一种带液体安全回收功能的阀组箱的制作方法

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种带液体安全回收功能的阀组箱。

背景技术：

常规的化学液体阀组箱，往往是直接使用气相介质阀组箱的设计配置，即液体流入主管，液体流出供应支路，再配置吹扫支路和抽真空排气支路。当生产机器发生故障或者出现二次配管道内被污染等状况，需要对某一支路及后端的二次配管道抽真空吹扫置换时，现有的阀组箱设备需要将液体压回原料罐内，再通过气体吹扫加排气的方法来置换干净。一旦出现故障通过气体吹扫和排气的方法来置换的时候就需要停止整套液态源供应系统的运行，停止所有机台的正常工艺生产，相对阀组箱来说，需要关闭其他支路的阀门，仅保持需要维护支路的阀门开启，将会严重影响工厂的生产能力，迫切需要一种可以实现单独维护功能的液体阀组箱。

因此，现有技术还有待发展。

技术实现要素：

鉴于上述现有技术的不足之处，本实用新型的目的在于提供一种带液体安全回收功能的阀组箱，旨在解决现有的阀组箱不能对自燃、有毒有害液体回收和单独维护的问题。

为了达到上述目的，本实用新型采取了以下技术方案：

一种带液体安全回收功能的阀组箱，包括阀组箱与液体回收罐装置，所述阀组箱与所述液体回收罐装置之间设有多孔隔板，所述阀组箱包括液态源进口、吹扫气体进口、第一液态源出口、第二液态源出口、第N液态源出口、文丘里气体进口、第一排气口和第二排气口，所述液态源进口与所述第一液态源出口通过管道连接，所述液态源进口与所述第一液态源出口之间依次设有主进液隔离阀、主压力表、第一支路进液阀、第一支路压力表、第一支路低压排气阀、第一支路出口隔离阀；

所述液态源进口与所述第二液态源出口通过管道连接，所述液态源进口与所述第二液态源出口之间依次设有主进液隔离阀、主压力表、第二支路进液阀、第二支路压力表、第二支路低压排气阀、第二支路出口隔离阀；

所述液态源进口与所述第N液态源出口通过管道连接，所述液态源进口与所述第N液态源出口之间还依次设有主进液隔离阀、主压力表、第N支路进液阀、第N支路压力表、第N支路低压排气阀、第N支路出口隔离阀；

所述吹扫气体进口与所述第一排气口通过管道连接，所述吹扫气体进口与所述第一排气口之间依次设有进气隔离阀、进气压力表、止回阀、回收罐旁通阀、排放压力表和真空排气阀门；

所述吹扫气体进口与所述第二排气口通过管道连接，所述吹扫气体进口与所述第二排气口之间依次设有进气隔离阀、进气压力表、止回阀、回收罐旁通阀、真空发生器隔离阀和文丘里真空发生器；

所述文丘里真空发生器还与所述文丘里气体进口连接，所述文丘里真空发生器与所述文丘里气体进口之间设置有文丘里气源隔离阀；

所述吹扫气体进口与所述第一排气口之间管道上的回收罐旁通阀一侧设有进液管，所述回收罐旁通阀的另一侧设有排气管，所述进液管、排气管分别与所述液体回收罐装置连接，所述进液管上依次设有第一主进液隔离阀和第N 支路进液阀，所述排气管上依次设有第二隔离阀和排气阀；

所述液体回收罐装置包括进液阀、排气阀、液体回收罐、称重传感器，所述液体回收罐下端设置有秤重传感器。

进一步的，所述第一排气口连接真空泵。

进一步的，所述第二排气口连接尾气处理器。

进一步的，所述吹扫气体进口与所述第一排气口的管道上设有测试口隔离阀，所述吹扫气体进口与所述第二排气口的管道上也设有测试口隔离阀。

进一步的，所述阀组箱还设有带有负压表的排风口。

本实用新型与现有技术相比的有益效果：本实用新型在现有配置的阀组箱内的排气管道中并联进一个液体回收罐装置，当其中任一支路需要维护时，可以单独把该支路及二次配管道中的液体全部压回至该新增加的回收罐装置内，保证整个液态源供应系统正常运行，就不会对其他正常生产中的机器造成任何影响，能够大大减少压料回罐的工作量，节省操作时间，提高生产效率，并且降低了操作安全风险。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的带液体安全回收功能的阀组箱的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

还需要说明的是，本实用新型实施例中的左、右、上、下等方位用语，仅是互为相对概念或是以产品的正常使用状态为参考的，而不应该认为是具有限制性的。

如图1所示，为本实用新型具体实施例的一种带液体安全回收功能的阀组箱，

包括阀组箱与液体回收罐装置，所述阀组箱与所述液体回收罐装置之间设有多孔隔板1，所述阀组箱包括液态源进口2、吹扫气体进口3、第一液态源出口4、第二液态源出口5、第N液态源出口6、文丘里气体进口7、第一排气口8和第二排气口9，所述液态源进口2与所述第一液态源出口4通过管道连接，所述液态源进口2与所述第一液态源出口4之间依次设有主进液隔离阀 11、主压力表12、第一主路进液阀13、第一支路压力表14、第一支路低压排气阀15、第一支路出口隔离阀16；

