压电驱动式阀和压电驱动式流量控制装置的制造方法

技术特征：
1.一种压电驱动式阀，具有：阀本体，其具备流体流路；阀体，其用于将流体流路开闭；压电致动器，其用于利用压电元件的伸长而对所述阀体进行开闭驱动；散热隔件，其用于将所述压电致动器以从所述流体流路远离的方式举起并支撑，并且将从流动于所述流体流路的流体向所述压电致动器传导的热散热；以及支撑筒体，其容纳并支撑所述压电致动器和所述散热隔件双方，并且以能够相对于所述阀本体上下运动的方式被支撑，该支撑筒体由具有与该散热隔件相同的热膨胀系数的材料形成，所述阀体由自身弹性复位型的金属隔膜形成，具有：弹性部件，其对所述支撑筒体施力，使得所述阀体将所述流体流路闭锁；以及支撑部，其通过所述支撑筒体的侧壁而延伸至所述散热隔件的下部，支撑所述散热隔件，从而在所述压电致动器伸长时，抵抗所述弹性部件的弹性力而将所述支撑筒体举起，所述阀体使所述流体流路开通，所述散热隔件的下端部和上端部之间的长度被设定成，通过从流动于所述流体流路的流体受到的热从该散热隔件的所述下端部向所述上端部传热期间的散热，使得该上端部的温度成为所述压电致动器的耐热温度以下。2.根据权利要求1所述的压电驱动式阀，其特征在于，所述支撑筒体具有容纳所述压电致动器的第1筒部和容纳所述散热隔件的第2筒部，所述第1筒部和第2筒部可联接地构成，从而形成共同的容纳空间，所述第1筒部和所述第2筒部由具有与所述散热隔件相同的热膨胀系数的材料形成。3.根据权利要求1所述的压电驱动式阀，其特征在于，所述散热隔件由殷钢材料形成。4.根据权利要求1所述的压电驱动式阀，其特征在于，所述散热隔件具有与所述压电致动器相同的形状和尺寸。5.一种压电驱动式流量控制装置，具备根据权利要求1至4中的任一项所述的压电驱动式阀。6.根据权利要求5所述的压电驱动式流量控制装置，其特征在于，还具有介入所述阀体的下游侧的流体流路的孔、配设于该孔和所述阀体之间的流体流路的压力传感器、以及基于该压力传感器的检测值而控制所述压电致动器的控制部。7.根据权利要求5所述的压电驱动式流量控制装置，其特征在于，通过配置于所述阀体的上游侧的热式的流量传感器来控制所述压电致动器。