弹簧或者非金 属橡胶。
4. 根据权利要求3所述的一种带有气体润滑单元的空气弹簧隔振基础，其 特征是所述的气体润滑单元(3)由供气孔(8)、节流器(7)和气体润滑工作面(9) 组成，气体经供气孔(8)后由节流器(7)流出，进入气体润滑工作面(9)。
5. 根据权利要求1或2所述的一种带有气体润滑单元的空气弹簧隔振基础， 其特征是所述的气体润滑单元(3)由供气孔(8)、节流器(7)和气体润滑工作面 (9)组成，气体经供气孔(8)后由节流器(7)流出，进入气体润滑工作面(9)。
全文摘要
带有气体润滑单元的空气弹簧隔振基础，本发明属于带有气体润滑单元的空气弹簧隔振基础。然而目前的空气弹簧隔振基础因空气弹簧横、纵向刚度相互耦合导致横、纵向超低频隔振性能无法兼顾。本产品组成包括基体(5)、一组空气弹簧(4)、供气系统(1)、高度控制系统(2)、多个气体润滑单元(3)和低刚度扶正装置，供气系统(1)与高度控制系统(2)输入端相连，高度控制系统(2)输出端与每个空气弹簧(4)分别相连，气体润滑单元(3)直接与供气系统(1)相连，气体润滑单元(3)和空气弹簧(4)串联安装于基体(5)之下，由气体润滑单元(3)与空气弹簧(4)组成串联结构以支撑基体，基体(5)侧面布置低刚度扶正装置(6)。本发明适于超大型空气弹簧隔振基础。
文档编号F16F15/04GK101096987SQ200610150809
公开日2008年1月2日 申请日期2006年9月26日 优先权日2006年9月26日
发明者彦 刘, 姚绍明, 刚 曹, 杨文国, 谭久彬 申请人:哈尔滨工业大学