隔离阀结构的制作方法

文档序号:5802886阅读:406来源:国知局
专利名称:隔离阀结构的制作方法
技术领域
本实用新型有关一种应用在真空设备的隔离阀结构,尤指一种可 确实让其中 一 端所接续的空间保持在负压状态,防止大气压力因下端 盖所接续的真空泵突然故障而逆流至其空间中,以及排除因废材堆积 而影响阀瓣滑动状态的隔离阀结构。
背景技术
在现代许多高精密度产品(例如半导体、硬盘机、镜片等)的制造过
程当中,某些加工步骤必需使用程度不一的真空才能完成;又,在实 验室和工厂中用以制造真空的方法主要是利用真空泵将密闭空间中的 空气抽出,使该空间保持在负压状态,亦即到某种程度的真空。
然而,虽然可以利用真空泵持续将空气抽出的方式让该空间保持 在负压状态,但是当该真空泵故障或停止运转时,该负压空间外部的 空气即会在大气压力的作用下逆向侵入原有的负压空间当中,如此不 但会造成该空间内部产品不同程度的危害,而且重新使该空间恢复到 既定的负压状态则必须要再耗费相当长的运作时间,以及真空泵运作 所需的成本。
按, 一般隔离阀主要用以连接于真空泵及一真空室或类似需要形 成负压的空间之间,请参照图l所示,习用的隔离阀90结构包括有一套 筒91,套筒91两端再锁固有一上端盖92及一下端盖93,并于套筒91内 部套设有衬环94 ,以及于衬环94顶部设有一阀瓣95,衬环94的顶部分 设有若干限位杆941,其围绕成一用以框限阀瓣95上、下浮动的限位空 间,并使阀瓣95因隔离阀90两侧压力的不同而于限位杆941间稳定滑 动,然而,于使用时可能因废材堆积于外露的限位杆941上,而令阀瓣 95无法顺利滑动并损坏相关机械构件。

实用新型内容
有鉴于此,本实用新型所解决的技术问题在于提供一种可确实让 其中 一端所接续的空间保持在负压状态,并可防止大气压力因下端盖 所接续的真空泵突然故障而逆流至其空间中,以及排除因废材堆积而 影响阀瓣滑动状态的隔离阀结构。
为达上揭目的,本实用新型的隔离阀包括有一套筒、 一上端盖及 一下端盖,主要在套筒的内部套设有一衬环,以及于衬环顶部设有一 阀瓣,此村环的外围以及底部分别设有若干定位用凸条,使衬环与套
筒内壁以及下端盖保持特定之间隔;尤其,衬环于主通孔外围设有滑 槽,阀瓣周边则具有可配合穿入滑槽中滑移的穿轴。
本实用新型的有益效果为整体隔离阀主要因其两侧压力的不同, 即可在阀瓣得压贴于上端盖的状态下,由阀瓣将上端盖的管路接口遮 蔽,进而让上端盖所接续的空间维持在负压状态,防止大气压力因下 端盖所接续的真空泵突然故障而逆流至其空间中;尤其,当下端盖所 接续的真空泵开始运作时,阀瓣藉由穿轴滑入衬环的滑槽中以离开上 端盖,并且于使用时因该穿轴可完全没入滑槽中,排除因废材堆积而 影响阀瓣的滑动状态以及防止损坏相关机械构件。
本实用新型的另一目的即在提供一种可透过各凸条之间所形成的 信道加快上端盖所接续的空间到达负压状态速度的隔离阀结构。


