专利名称：线圈阻抗检测方法、采用该方法的物体检测方法及其装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种振动式水平传感器的振动线圈阻抗检测方法、采用该方法的物体检测方法及其装置。特别涉及通过检测在振动线圈中用频率信号高速扫描时所产生的施加电压和由反励激电压的干涉所产生的差拍电压，检测振动线圈的阻抗的检测方法、采用该方法的物体检测方法及其装置。
进一步，电磁铁4朝向振动片2的轴方向，与检测管部1的内壁密接安装。电磁铁4如果用交流电驱动，由于电磁铁4所产生的磁场和永久磁铁3的对磁场吸引的反作用，振动片2和闭塞部12、检测管部1产生根部11作为固定端的折返单端支撑梁的振动。
检测管部1的根部11侧中内侧的壁上设置应变检测元件5。应变检测元件5检测检测管部1的根部11侧的振动幅度状态，并转换成电信号，输出给放大电路6。放大电路6对所输入的信号进行放大后再次输入给电磁铁4。
如果施加在电磁铁4上的电流极性和在电磁铁4上产生的磁场之间的关系为
图18B之间的关系，则电磁铁4朝向永久磁铁3的极性为N极，在该N极和安装在振动片2上的永久磁铁3的S极之间产生吸引力，在永久磁铁3的S极与N极之间产生排斥力，让振动片2的自由端在图18B中受到向上侧的力而向上侧变位。
另一方面，如果施加在电磁铁4上的电流极性相反，如图18C所示，电磁铁4朝向永久磁铁3的极性变反成为S极，该S极由于与振动片2上的永久磁铁的S极相互排斥，而与N极相互吸引，让振动片2的自由端受到向下侧的力，改变振动模式。因此，通过切换让施加在电磁铁4上的电流的极性与折返单端支撑梁的振动系的固有振动频率一致，可以产生振动，并持续进行。
在图18A到图18C所示的例中，振动系的振动由检测元件5检测，并变换成电信号，由放大电路6放大后再次输入到电磁铁4中，同时通过检测电路7输出检测信号。作为振动的检测元件5虽然可以采用压电元件或者加速度检测器，但压电元件容易破裂，用粘接剂粘贴在检测管部上时容易受到环境和温度等的影响，而且压电元件本身也存在可靠性低的问题。
此外，也有采用例如特開平5-87612号公报所记载的检测电路。即，在该方法中采用相位比较电路、环路滤波器(积分电路)、电压控制振荡电路(VCO电路)构成PLL电路，让前置振荡电路以与被检测物对应的振荡频率振荡，将振荡频率输入到PLL电路的相位比较电路，与VCO电路的频率信号进行频率比较，由此检测出被检测物。
但是，在上述现有技术的例中，所存在的问题是检测电路的部件数量多，成本高，而且结构也复杂，组装时工序数多。部件数量增多也伴随着可靠性的降低。
为此，本发明的主要目的在于提供一种通过检测高速扫描时所产生的施加电压和反励激电压的干涉所产生的差拍电压，根据其大小可以判断粉体的有无的振动式水平传感器的振动线圈阻抗检测方法、采用该方法的物体检测方法及其装置。
另一发明是检测与设置在检测管内的振动板上的磁铁相距一定间隔对向配置的线圈的在振动频率下的阻抗的方法，在线圈中施加包含振动板的共振频率的附近频率的扫描交流电流，检测扫描中的线圈的阻抗的变化。
又，另一发明是检测与设置在检测管内的振动板上的磁铁相距一定间隔对向配置的线圈的在振动频率下的阻抗的方法，在线圈中施加包含振动板的共振频率的附近频率的扫描交流电流，根据扫描产生的干涉成分的大小输出检测信号。
进一步，另一发明是通过检测与设置在检测管内的振动板上的磁铁相距一定间隔对向配置的线圈的在振动频率下的阻抗、检测物体有无的方法，在线圈中施加与振动板的共振频率一致的频率的交流电流，以流过电流的大小和相位连续监测该线圈的阻抗变化，检测该变化的大小，通过将所检测的阻抗变化与基准值进行比较，检测物体的有无。