所述液态源进口2与所述第二液态源出口5通过管道连接，所述液态源进口2与所述第二液态源出口5之间依次设有主进液隔离阀11、主压力表12、第二支路进液阀21、第二支路压力表22、第二支路低压排气阀23、第二支路出口隔离阀24；

所述液态源进口2与所述第N液态源出口6通过管道连接，所述液态源进口2与所述第N液态源出口6之间还依次设有主进液隔离阀11、主压力表 12、第N支路进液阀31、第N支路压力表32、第N支路排气阀33、第N支路出口隔离阀34；

所述吹扫气体进口3与所述第一排气口8通过管道连接，所述吹扫气体进口3与所述第一排气口8之间依次设有进气隔离阀41、进气压力表42、止回阀43、回收罐旁通阀44、排放压力表45和真空排气阀门46；

所述吹扫气体进口3与所述第二排气口9通过管道连接，所述吹扫气体进口3与所述第二排气口9之间设有第二进气隔离阀41、进气压力表42、止回阀43、回收罐旁通阀44、真空发生器隔离阀51和文丘里真空发生器52；

所述文丘里真空发生器52还与所述文丘里气体进口7连接，所述文丘里真空发生器52与所述文丘里气体进口7之间设置文丘里气源隔离阀61；

所述吹扫气体进口3与所述第一排气口8之间管道上的回收罐旁通阀44 一侧设有进液管，所述回收罐旁通阀44的另一侧设有排气管，所述进液管、排气管分别与所述液体回收罐装置连接所述进液管上依次设有第一隔离阀71 和进液阀72，所述排气管上依次设有第二隔离阀73和排气阀74；

所述液体回收罐装置包括进液阀72、排气阀74、液体回收罐75、称重传感器76，所述液体回收罐75下端设置有称重传感器73。

本实用新型中，所述N小于等于6，所述进液管插入罐内至罐底5-10mm，所述排气阀72位于所述回收罐的顶部，所述液体回收罐75底端还配有用于显示液体回收罐75液体数量的电子称，当液体回收罐75内部的液体数量超过设定值后，需要将液体回收罐装置整体拆下，更换新的空回收罐。

具体的，所述第一排气口8连接有真空泵。

具体的，所述第二排气口9连接有尾气处理器。

具体的，所述吹扫气体进口3与所述第一排气口8的管道上设有测试口隔离阀47，所述吹扫气体进口3与所述第二排气口9的管道上也设有测试口隔离阀47。

具体的，所述阀组箱还设有带有负压表的排风口80。

具体实施例1：

当需要对阀组箱的任一支路进行维护时，以第一液态源出口4所在第一支路需要进行维护为例：

步骤1：关闭第一支路进液阀13，其他支路阀门不动作，维持原有运行状态；

步骤2：关闭真空排气阀门46，并关闭回收罐旁通阀44；

步骤3：打开文丘里气源隔离阀61，让文丘里真空发生器52处于工作状态；

步骤4：打开第四隔离阀51，并观察排放压力表45压力低于-10psi(-10psi 为文丘里真空发生器52正常工作时产生的真空值)；

步骤5：打开第二隔离阀73和排气阀74，再打开进液阀72和第一隔离阀71，抽出液体回收罐75内和排气主管道内的气体至设定真空值，同时关闭第四隔离阀51；

步骤6：缓慢打开第一低压排气阀15，依靠液体回收罐75内的真空度，把第一支路和后端二次配管道内的液体抽进液体回收罐75，直至液体回收罐 75内的压力上升至稳定值，即观察排放压力表45压力升高至稳定值(此时罐内压力依然是负值)；

步骤7：同时，打开机台端的用于压送二次配管道内液体回流至储罐的气体阀门，通过气压把管道内的液体压进液体回收罐75，直至液体回收罐75内的压力上升至回压用气体相同压力，即同步观察排放压力表45的压力升高至稳定值；

步骤8：关闭机台端的回压用气体阀门，再关闭第一低压排气阀15；

步骤9：打开第四隔离阀，抽出液体回收罐75内和排气主管道内的气体至设定真空值，即观察排放压力表45低于-10psi，同时关闭第四隔离阀；

步骤10：重复20次步骤6-步骤9，即可以把该支路及二级配管道内99％以上的液态源压回至液体回收罐75了；

步骤11：然后再关闭第一隔离阀71、进液阀72、排气阀74、第二隔离阀73阀门，打开回收罐旁通阀44、真空排气阀门46真空排气管道上的阀门；

步骤12：一次液体安全回收操作完成。

本实用新型在现有配置的阀组箱内的排气管道中并联进一个液体回收罐装置，当其中任一支路需要维护时，可以单独把该支路及二次配管道中的液体全部压回至该新增加的回收罐装置内，保证整个液态源供应系统正常运行，就不会对其他正常生产中的机器造成任何影响，能够大大减少压料回罐的工作量，节省操作时间，提高生产效率，并且降低了操作安全风险。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。