3是安装于活塞杆312的前端部的部件。杆端连接器313在前端侧的内周面形成有内螺纹。
[0075]执行机构侧杆314是在延长活塞杆312的方向上延伸的部件。该执行机构侧杆314在其长边方向的一端部形成有外螺纹。执行机构侧杆314的外螺纹拧入到杆端连接器313的内螺纹而被固定。
[0076]滚珠丝杠30及螺母311通过活塞壳体(壳体)36而被包围。螺母311其外周面固定于活塞壳体36的内周面，且围绕中心轴C的旋转受到束缚。
[0077]活塞壳体36在其上端(图3A、图3B中的左端)具备密封活塞壳体36的活塞盖37。在活塞盖37上形成有贯通孔37h，活塞杆312通过该贯通孔37h进行出没。此时，活塞杆312的前端部312a从活塞壳体36及活塞盖37始终露出于外部。
[0078]即，由于活塞单元31具备上述结构，因此若滚珠丝杠30通过电动机26而围绕轴线被旋转驱动，则如图3B所示，拧入到滚珠丝杠30的螺母311沿轴线向与滚珠丝杠30的旋转方向对应的方向移动。伴随螺母311的移动，固定于螺母311的活塞杆312、杆端连接器313及执行机构侧杆314，也与螺母311 —同沿滚珠丝杠30的轴线移动。
[0079I图5是表示电动执行机构2 3的周边的立体图。
[0080]如图5所示，电动执行机构23固定于保持部件22。
[0081 ]执行机构侧杆314插穿于设置在保持部件22的上端部的导向板39的插穿孔39a。该执行机构侧杆314连接于所述杠杆侧杆19。
[0082]如此设置的电动执行机构23如图5中用双点划线所示，保持部件22跟随杠杆部件14的摆动而能够以支承于支架21的部位作为支点进行转动。
[0083]电子调速器17控制调整阀驱动装置15的动作。
[0084]如图1所示，在电子调速器17中输入有根据压缩机18中的压力或温度的检测结果进行流程控制的结果。并且，在电子调速器17中输入有通过构成涡轮主体11的速度检测传感器114检测到的叶片116的转速。另外，在电子调速器17中输入有从操作盘34输入的来自用户的指示。电子调速器17根据这些各输入来控制调整阀驱动装置15的动作。更具体而言，电子调速器17根据上述各输入来控制构成电动执行机构23的电动机26的动作。则由电动执行机构23来驱动调整阀13。
[0085]如图4所示，在滚珠丝杠机构27中设置有作为供脂机构的形成于螺母311的螺母侧供脂孔321和形成于活塞杆312的活塞杆侧供脂孔322。
[0086]螺母侧供脂孔321在其一端具有在螺母311的内周面朝向滚珠丝杠30的外周面开口的吐出口 323。该螺母侧供脂孔321向沿中心轴C的方向延伸，其另一端32 Ib朝向螺母311的一端面31 If开口。
[0087]活塞杆侧供脂孔322在其一端具有朝向活塞杆312的外周面开口的注入口324。该注入口 324在活塞杆312中形成于始终露出于活塞壳体36的外部的位置。
[0088]活塞杆侧供脂孔322的另一端322b在活塞杆312的凸缘部312f开口，并与螺母侧供脂孔321连通。即，活塞杆侧供脂孔322的另一端322b上的开口和螺母侧供脂孔321的另一端321b上的开口以彼此对置的方式连结，由此，活塞杆侧供脂孔322与螺母侧供脂孔321连通。
[0089]在此，在凸缘部312f与螺母311的一端面311f之间夹持有环状的密封部件325，在活塞杆侧供脂孔322和螺母侧供脂孔321的连结部分的周围进行密封。
[0090]在这种结构中，当对滚珠丝杠机构27的滚珠丝杠30进行供脂时，在活塞杆312上，从形成于在活塞壳体36的外部露出的位置上的注入口 324，将润滑油脂注入到活塞杆侧供脂孔322。于是，被注入的润滑油脂从活塞杆侧供脂孔322的另一端322b向螺母侧供脂孔321流动。而且，从螺母侧供脂孔321的吐出口 323向滚珠丝杠30的外周面供给润滑油脂。
