一种气动阀门控制装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种气动阀门控制装置，包括截止阀门一，截止阀门二，截止阀门三，三通管一，三通管二和面板；三通管一的三个管接头分别与截止阀门一，截止阀门二和截止阀门三的一端相连接，截止阀门二的另一端与三通管二的一个管接头相连接，面板上设置有阀门支架，截止阀门一，截止阀门二和截止阀门三通过阀门支架固定在面板上。截止阀门一的另一端上连接有气体管路一，截止阀门三的另一端上连接有气体管路二，三通管二未与截止阀门二连接的两个管接头通过快速接头分别连接有软管管路。所述装置可用于半导体化学品制程的自动化设备中，在遇到自动化设备系统关机或机台断电情况时，通过操作所述装置可以对制程中的产品采取保护措施。
【专利说明】一种气动阀门控制装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种气动阀门控制装置，用于半导体化学品制程的自动化设备中。
【背景技术】
[0002]当前，在半导体制造涉及化学品的制程中，机台管路的流量都通过气动阀门控制，当系统关机或机台断电时，所有的气动阀门都将自动关闭，所有的产品停止制程并将滞留在没有化学循环的化学品槽中，这将对产品产生严重影响。如图1所示，附图1为现有技术机台端的化学品槽正常情况下的制程简图，在正常情况下，通过气动阀门的启闭，控制管路流量，实现化学品槽207的正常制程，包括:化学品供应，化学品流量循环，化学品排放；所述气动阀门包括:化学品供应管道气动阀门208，排酸/循环管道气动阀门一 201和排酸管道气动阀门二 202。当遇到系统关机或机台断电情况，所有的气动阀门都将自动关闭，所有的产品204停止制程并将滞留在没有循环的化学品槽207里。
[0003]因此，对于涉及化学品制程的产品，如何解决在系统关机或机台断电的情况下，实现对于涉及化学品制程的产品的安全处理就很有必要了。
实用新型内容
[0004]本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种气动阀门控制装置，可以在自动化设备遇到系统关机或机台断电时，通过本实用新型气动阀门控制装置对气动阀门的操作，能够对制程中的产品采取保护措施。
[0005]为解决上述问题，本实用新型的技术方案是:一种气动阀门控制装置，包括截止阀门一，截止阀门二，截止阀门三，三通管一，三通管二和面板；三通管一的三个管接头分别与截止阀门一，截止阀门二和截止阀门三的一端相连接，截止阀门二的另一端与三通管二的一个管接头相连接，截止阀门一，截止阀门二和截止阀门三固定在面板上。
[0006]优选的，面板上设置有阀门支架，截止阀门一，截止阀门二和截止阀门三通过阀门支架固定在面板上。
[0007]优选的，截止阀门一的另一端上连接有气体管路一，截止阀门三的另一端上连接
有气体管路二。
[0008]优选的，气体管路一和气体管路二，均由不锈钢管路，快速接头和软管管路组成，不锈钢管路与软管管路通过快速接头连接。
[0009]优选的，截止阀门一与不锈钢管路通过焊接方式连接，截止阀门三与不锈钢管路通过焊接方式连接。
[0010]优选的，三通管二未与截止阀门二连接的两个管接头通过快速接头分别连接有软
管管路。
[0011 ] 优选的，三通管一和三通管二均由不锈钢管路焊接形成。
[0012]优选的，阀门支架通过焊接方式设置在面板上，阀门支架采用防酸不锈钢材质。[0013]优选的，面板上设置有3个螺丝孔。
[0014]通过固定面板上的3个螺丝孔，可以将气动阀门控制装置固定在机台上。
[0015]本发明的有益效果是，当系统关机或机台断电时，通过对气动阀门控制装置的操作，对制程中的产品采取保护措施，实现对化学品槽进行排酸补水(去离子水，可用于清洗产品)，达到改善化学品槽中产品的存在环境，延长产品在化学品槽的安全时间，使工程师有充分的时间对产品进行安全的处理。
【专利附图】
【附图说明】
[0016]图1为现有技术机台端的化学品槽正常情况下的制程简图；
[0017]图2为本实用新型气动阀门控制装置的结构示意图；
[0018]图3为装备本实用新型气动阀门控制装置的机台端化学品槽排酸补水的简图。
[0019]附图中，各标号所代表的部件列表如下:
[0020]101、截止阀门一，102、截止阀门二，103、截止阀门三，104、三通管一，105、三通管二，106、气体管路一，107、气体管路二，108、不锈钢管路，109、快速接头，110、软管管路，111、阀门支架，112、螺丝孔，113、面板，201、排酸/循环管道气动阀门一，202、排酸管道气动阀门二，203、供水管道气动阀门，204、产品，205、内槽，206、外槽，207、化学品槽，208、化
学品供应管道气动阀门。
【具体实施方式】
[0021]以下结合附图对本实用新型的结构特征和工作原理进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。
[0022]图2为本实用新型气动阀门控制装置的结构示意图,如图2所示,所述气动阀门控制装置，包括截止阀门一 101，截止阀门二 102，截止阀门三103，三通管一 104，三通管二 105和面板113 ;三通管一 104的三个管接头分别与截止阀门一 101，截止阀门二 102和截止阀门三103的一端相连接，截止阀门二 102未与三通管一 104相连接的另一端与三通管二 105的一个管接头相连接，面板113上设置有阀门支架111，截止阀门一 101，截止阀门二 102和截止阀门三103通过阀门支架111固定在面板113上。
