专利名称：系统管路加热装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种系统管路加热装置，特别涉及一种应用于半导体厂及光电厂在制程反应后废气系统管路，用以稀释系统管路内的废气毒性浓度且辅助维持系统管路畅通的装置。
背景技术：
半导体厂与光电厂其制程皆必须将基础材料(晶圆片、面板)放入高温或特殊磁场的反应炉中，在基础材料上镀一层薄膜(导电体、非电导体、半电导体、硅化合物、......)，在此过程中必须通入许多不同的特殊气体(氟化物、氨气及金属气态化合物......等多种具有高酸碱的毒性气体)，当定量的特殊气体在反应炉中反应后，仍然会有少许的废气必须排出，以便进行下一个不同气体的反应程序。
如图1所示，当废气于高温反应炉10a排出至废气处理机台12a时，必须由一台泵浦11a辅助其流体流动，并经由该系统管路13a的连接输送，在此一过程中废气因为加温制程反应后极不稳定，会在管壁上冷凝形成结晶物(层积、结晶粉尘)，若因不能预期的管路阻塞，则废气会无法顺利排出，进而造成产品报废或设备的损坏，因此必须时常定期停机维修清理管路，造成产能降低及人力成本增加。
为保持系统管路内废气的正常运行，如图2所示，习知第一种作法是在系统管路13a包覆保温加热套20a以防止系统管路13a内废气的冷凝结晶，但有些小地方例如系统管路13a的支撑架14a，系统管路接头15a无法施以保温加热，因此管壁会形成结晶物30a造成系统管路13a的阻塞。
如图3所示，习知第二种作法是在系统管路13a另外连结一密闭容器40a，于密闭容器40a内设置加热装置41a，以防止系统管路13a内废气的冷凝结晶，但是该种作法会因为系统管路13a内具有毒性、腐蚀性或易爆炸性的气体可能因异常接触到密闭容器40a内的加热装置41a而有安全上的顾虑；再者，额外导入大量惰性气体于系统管路13a，会浪费使用惰性气体的费用，也另外增加了废气处理机台的庞大负荷，造成机台寿命降低。
实用新型内容本实用新型的主要目的，在于提供一种系统管路加热装置，其让半导体厂与光电厂处理废气的系统管路，通过加热保温套的设置及堕性气体的加入，让系统管路内有毒气体与热惰性气体能混合稀释其毒性浓度，以防止有毒气体冷凝结晶而阻塞系统管路。
本实用新型提供一种系统管路加热装置，其具有一连结反应炉与废气处理机的系统管路；该系统管路连结有添加有堕性气体的导管，该导管外包覆有加热保温套，该加热保温套具有加热构件电气连结于温度控制器。
本实用新型在设计上具有如下之优点1、本实用新型加热装置为外加式，因此可以快速的拆解、维修节省人工成本。
2、本实用新型加热保温套，可以选用保温夹克、电热夹克、热气管多种组合因而能适用于不同场合。
3、本实用新型加大惰性气体通气量时，只需配合增加加热套件，无需改导管或更换加热系统，所以不会造成使用不便。
4、系统管路内的特殊毒性气体经本实用新型惰性气体稀释浓度，可以使管路更畅通，提升废气处理机的处理效率。
5、本实用新型将加热装置设置于系统管路外部，因此可防止有毒腐蚀性气体与加热系统接触，所以可降低工安的危险性。
图1为半导体厂及光电厂在制程反应后的废气输送处理段的系统管路图。
图2为图1系统管路包覆有加热保温套及形成有支撑架、管路连结处的平面图。
图2A为图2中A部份的放大图。
图2B为图2中B部份的放大图。
图3为图1系统管路连结有密闭容器，并且密闭容器内安装有加热装置的示意图。
图4为半导体厂及光电厂在制程反应后的废气输送处理段的系统管路包覆有本实用新型加热装置的平面图。
图5为本实用新型导管包覆有加热片与加热保温套的放大示意图。
图6为本实用新型加热装置开关的电控图。
图中10反应炉 11泵浦12废气处理机 13系统管路B加热装置 C温度控制器20加热保温套 21加热片22低温侦测开关23高温侦测开关24温度侦测环 25电源指示灯26低温指示灯 30导管10a反应炉 11a泵浦12a废气处理机 13a系统管路14a支撑架 15a系统管路接头20a加热保温套 30a结晶物40a密闭容器 41a加热装置42a温度控制器具体实施方式
首先请参阅图4，5和6所示，其具有一系统管路13连结于半导体厂及光电厂在制程反应后的废气输送处理段的反应炉10，该系统管路13另一端连结有泵浦11，该泵浦11再经由延伸的系统管路13连结于废气处理机12。