[0091 ]从而，根据上述第一实施方式的直动机构、调整阀驱动装置及蒸汽涡轮，在活塞杆312中设置有与螺母侧供脂孔321连通的活塞杆侧供脂孔322，将润滑油脂注入于活塞杆侧供脂孔322的注入口 324形成于在活塞壳体36的外部露出的位置。因此，在活塞壳体36中收纳有滚珠丝杠30及螺母311的滚珠丝杠机构27中，可以从活塞壳体36的外部进行供脂。其结果，能够容易且可靠地进行滚珠丝杠30的维护，并可以提高滚珠丝杠机构27、具备滚珠丝杠机构27的调整阀驱动装置15、蒸汽涡轮10的可靠性。
[0092](第二实施方式)
[0093]接着，对本发明所涉及的滚珠丝杠机构27、调整阀驱动装置15、蒸汽涡轮10的第二实施方式进行说明。在以下进行说明的第二实施方式中，只有滚珠丝杠机构27中的供脂机构的结构与上述第一实施方式不同。因此，对于与第一实施方式相同的部分标注相同的符号进行说明，并省略重复说明。
[0094]图6是表示第二实施方式中的上述蒸汽涡轮10的滚珠丝杠机构27的供脂机构的结构的主要部分放大剖视图。
[0095]如该图6所示，与上述第一实施方式相同，在滚珠丝杠机构27中设置有作为供脂机构的形成于螺母311的螺母侧供脂孔321和形成于活塞杆312的活塞杆侧供脂孔322。
[0096]滚珠丝杠机构27在活塞杆侧供脂孔322的注入口324上连接有由橡胶类材料、软树脂类材料、柔性金属管等构成的具有挠性的供脂管341。该供脂管341上连接有从外部供给润滑油脂的供脂装置342。
[0097]供脂装置342每隔预先规定的启动时间等，能够通过供脂管341对注入口324供给润滑油脂。
[0098]通过如此构成，由供脂装置342从外部供给润滑油脂，并经由供脂管341从活塞杆侧供脂孔322的注入口 324进行注入，因此能够自动地进行滚珠丝杠机构27的供脂。由于供脂管341具有挠性，因此即使螺母311沿滚珠丝杠30进行进退动作，供脂管341也能够随之变形。从而，在继续运转的状态下可进行供脂。
[0099 ]由此，在长时间连续运转，且为了维护而难以停止运转的蒸汽涡轮1中，可以在适当的时刻容易且可靠地对滚珠丝杠机构27进行供脂。其结果，可以容易且可靠地进行滚珠丝杠30的维护，并能够提高滚珠丝杠机构27、具备滚珠丝杠机构27的调整阀驱动装置15、蒸汽涡轮10的可靠性。
[0100](第三实施方式)
[0101]接着，对本发明所涉及的滚珠丝杠机构27、调整阀驱动装置15、蒸汽涡轮10的第三实施方式进行说明。以下说明的第三实施方式中，只有滚珠丝杠机构27中的供脂机构的结构与上述第一实施方式、第二实施方式不同，对于相同的部分标注相同的符号进行说明，并且省略重复说明。
[0102]图7是表示第三实施方式中的上述蒸汽涡轮10的滚珠丝杠机构27的供脂机构的结构的主要部分放大剖视图。
[0103]如该图7所示，与上述第二实施方式相同，作为滚珠丝杠机构27的供脂机构，设置有形成于螺母311的螺母侧供脂孔321和形成于活塞杆312的活塞杆侧供脂孔322。
[0104]并且，滚珠丝杠机构27在活塞杆侧供脂孔322的注入口324连接有供脂管341。该供脂管341上连接有从外部供给润滑油脂的供脂装置342。
[0105]另外，滚珠丝杠机构27中形成有形成于螺母311的螺母侧排出孔331和形成于活塞杆312的活塞杆侧排出孔332。
[0106]螺母侧排出孔331在其一端在与螺母侧供脂孔321的一端的吐出口323的开口位置不同的位置，具有朝向滚珠丝杠30的外周面开口的流入口 333。该流入口 333在螺母311中形成于比用于使滚珠316循环的循环路317的端部317b更靠近螺母311的外侧。若滚珠316从端部317b被收进循环路317内，则在比所述端部317b更靠近外侧，润滑油