压电驱动式阀和压电驱动式流量控制装置的制造方法

文档序号:11664743阅读:来源:国知局
技术总结
本发明一种提供即使是超过压电致动器的使用范围温度的温度的流体,也能够控制的压电驱动式阀和压电驱动式流体控制装置。本发明具备用于将流体流路(1b)开闭的阀体(2)、用于利用压电元件的伸长而对阀体(2)进行开闭驱动的压电致动器(10)以及用于将压电致动器(10)以从流体流路(1b)远离的方式举起并支撑且将从流动于流体流路(1b)的流体向压电致动器(10)传导的热散热的散热隔件(40),而且,优选,具有容纳并支撑压电致动器(10)和散热隔件(40)的双方的支撑筒体(23A),支撑筒体(23A)的至少容纳散热隔件(40)的部分由具有与散热隔件(40)相同的热膨胀系数的材料形成。

技术研发人员:日高敦志;平田薰;永濑正明;池田信一;土肥亮介;西野功二
受保护的技术使用者:株式会社富士金
文档号码:201510674731
技术研发日:2010.11.04
技术公布日:2017.07.21

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