低起尘耐粉尘减震器的制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及利用粘性流体的流动阻力来使移动物体停止时的冲击缓冲停止的减震器，特别涉及如下的低起尘耐粉尘规格的减震器，即在抑制因上述移动物体停止时的冲击、滑动等导致的起尘的同时，抑制油膜通过活塞杆表面的流出、粉尘的进入，从而能够提尚耐久性。
【背景技术】
[0002]以往，利用粘性流体的流动阻力来缓冲移动物体停止时的冲击的减震器，如例如专利文献1、专利文献2等所公开的那样已非常普遍地公知。
[0003]这种减震器具有如下的结构，即在活塞室内填充矿物油等油状液体，并且将制动用的活塞以保持了油状液体的流通间隙的状态收容，并使连结到该活塞上的活塞杆伸出到上述油缸壳体的外部，当移动物体与该活塞杆的前端碰撞而推压活塞时，填充在活塞室内的油状液体向活塞的滑动方向的相反方向移动，利用此时在上述流通间隙中流动的油状液体的流动阻力，吸收上述移动物体的动能。
[0004]在上述减震器中，通常构成为，在移动物体与从油缸壳体的前端部的油缸端盖突出的活塞杆的前端碰撞而使该活塞杆后退移动时，该移动物体一直移动到与油缸端盖的前端面接触来定位在停止位置。
[0005]而且，通常油缸端盖是不锈钢等金属制的，每当活塞因移动物体的碰撞而后退移动、该移动物体与油缸端盖碰撞时，一般会由于移动物体与该油缸端盖之间的相互的偏移动作的摩擦等而产生细微的金属粉尘，在此之前移动物体与活塞杆的前端碰撞时也会产生粉尘。另外，在上述活塞杆与将其滑动自如地支承的油缸壳体的活塞杆密封件、轴承构件之间也会产生磨损粉末。因此，例如在处理半导体元件等的设备环境下，若有金属粉附着，则元件的特性可能会受到影响，因此，在半导体制造领域等忌避金属粉尘的环境下，直接使用以往的减震器是不合适的。
[0006]作为应对这样的问题的对策，需要进行如下的应对:尽可能减少减震器中移动物体与活塞杆、油缸端盖碰撞时的粉尘，另外，采用即便在活塞杆与油缸壳体的活塞杆密封件、轴承构件之间也不产生磨损粉末的结构等；或者，覆盖上述的起尘部位来抑制粉尘的飞散，或强制性地吸引该起尘部位的粉尘，或甚至将移动物体和减震器的供移动物体碰撞而起尘的起尘部位移设到使整个设备很少受到该起尘的影响的部位等，但是，前者的应对能够期待以低成本实现，而采用后者的应对则设备可能会高成本化，期望通过前者的应对来减少粉尘的产生。
[0007]并且，在如上所述的减震器中，若在移动物体与从油缸壳体向外部突出的活塞杆碰撞时，如上所述地产生的粉尘等附着在该活塞杆上，则其会进入到油缸壳体内而成为内部构造的磨损等的原因，因此，需要在活塞杆的周围配设防尘刷等来抑制异物的进入，另一方面，上述活塞杆经由用于润滑的油膜而滑动自如地保持在油缸壳体的轴承，因此，在抑制上述异物向油缸壳体内的进入的同时，也需要避免用于润滑的油膜通过上述轴承向外部流出。而且，若上述用于润滑的油膜的流出发展下去，则连填充在油缸壳体内并利用流动阻力吸收移动物体的动能的油状液体都会流出，损害减震器的性能。
[0008]现有技术文献
[0009]专利文献
[0010]专利文献1:日本特开2004-11786号公报
[0011]专利文献2:日本特开2010-7765号公报
【发明内容】
[0012]发明要解决的课题
[0013]本发明要解决的课题在于提供一种低起尘耐粉尘减震器，其基本上能够防止移动物体与油缸壳体碰撞来防止粉尘的产生，除此之外，能够防止由活塞杆将粉尘等异物带入到油缸壳体的内部，并且，能够抑制用于润滑的油膜通过轴承流出到外部。
