技术总结
一种气相沉积炉的密封结构，该气相沉积炉包括炉体，所述炉体上方设置有炉盖，所述炉盖中央凸起一管套，所述管套上端设置有端盘，所述端盘中央贯穿设置一竖向的旋转棒，所述端盘上方设置有磁流体密封套，所述磁流体密封套套接于所述旋转棒的圆周外侧。本实用新型采用磁流体密封技术，由于磁流体可进入磁场的整个间隙，密封效果极好，可保证炉内压力恒定，生产稳定，提高产品质量，通过骨架油封阻止磁流体进入炉内，保证生产不受影响，又通过O型密封圈密封保证各个结构之间的密封效果，实现完美配合，炉内恒压，生产稳定，产品质量高，企业效益好，实用性强。
技术研发人员：董家海
受保护的技术使用者：浙江诺华陶瓷有限公司
技术研发日：2018.01.31
技术公布日：2018.11.09