所述系统管路13外部包覆有加热保温套20，该加热保温套20的较佳实施例为保温夹克、电热夹克或热气管，又反应炉10、泵浦11与废气处理机12附近的系统管路13连结有导管30，该导管20的管径为1/4或3/8英寸，该导管30外部包覆有加热保温套20，该加热保温套20内具有加热构件电气连结于温度控制器C，该加热构件的较佳实施例为加热片21。此外，该加热保温套20亦可选用外层为玻璃纤维镀铁氟龙或玻璃纤维镀铝、内层为玻璃纤维布或二氧化硅纤维布、夹层为玻璃纤维无胶扎针棉的材质，使得加热保温套20耐热范围至少在350℃以上。
接着同样请参阅图4，5和6所示，半导体或光电产业设备后半段制程所产生的有毒废气会进入到反应炉10，再以泵浦11将有毒废气经由系统管路13抽至废气处理机12，此时连结于系统管路13加热装置B的导管20会将惰性气体以每分钟20～100公升的流量注入系统管路13，该惰性气体的较佳实施例为氮气。该惰性气体经由导管20外部加热片21加热而形成高温状态注入系统管路13，该系统管路13可以让导管内惰性气体温度升高达到180℃～300℃而与系统管路13内有毒气体混合稀释其毒性浓度，该系统管路13外部包覆的加热保温套20具有保温功能，可以防止有毒气体冷凝结晶而阻塞系统管路13。
此外，当导管20外部加热片21对惰性气体加热时，经由温度控制器C控制，该温度控制器C于导管20还设有多个温度侦测开关，分别是低温侦测开关22、高温侦测开关23与温度侦测环24又该温度控制器C于加热保温套20外层设置有电源指示灯25与低温指示灯26。
该温度控制器C各个开关使用功能如下第一种温度异常时由温度侦测环24回馈异常温度并断电、灯号灯响警示。第二种加热片21温度过高时由高温侦测开关23断电并且开始降温，并熄灭电源指示灯25。第三种加热片21无法加热时由低温侦测开关22激活低温警示灯号。第四种当漏电、短路、过载由总开关及保险作动，来关闭加热片21以确保安全。
以上所述仅为用以解释本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型作任何形式上的限制，因此凡有在相同的实用新型精神下，及不同材质所作有关本实用新型的任何修饰或变更，皆仍应包括在本实用新型意图保护的范畴。
权利要求1.一种系统管路加热装置，其具有一连结反应炉与废气处理机的系统管路；其特征在于该系统管路连结有添加有堕性气体的导管，该导管外包覆有加热保温套，该加热保温套具有加热构件电气连结于温度控制器。
2.如权利要求1所述的系统管路加热装置，其特征在于，该导管的管径为1/4英寸。
3.如权利要求1所述的系统管路加热装置，其特征在于，该导管的管径为3/8英寸。
4.如权利要求1所述的系统管路加热装置，其特征在于，该惰性气体为氮气。
5.如权利要求1所述的系统管路加热装置，其特征在于，该导管内惰性气体的流量在每分钟20～100公升之间。
6.如权利要求1所述的系统管路加热装置，其特征在于，该系统管路外部可包覆有加热保温套。
7.如权利要求1所述的系统管路加热装置，其特征在于，该温度控制器于所述导管外设置有低温侦测开关、高温侦测开关与温度侦测环。
8.如权利要求1所述的系统管路加热装置，其特征在于，该温度控制器于所述加热保温套外层设置有电源指示灯与低温指示灯。
9.如权利要求1所述的系统管路加热装置，其特征在于，该加热保温套外层为玻璃纤维镀铁氟龙、内层为玻璃纤维布、夹层为玻璃纤维无胶扎针棉。
10.如权利要求1所述的系统管路加热装置，其特征在于，该加热保温套外层为玻璃纤维镀铝、内层为二氧化硅纤维布、夹层为玻璃纤维无胶扎针棉。
11.如权利要求1所述的系统管路加热装置，其特征在于，该加热保温套耐热温度在350℃以上。
专利摘要本实用新型涉及一种系统管路加热装置，其作用于半导体厂及光电厂在制程反应后的废气输送处理段的系统管路，该加热装置设置于导管之外，且导管连结于系统管路，并且于导管外包覆有加热保温套，该加热保温套具有加热构件电气连结于温度控制器；该加热装置藉由加热构件对导管加热，可以让导管内惰性气体温度升高达到180℃～300℃，再利用已加热的高温惰性气体注入系统管路内与有毒的废气混合，以保持反应后废气输送系统管路的流动性。
文档编号F17D5/00GK2911383SQ20062000176
公开日2007年6月13日 申请日期2006年2月8日 优先权日2006年2月8日
发明者苏丰进 申请人:苏丰进