图1为习有隔离阀的结构剖视图;'
图2为本实用新型的隔离阀使用状态配置示意图3为本实用新型的外观立体图4为本实用新型的结构分解图5为本实用新型中套筒内部结构立体图6为本实用新型的结构剖视图7为本实用新型的动作示意图8为本实用新型的衬环顶面结构图9为本实用新型另一实施例的结构分解图。
图号说明
隔离阀10套筒11
上端盖12管路接口 121
下端盖13管路接口 131
衬环14凸条141
主通孔142滑槽143
间隔块144贯穿孔道145
轴套146阀瓣15
穿轴151第一流道161
第二流道162第三流道163
真空泵20真空室30
隔离阀90套筒91
上端盖92下端盖93
衬环94限位杆941
阀瓣9具体实施方式
本实用新型的特点,可参阅本案图式及实施例的详细说明而获得 清楚地了解。
如图2所示,本实用新型的隔离阀1 O主要用以连接于真空泵20及一 真空室30或类似需要形成负压的空间之间,请同时配合参照图3至图6 所示,整体隔离阀10基本上包括有 一套筒ll、 一上端盖12、 一下端 盖13、 一衬环14及一阀瓣15;其中
上、下端盖12、 13分别锁固在套筒11的两端,而且个别设有所属 的管路接口 121 、 131供与所接续的空间(真空室30)及真空泵20接续。
上述衬环14的外径小于套筒11的内径,并且在该衬环14的外围以 及底部分别设有若干定位用凸条141,使衬环14得以稳固的套设在套筒 ll内部,并且与套筒11内壁以及下端盖13保持特定的间隔;而且,于 衬环14设有主通孔142以及于主通孔142外围设有滑槽143。
而阀瓣15则于衬环14顶部,其周边具有可配合穿入滑槽143中滑移 的穿轴151,并得以压贴于上端盖12,进而将J:端盖12的管路接口121 遮蔽。
主要在真空泵20与真空室30压力的不同,使阀瓣15压贴于上端盖 12的状态下,如图6所示,由阀瓣15将上端盖12的管路接口121遮蔽, 令上端盖12所接续的空间维持在负压状态,并可防止大气压力因下端 盖所接续的真空泵突然故障而逆流至其空间中。
反之,当下端盖13所接续的真空泵20运作,因隔离阀10两侧压力 的不同而使阀瓣15如图7所示与上端盖12相脱离时,阀瓣15藉由穿轴 151滑入衬环14的滑槽143中以离开上端盖12,并且于使用时因该穿轴 151可完全没入滑槽143中,排除因废材堆积而影响阀瓣15的滑动状态 以及防止损坏相关机械构件。当然,该衬环14可以如图4及图7所示, 在其顶部相对应于主通孔142外围处布设有若干间隔块144以防止阀瓣 15将衬环14的主通孔142遮蔽。
又,如图5及图7所示,该衬环14对应于阀瓣15处具有一主通孔142, 为供空气流通的第一流道161,而各凸条141与套筒11内壁之间所形成 的信道为数个第;流道162,以及进一步在衬环14的本体上另外设有若 干贯穿孔道145,该贯穿孔道145亦为供空气流通的第三流道163,利用 举一流道161、第二流道162以及第三流道163来增加上、下端盖12、 13 之间的空气信道数量,达到辅助提升空气流通的效果。
由于,整个隔离阀10当中阀瓣15藉由穿轴151于衬环14的滑槽143 中滑移浮动,故其穿轴151可以呈如图8所示的圆形断面,而滑槽143则 配合穿轴151同为圆形断面,另外,滑槽143与穿轴151之间更可穿设有 一磨擦阻力较低的轴套146,以降低两者之间的磨擦阻力,使阀瓣15的 动作更为确实、反应更为灵敏。
综上所述,本实用新型提供一较佳可行的隔离阀结构,爰依法提 呈新型专利的申请;再者,本实用新型的技术内容及技术特点巳揭示 如上,然而熟悉本项技术的人士仍可能基于本实用新型的揭示而作各 种不背离本案实用新型精神的替换及修饰。因此,本实用新型的保护
范围应不限于实施例所揭示者,而应包括各种不背离本实用新型的替 换及修饰,并为以下的申请专利范围所涵盖。
权利要求1.一种隔离阀结构,其特征在于,包括有一套筒;一上端盖及一下端盖,分别锁固在套筒两端,并且个别设有所属的管路接口;一衬环,其外径小于套筒的内径,并且在其外围以及底部分别设有若干定位用凸条,使得以稳固的套设在套筒内部,并且与套筒内壁以及下端盖保持间隔,再于衬环设有主通孔以及于主通孔外围设有滑槽;一阀瓣,设于衬环顶部,其周边具有可配合穿入滑槽中滑移的穿轴,并得以压贴于上端盖,进而将上端盖的管路接口遮蔽。
2、 如权利要求1所述隔离阀结构,其特征在于,该衬环在其顶 部相对应于主通孔外围处布设有若干用以防止阀瓣将衬环内圏遮蔽 的间隔块。
3、 如权利要求1或2所述l4离阀结构,其特征在于,该衬环设 有若干贯穿孔道。
4、 如权利要求3所述隔离阀结构,其特征在于,该衬环的主 通孔为一供空气流通的第一流道,而各凸条与套筒内壁之间所形成的 信道为数个第二流道,以及进一步在衬环的本体上另外设有若干贯穿 孔道,该贯穿孔道亦为供空气流通的第三流道。
5、 如权利要求1所述隔离阀结构,其特征在于,该衬环的滑槽 呈圆形断面。
6、 如权利要求1所述隔离阀结构,其特征在于,该阀瓣的穿轴 呈圓形断面。
7、 如权利要求1所述隔离阀结构,其特征在于,该滑槽中穿设 有一轴套。
专利摘要本实用新型隔离阀结构包括有一套筒、一上端盖及一下端盖,主要在套筒的内部套设有一衬环,以及于衬环顶部设有一阀瓣,此衬环的外围以及底部分别设有若干定位用凸条,使衬环与套筒内壁以及下端盖保持特定之间隔;尤其,衬环于主通孔外围设有滑槽,阀瓣周边则具有可配合穿入滑槽中滑移的穿轴,主要因隔离阀两侧压力的不同,使阀瓣得以压贴于上端盖,进而将上端盖的管路接口遮蔽,或使阀瓣藉由穿轴滑入衬环的滑槽中以离开上端盖,并且于使用时因该穿轴可完全没入滑槽中,排除因废材堆积而影响阀瓣的滑动状态。
文档编号F16K3/02GK201196290SQ20082000702
公开日2009年2月18日 申请日期2008年3月5日 优先权日2008年3月5日
发明者林进达 申请人:尚弘科技股份有限公司
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