一种用于半导体晶圆盒的车载减震装置的制作方法

1.本实用新型属于机械技术领域，涉及一种车载减震装置，特别是一种用于半导体晶圆盒的车载减震装置。


背景技术：

2.晶圆盒在半导体生产中主要起到存储晶圆片的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆盒来搬运和储存晶圆。
3.在搬运晶圆盒时通常会使用小车来进行运输，而小车在行进过程中可能会受到颠簸，为了防止小车因为颠簸导致晶圆盒内的晶圆出现损伤，就需要用到车载减震装置。
4.经检索，如中国专利文献公开了一种车载减震结构【申请号：cn 202111419863.9；公开号：cn 114033820a】。这种车载减震结构,包括底部连接板、顶部连接板以及减震组件，所述底部连接板及顶部连接板均呈矩形状，所述底部连接板上表面四角与顶部连接板下表面四角之间各设有一组减震组件。每组所述减震组件均包括插拔槽座、插板以及多个减震弹簧。通过本发明，在矩形底部连接板及矩形顶部连接板的四角之间分别设有减震组件，每组减震组件均包括插拔槽座、插板以及多个减震弹簧，多个减震弹簧实现对体积和重量较大的设备减震
。
5.该专利中公开的车载减震结构虽然可以对车辆进行减震，但是，该车载减震结构只能减缓垂直方向受到的力，不能减少水平方向受到的力，减震效果不佳，因此，设计出一种用于半导体晶圆盒的车载减震装置是很有必要的。