进一步，另一发明通过检测与设置在检测管内的振动板上的磁铁相距一定间隔对向配置的线圈的在振动频率下的阻抗、检测物体有无的方法，在线圈中施加包含振动板的共振频率的附近频率的扫描交流电流，检测扫描中的线圈的阻抗的变化，通过将所检测的扫描中的阻抗的最大变化与基准值进行比较，检测物体的有无。
进一步，另一发明是通过检测与设置在检测管内的振动板上的磁铁相距一定间隔对向配置的线圈的在振动频率下的阻抗、检测物体有无的方法，在线圈中施加包含振动板的共振频率的附近频率的扫描交流电流，将扫描产生的干涉成分的大小与基准值进行比较，检测物体的有无。
进一步，另一发明是通过检测与设置在检测管内的振动板上的磁铁相距一定间隔对向配置的线圈的在振动频率下的阻抗、检测物体有无的装置，其特征是包括在线圈中施加与振动板的共振频率一致的频率的交流电流的交流电流施加电路、以流过电流的大小和相位连续监测由交流施加电路施加交流电流时线圈的阻抗变化以检测该变化的大小的阻抗变化检测电路、将阻抗变化检测电路所检测的阻抗的变化与基准值进行比较检测物体的有无的物体检测电路。
进一步，另一发明是通过检测与设置在检测管内的振动板上的磁铁相距一定间隔对向配置的电磁铁线圈的在振动频率下的阻抗、检测物体有无的装置，其特征是包括在线圈中施加包含振动板的共振频率的附近频率的扫描交流电流的交流电流施加电路、检测由交流施加电路施加扫描交流电流时的线圈中阻抗的变化的阻抗变化检测电路、将阻抗变化检测电路所检测的扫描中的阻抗的最大变化与基准值进行比较、检测物体的有无的物体检测电路。
进一步，另一发明是通过检测与设置在检测管内的振动板上的磁铁相距一定间隔对向配置的电磁铁线圈的在振动频率下的阻抗、检测物体有无的装置，其特征是包括在线圈中施加包含振动板的共振频率的附近频率的扫描交流电流的交流电流施加电路、抽出由交流施加电路施加扫描交流电流所产生的干涉成分的大小的干涉成分抽出电路、将干涉成分抽出电路所抽出的干涉成分与基准值进行比较、检测物体的有无的物体检测电路。
图2A和图2B表示没有进行任何检测时的自由振动状态的图。
图3A和图3B表示检测粉体时的状态的图。
图4A和图4B表示检测水时的状态的图。
图5A和图5B表示其检测管的前端用钳子固定时的状态的图。
图6A和图6B表示用手握住检测管时的状态的图。
图7表示在图1所示的驱动用线圈中输入猝发脉冲波后，测定停止供给时的波形的方法。
图8表示在驱动用线圈中输入猝发脉冲波后，停止供给时的波形。
图9表示图8的波形的放大图。
图10表示在振动板上施加300Hz到400Hz的扫描信号时的振幅与频率之间的关系图。
图11表示高速扫描振动板时的振幅与频率之间的关系图。
图12表示基于上述原理的第1实施方式的方框图。
图13表示本发明的第2实施方式的方框图。
图14表示本发明的第3实施方式的方框图。
图15表示本发明的第4实施方式的方框图。
图16表示本发明的第5实施方式的方框图。
图17表示本发明的第6实施方式的方框图。
图18A～图18C表示现有技术的振动式水平传感器的概略方框图。
驱动线圈4的一端通过电阻R1＝10Ω与频率特性分析仪(FrequencyResponse AnalyzerFRA)15的第1输入端以及输出端连接，电阻R1的两端连接在FRA15的第2输入端上。FRA15的输出端子的输出电压设定为10Vp-p，FRA的频率在300Hz～500Hz之间扫描，测定第1输入端的输入电压，同时测定输入给第2输入端的在电阻R1中流动的电流。其测定结果在图2A～图6B中表示。
在图2A～图6B中，图2A和图2B表示没有进行任何检测时的自由振动状态，图3A和图3B表示检测粉体时的状态，图4A和图4B表示检测水时的状态，图5A和图5B表示其检测管1的前端用钳子固定时的状态，图6A和图6B表示用手握住检测管1时的状态。
在各图中，A表示线圈的增益，B表示流入线圈中的电流的相位差，在各测定状态下以增益和相位最大变化时的频率为中心，以适当的频率范围进行测定。因此，各曲线的X轴的频率范围各不相同。