[0014]用于解决课题的手段
[0015]为了解决上述课题，根据本发明，提供一种低起尘耐粉尘减震器，其具有:金属制的油缸壳体，其具有封入了油状液体的活塞室；活塞，其在保持了向上述油状液体提供流动阻力的间隙的状态下，在上述活塞室内能够沿轴线方向移动；活塞杆，其基端部连结到上述活塞，前端部从上述油缸壳体的活塞杆导出孔液密地向外部突出，在该前端部供要进行制动的移动物体碰撞；以及复位机构，其对上述活塞杆向从上述油缸壳体突出的方向施力，其中，在形成于上述油缸壳体的上述活塞杆导出孔的端部，安装有由具有缓冲性的合成树脂构成的筒状的轴承，使上述活塞杆滑动自如地贯通在该轴承的中心孔内，并且，使该轴承的前端比上述油缸壳体的外端面向外侧突出来做成供上述移动物体抵接的抵接部，从而使该轴承兼具对上述活塞杆进行导向的功能和防止上述移动物体与上述油缸壳体的外端面抵接的止动件的功能，在上述活塞杆导出孔的比上述轴承靠活塞室侧的位置，设置有防止粉尘的进入的集尘构件和保持润滑油并将该润滑油供给到活塞杆的表面的润滑构件。
[0016]在具备上述结构的低起尘耐粉尘减震器中，由具有缓冲性的合成树脂构成的筒状的轴承，将活塞杆滑动自如地轴支承，另一方面，也发挥在移动物体向活塞杆前端的碰撞后使该移动物体不会与油缸壳体抵接地停止的止动件的功能，而且，即使移动物体与上述由具有缓冲性的合成树脂形成的轴承碰撞也不会产生粉尘，能够使移动物体缓冲停止在规定的停止位置。
[0017]另外，润滑构件所浸透的润滑脂等润滑剂被逐次补给到活塞杆表面上而形成油膜，因此该活塞杆顺滑地滑动，另一方面，通过上述集尘构件，不仅能够捕集附着在活塞杆上的粉尘来防止其进入内部，还能够通过该集尘构件刮集并保持附着在活塞杆上而流出到外部的油膜，并防止因油膜的流出导致的外部环境的污染，同时减少油膜的损耗。
[0018]此外，上述润滑构件所浸透的润滑脂等润滑剂被逐次补给到活塞杆表面而使其剩余量减少，从而实质上无法再进行该补给时，填充在活塞室内的油状液体会作为上述润滑剂的替代品来用于形成油膜，保持与采用润滑剂的情况相同的功能。
[0019]在本发明中，上述轴承的轴线方向长度优选为与上述活塞杆的直径相等或大于上述活塞杆的直径。
[0020]另外，在本发明中优选为，上述油缸壳体具备壳体主体和油缸端盖，上述壳体主体具有上述活塞室，上述油缸端盖与该壳体主体的端部结合，在该油缸端盖设置了上述轴承、集尘构件和润滑构件。
[0021]优选为，上述集尘构件和润滑构件分别由多孔材料形成，上述集尘构件保持在干燥状态。
[0022]在本发明中，在活塞杆导出孔的活塞室侧端的位置，配设与上述活塞杆的外周面滑动接触的活塞杆密封件，该活塞杆密封件的位置与上述活塞杆的行程之间的关系设定为如下这样的关系:在该活塞杆被完全推入到上述轴承内时该活塞杆的与上述活塞杆密封件接触的部分，在上述活塞杆突出时不会从上述轴承露出到外部。
[0023]这样的结构对于抑制附着在活塞杆上的粉尘进入到油缸壳体内也是有效的，另夕卜，对于抑制油膜附着在活塞杆上而流出到外部也是有效的。
[0024]另外，在本发明中，在上述活塞杆的外表面，可以形成用于减小该活塞杆相对于上述轴承的接触面积的槽。
[0025]上述槽优选为形成在如下这样的位置:在上述活塞杆位于初始位置时，从上述轴承露出，在该活塞杆被移动物体推入到上述轴承内时，与该轴承的内周面接触，另外，上述槽的深度优选为，朝向上述活塞杆的基端侧逐渐变深。
[0026]上述槽既可以是圆形也可以是螺旋形。另外，在上述槽的内部也可以设置有粉尘捕集材料，其捕集附着在上述轴承的内周面上的粉尘。
[0027]发明的效果