技术实现要素：

6.本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种用于半导体晶圆盒的车载减震装置，该车载减震装置具有减震效果好的特点。
7.本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种用于半导体晶圆盒的车载减震装置，包括通过螺栓固定在车架上的底板，其特征在于，所述底板的形状为方形，底板的四个顶角上竖直安装有减震器一、减震器二、减震器三和减震器四，减震器一、减震器二、减震器三和减震器四的活塞杆上均套设有减震弹簧，减震器一的活塞杆端部连接有托块一，减震器二的活塞杆端部连接有托块二，托块一和托块二之间通过辅助杆一相连接，减震器三的活塞杆端部连接有托块三，减震器四的活塞杆端部连接有托块四，托块三和托块四之间通过辅助杆二相连接，辅助杆一的中部滑动连接有安装块一，辅助杆二的中部滑动连接有安装块二，辅助杆一和辅助杆二的两端均套设有缓冲弹簧，安装块一和安装块二上连接有安装板，安装板上安装有若干用于放置晶圆盒的放置盒，放置盒上设置有用于将放入的晶圆盒夹紧的夹紧机构。
8.本实用新型的工作原理如下：将晶圆盒放入放置盒，通过夹紧机构固定住晶圆盒，启动小车，在小车行进过程中受到颠簸时，通过底板的四个顶角上竖直安装的减震器一、减震器二、减震器三和减震器四以及减震器一、减震器二、减震器三和减震器四的活塞杆上套
设的减震弹簧缓冲掉竖直方向受到的力，再通过辅助杆一和辅助杆二上的缓冲弹簧缓冲掉水平方向受到的力，从而减少晶圆盒由于小车颠簸而受到的震动，通过上述结构可以同时缓冲水平和竖直方向的力，减震效果好。
9.所述夹紧机构包括压力板、连接件一、连接件二、推杆一、推杆二、推板、转动轴、夹板和支撑弹簧，压力板底部与放置盒通过支撑弹簧连接，压力板底部还与连接件一的一端转动连接，连接件一的另一端转动连接有推杆一，推杆一的两端滑动连接在放置盒两侧的导向滑槽一内，推杆一的上方设置有推杆二，推杆二的两端滑动连接在放置盒两侧的导向滑槽二内，推杆一与推板的下端滑动连接，推杆二与推板的上端滑动连接，推板中部连接有转动轴，转动轴两端转动连接在放置盒两侧，推杆二还与连接件二的一端转动连接，连接件二的另一端连接有夹板,夹板的两侧滑动连接在放置盒两侧的导向滑槽三内。
10.采用上述结构，将晶圆盒放入放置盒内,通过晶圆盒自身重力使压力板下压，通过连接件一使推杆一沿导向滑槽一滑动，同时支撑弹簧被压缩，推板受到推杆一的作用推动推杆二沿导向滑槽二滑动，通过连接件二带动夹板沿着导向滑槽三水平移动，从而使夹板夹紧晶圆盒。
11.所述托块一、托块二、托块三和托块四的顶部具有凸起部。
12.采用上述结构，放置盒可抵靠在凸起部上，对放置盒起到辅助支撑作用。
13.所述放置盒的底板上还竖直安装有电动推杆，且电动推杆位于压力板的下方，电动推杆的推杆端部还连接有用于压力板向上复位的复位板。
14.采用上述结构，当需要将晶圆盒从放置盒内取出时，通过电动推杆推动复位板，辅助推动压力板往上，通过连接件一使推杆一沿着导向滑槽一滑动，推板受到推杆一的作用推动推杆二沿导向滑槽二滑动，通过连接件二带动夹板沿着导向滑槽三水平移动，从而使夹板松开晶圆盒，方便拿取晶圆盒。
15.所述凸起部的材料为橡胶。
16.与现有技术相比，本用于半导体晶圆盒的车载减震装置具有该优点：
17.本实用新型通过将晶圆盒放入放置盒，再通过夹紧机构固定住晶圆盒，启动小车，在小车行进过程中受到颠簸时，通过底板的四个顶角上竖直安装的减震器一、减震器二、减震器三和减震器四以及减震器一、减震器二、减震器三和减震器四的活塞杆上套设的减震弹簧缓冲掉竖直方向受到的力，再通过辅助杆一和辅助杆二上的缓冲弹簧缓冲掉水平方向受到的力，从而减少晶圆盒由于小车颠簸而受到的震动，通过上述结构可以同时缓冲水平和竖直方向的力，减震效果好。
附图说明
18.图1是本实用新型的平面结构示意图。
19.图2是本实用新型的立体结构示意图。
20.图3是本实用新型中夹紧机构的立体结构示意图。
21.图中，1、底板；2、减震器一；3、减震器二；4、减震器三；5、减震器四；6、减震弹簧；7、托块一；8、托块二；9、托块三；10、托块四；11、辅助杆一；12、辅助杆二；13、安装块一；14、安装块二；15、缓冲弹簧；16、放置盒；17、压力板；18、连接件一；19、连接件二；20、推杆一；21、推杆二；22、推板；23、转动轴；24、夹板；25、支撑弹簧；26、导向滑槽一；27、导向滑槽二；28、
导向滑槽三；29、凸起部；30、电动推杆；31、复位板；32、安装板。
具体实施方式
22.以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。
23.如图1-3所示，本用于半导体晶圆盒的车载减震装置，包括通过螺栓固定在车架上的底板1，底板1的形状为方形，底板1的四个顶角上竖直安装有减震器一2、减震器二3、减震器三4和减震器四5，减震器一2、减震器二3、减震器三4和减震器四5的活塞杆上均套设有减震弹簧6，减震器一2的活塞杆端部连接有托块一7，减震器二3的活塞杆端部连接有托块二8，托块一7和托块二8之间通过辅助杆一11相连接，减震器三4的活塞杆端部连接有托块三9，减震器四5的活塞杆端部连接有托块四10，托块三9和托块四10之间通过辅助杆二12相连接，辅助杆一11的中部滑动连接有安装块一13，辅助杆二12的中部滑动连接有安装块二14，辅助杆一11和辅助杆二12的两端均套设有缓冲弹簧15，安装块一13和安装块二14上连接有安装板32，安装板32上安装有若干用于放置晶圆盒的放置盒16，放置盒16上设置有用于将放入的晶圆盒夹紧的夹紧机构。
24.夹紧机构包括压力板17、连接件一18、连接件二19、推杆一20、推杆二21、推板22、转动轴23、夹板24和支撑弹簧25，压力板17底部与放置盒16通过支撑弹簧25连接，压力板17底部还与连接件一18的一端转动连接，连接件一18的另一端转动连接有推杆一20，推杆一20的两端滑动连接在放置盒16两侧的导向滑槽一26内，推杆一20的上方设置有推杆二21，推杆二21的两端滑动连接在放置盒16两侧的导向滑槽二27内，推杆一20与推板22的下端滑动连接，推杆二21与推板22的上端滑动连接，推板22中部连接有转动轴23，转动轴23两端转动连接在放置盒16两侧，推杆二21还与连接件二19的一端转动连接，连接件二19的另一端连接有夹板24,夹板24的两侧滑动连接在放置盒16两侧的导向滑槽三28内。
25.放置盒16的底板上还竖直安装有电动推杆30，且电动推杆30位于压力板17的下方，电动推杆30的推杆端部还连接有用于压力板17向上复位的复位板31；托块一7、托块二8、托块三9和托块四10的顶部具有凸起部29；凸起部29的材料为橡胶。
26.本实用新型的工作原理：将晶圆盒放入放置盒16，通过夹紧机构固定住晶圆盒，启动小车，在小车行进过程中受到颠簸时，通过底板1的四个顶角上竖直安装的减震器一2、减震器二3、减震器三4和减震器四5以及减震器一2、减震器二3、减震器三4和减震器四5的活塞杆上套设的减震弹簧6缓冲掉竖直方向受到的力，再通过辅助杆一11和辅助杆二12上的缓冲弹簧15缓冲掉水平方向受到的力，从而减少晶圆盒由于小车颠簸而受到的震动，通过上述结构可以同时缓冲水平和竖直方向的力。
27.以上部件均为通用标准件或本技术领域人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
28.本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。