[0023]截止阀门一 101另一端上连接有气体管路一 106。气体管路一 106由不锈钢管路108，快速接头109和软管管路110组成；不锈钢管路108通过快速接头109与软管管路110连接。优选的，截止阀门一 101与不锈钢管路108通过焊接方式连接。
[0024]截止阀门三103的另一端上连接有气体管路二 107。气体管路二 107由不锈钢管路108，快速接头109和软管管路110组成；不锈钢管路108通过快速接头109与软管管路110连接。优选的，截止阀门一 101与不锈钢管路108通过焊接方式连接。
[0025]三通管二 105未与截止阀门二 102连接的两个管接头通过快速接头109分别连接有软管管路110。
[0026]三通管一 104和三通管二 105均由不锈钢管路焊接形成。
[0027]阀门支架111通过焊接方式设置在所述面板113上，阀门支架111的材质为防酸不锈钢材质。
[0028]面板113上设置有3个螺丝孔112。通过面板113上的3个螺丝孔112，可以将气动阀门控制装置安装在机台上。
[0029]装配本实用新型气动阀门控制装置的机台端工作流程简述如下:正常情况下的流程与现有技术相同，包括=CDA气体(clean dry air/洁净干燥的压缩气体)通过管路从厂务端直接引入，经过机台端电磁阀控制系统，作用于机台端的气动阀门，实现管路控制；当遇到系统关机或机台断电时，CDA气体通过管路从厂务端引入本实用新型气动阀门控制装置，通过本实用新型气动阀门控制装置作用于机台端的气动阀门，从而通过控制本实用新型气动阀门控制装置中的各个截止阀来控制气动阀门的启闭，开启机台端的排酸管道进行化学品排放，然后开通化学品供应通道进行补水，实现水循环，使产品204脱离化学品环境，延长当前的产品204在化学品槽207的安全时间，从而能够有充分的时间对产品204进行安全处理。化学品供应管道和补水管道是两个不同的管道，正常情况下，补水管道是不参与制程的，在关机或断电情况下，可以通过本装置手动启动所述补水管道。
[0030]遇到系统关机或机台断电时的具体实施情况如下:
[0031]如图3所示，图3为装备本实用新型气动阀门控制装置的机台端化学品槽排酸补水的简图，从厂务端直接引入CDA，CDA的管道通过气体管路一 106与气动阀门控制装置上的截止阀门一 101连接，气动阀门控制装置上的截止阀门二 102通过三通管二 105，软管管路110与机台端的排酸/循环管道气动阀门一 201和排酸管道气动阀门二 202相连接，气动阀门控制装置上的阀门三103通过气体管路二 107与机台的供水管道气动阀门203相连接。
[0032]具体操作:通过打开气动阀门控制装置上的截止阀门一 101和截止阀门二 102，使CDA气体作用于机台端排酸管道上的排酸/循环管道气动阀门一 201和排酸管道气动阀门二 202，排酸管道打开，可以达到对化学品槽207进行排酸或排放其它化学品的功能。
[0033]通过打开气动阀门控制装置上的的截止阀门一 101与截止阀门三103，可以使CDA气体作用于机台的供水管道的供水管道气动阀门203，供水管道打开，实现供水功能，向化学品槽内槽207中供应去离子水，产品204位于内槽205中，去离子水可用于清洗产品204。
[0034]对化学品槽207进行排酸补水，可以改善化学品槽207中产品204的存在环境，延长产品204在化学品槽207的安全时间，从而能够有充分的时间对产品204进行安全的处理。
[0035]通过串联的两个手动截止阀门实现开关控制功能，可以防止由于单个手动截止阀门未关紧而影响机台的正常运行。
[0036]以上所述实施步骤和方法仅仅表达了本实用新型的一种实施方式，描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。在不脱离本实用新型专利构思的前提下，所作的变形和改进应当都属于本实用新型专利的保护范围。
【权利要求】
1.一种气动阀门控制装置，其特征在于:包括截止阀门一，截止阀门二，截止阀门三，三通管一，三通管二和面板，三通管一的三个管接头分别与截止阀门一，截止阀门二和截止阀门三的一端相连接，截止阀门二的另一端与三通管二的一个管接头相连接，截止阀门一，截止阀门二和截止阀门三固定在面板上。
2.根据权利要求1所述的一种气动阀门控制装置，其特征在于，所述面板上设置有阀门支架，所述截止阀门一，所述截止阀门二和所述截止阀门三通过所述阀门支架固定在所述面板上。
3.根据权利要求1所述的一种气动阀门控制装置，其特征在于，所述截止阀门一的另一端上连接有气体管路一，所述截止阀门三的另一端上连接有气体管路二。
4.根据权利要求3所述的一种气动阀门控制装置，其特征在于，所述气体管路一和所述气体管路二，均由不锈钢管路、快速接头和软管管路组成，所述不锈钢管路与所述软管管路通过所述快速接头连接。
5.根据权利要求3或4所述的一种气动阀门控制装置，其特征在于，所述截止阀门一与所述不锈钢管路通过焊接方式连接，所述截止阀门三与所述不锈钢管路通过焊接方式连接。
6.根据权利要求1所述的一种气动阀门控制装置，其特征在于，所述三通管二未与所述截止阀门二连接的两个管接头通过快速接头分别连接有软管管路。
7.根据权利要求1所述的一种气动阀门控制装置，其特征在于，所述三通管一和所述三通管二均由不锈钢管路焊接形成。
8.根据权利要求2所述的一种气动阀门控制装置，其特征在于，所述阀门支架通过焊接方式设置在所述面板上，所述阀门支架采用防酸不锈钢材质。
9.根据权利要求1或2所述的一种气动阀门控制装置，其特征在于，所述面板上设置有3个螺丝孔。
【文档编号】F16K31/12GK203421265SQ201320535049
【公开日】2014年2月5日 申请日期:2013年8月29日 优先权日:2013年8月29日
【发明者】董新杰, 王怀锋 申请人:武汉新芯集成电路制造有限公司