技术总结
本发明提供一种具有冷却回路的密封法兰，其至少包括：底部，侧壁，边缘，隔层，进水口，出水口，第一挡板，第二挡板，以及第三挡板；所述底部、所述侧壁和所述边缘均为中空结构，且依次连通形成中空腔体；所述隔层位于所述侧壁内，将所述中空腔体分隔为相互独立的上腔体和下腔体，且所述隔层上设有第一通道和第二通道，所述进水口和所述出水口位于所述侧壁的外表面上，所述第一挡板和所述第二挡板位于所述上腔体内，所述第三挡板位于所述下腔体内。本发明通过增设隔层、多个挡板以及出水管，形成新的冷却回路；在进行冷却时，冷却水可以循环流过密封法兰内的每一处，不存在冷却死角，大大改善了冷却效果。
技术研发人员：特洛伊·乔纳森·贝克;王颖慧
受保护的技术使用者：镓特半导体科技（上海）有限公司
文档号码：201611169118
技术研发日：2016.12.16
技术公布日：2017.05.17