技术总结
本实用新型公开了一种新型真空用旋转门阀，它涉及门阀技术领域，包括门阀，门阀通过上安装轴承座和下安装轴承座按在在腔室进出口处，上气缸通过上齿条、上齿轮和联轴器与门阀传动连接，下气缸通过下齿条、下齿轮和下联轴器与门阀传动连接，腔室上下部分别设置有上齿轮限位部件和下齿轮限位部件，门阀上的门阀轴上设置有门阀轴限位装置，阀板通过连接套、钩头键安装在门阀轴上。本实用新型密封可靠，动作灵敏，确保基片快速通过立式镀膜线的进口和出口，提高了整个真空镀膜生产线效率。
技术研发人员：张俊峰;赵子东;许春立;张大剑
受保护的技术使用者：上海子创镀膜技术有限公司
技术研发日：2018.11.26
技术公布日：2019.08.16