一种真空预载气浮转台的制作方法

文档序号:12556127阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种真空预载气浮转台,其特征在于,所述的真空预载气浮转台包括基座(1)、转轴(2)、止推板(3)、供气系统;其中,供气系统含有压力调节阀Ⅰ(17)、压力调节阀Ⅱ(18)、压力调节阀Ⅲ(16)、真空发生器(19);其连接关系是,基座(1)中心设置有内孔,基座(1)上表面设置有排气腔(4)、内支承环面(5)、真空腔(6)、外支承环面(7),基座(1)内部设置有排气通道(13)、抽气通道(15)、进气通道;排气腔(4)沿周向设置有数个排气孔(12),排气孔(12)通过排气通道(13)与外界大气连通;内支承环面(5)、外支承环面(7)沿周向分别设置有数个止推节流器Ⅱ(28)、止推节流器Ⅰ(8),止推节流器Ⅰ(8)、止推节流器Ⅱ(28)均与进气通道Ⅰ(9)连通;真空腔(6)沿周向设置有数个抽气孔(14),抽气孔(14)与抽气通道(15)连通;基座(1)的内孔沿周向设置有数个径向节流器(11),径向节流器(11)与进气通道Ⅱ(10)连通;止推板(3)位于基座(1)的上方,转轴(2)位于基座(1)的内孔中,转轴(2)与止推板(3)通过螺钉固定联接;转轴(2)与基座(1)的内孔之间设置有一气膜支承间隙,止推板(3)与基座(1)上表面之间设置有一气膜支承间隙,在气膜支承作用下,转轴(2)浮于基座(1)的内孔,止推板(3)浮于基座(1)上表面;进气通道Ⅰ(9)、进气通道Ⅱ(10)分别连接压力调节阀Ⅰ(17)、压力调节阀Ⅱ(18),使基座(1)上表面和基座(1)内孔气膜压力分别可调;供气系统中的压力调节阀Ⅰ(17)与进气通道Ⅰ(9)连接,压力调节阀Ⅱ(18)与进气通道Ⅱ(10)连接;抽气通道(15)与真空发生器(19)、压力调节阀Ⅲ(16)依次连接。

2.根据权利要求1所述的真空预载气浮转台,其特征在于,所述的真空腔(6)位于内支承环面(5)与外支承环面(7)之间。

3.根据权利要求1所述的真空预载气浮转台,其特征在于,所述的止推节流器Ⅰ(8)、止推节流器Ⅱ(28)、径向节流器(11)为小孔节流器、环面节流器或多孔质节流器的一种。

4.根据权利要求1所述的真空预载气浮转台,其特征在于,所述的真空发生器(19)替换为真空泵。

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