在图2A～图6B中，注意力集中在382Hz附近的增益和相位的变化，其余频率下的变化不用在意。对图2A～图6B进行对比表明，对检测管1的约束越强增益和相位的变化状况越小。如果将图2A和图2B所示的自由振动状态和图4A和图4B所示的检测水时的状态进行对比，检测水时的状态下的增益和相位的变化相对减少。
又，在图5A～图6B中所示的其检测管的前端用钳子固定、或者用手握住检测管时，不产生振动，在图3A和图3B所示的检测粉体时的状态下，基本上没有增益和相位的变化，可以和自由振动状态的情况充分区别开来。
图7表示在图1所示的驱动用线圈中输入猝发脉冲波后，测定停止供给时的波形的方法，图8表示这时的波形图，图9表示图8的波形的放大图。
如图7所示，在驱动线圈4上串联连接电阻R1＝10Ω和R2＝100Ω，频率发生器6产生382Hz的正弦(sin)波，通过开关SW和电阻R1提供给驱动线圈4，电阻R1的两端与示波器17连接。接通开关SW，向驱动线圈4输入幅度为5Vp-p的382Hz的正弦(sin)波，驱动电磁铁，由电磁铁产生的交变磁场和永久磁铁3的磁场交互排斥、吸引，对振动板2施加382Hz频率的振荡力。该振荡力的周期与振动板2的机械振动频率一致时，根据弗莱铭左手定律，振动板2的振动幅度达到最大。其结果在示波器7上可以观察到图8所示的5Vp-p的峰值的共振频率。
如果断开开关SW，永久磁铁3得不到驱动线圈4产生的磁场，振动板2停止共振，在示波器17上的波形从断开开关SW开始共振波形应该消失，但出现了极小的波动波形。
以下进行说明其理由。即使向驱动线圈4停止提供sin波，振动板2和永久磁铁3成为机械自由振动状态，由于这之前的共振惯性继续振动。根据振动板2的振动，永久磁铁3继续振动，驱动线圈4由于发电作用而产生电动势。该电动势产生的电流流经电阻R1和R2。其结果在示波器7上测定的驱动线圈4上的波形，如图8所示，即使在断开开关SW瞬间，也不会为0，而是下降到约1.1Vp-p之后，逐渐衰减。
将该波形的衰减状态放大后如图9所示。在图9中，在断开开关SW的瞬间，5Vp-p的电压下降到1.1Vp-p，在经过约1.2秒的时间常数后，下降到0.3Vp-p。该衰减波形与振动板2的振动的衰减状态一致。
驱动线圈4产生的磁场让振动板2以共振频率共振的状态下，由于永久磁铁3的摆动，在驱动线圈4中产生反电动势，为阻止在驱动线圈4中流动的电流的方向。为此，在共振部分阻抗将发生变化。然而，如果频率偏离，振动板2不会摆动，即使在驱动线圈4中流入相同的电流，由于不产生因摆动而产生的反电动势，在驱动线圈4中流入单纯的电流。其结果，即使电流相同也会出现由于振动板2是否摆动所引起的阻抗的变化。因此，这样，根据振动板2处于自由振动状态和由物体约束其振动的状态下分别在驱动线圈4中流过的电流上的不同，可以检测物体的有无。
由于振动板2的Q值非常高，如果换算成为使振动板2共振而对驱动线圈4进行驱动时的频带宽度(从峰值下降到-3db以内的频带宽度)，共振频率的带宽为1Hz以内。即，如果让振动板2例如在300Hz下振动，而在298Hz或者302Hz将不会振动。因此，理论上，由振荡器产生振动板2的振动频率，始终驱动驱动线圈4，这时通过测定在驱动线圈4中流过的电流，可以检测物体的有无。
但是，实际上振动板2的共振频率具有温度特性，而振荡器也具有温度特性，而检测管1也存在机械上的偏差情况，频率不可避免会产生某种变动。为此，要想固定频率检测物体的有无是非常困难的。
为此，以振动板2的振动频率为中心以一定范围内的频率进行扫描，其中如果电流有变化，则可以检测出物体的有无。
图10表示在振动板上施加300Hz到400Hz的扫描信号时的振幅与频率之间的关系图。如图10所示，振动板的共振频率假定设定为350Hz。输入到振动板的信号频率从300Hz开始逐渐上升，在350Hz附近振动板2开始共振，共振到达峰值后，逐渐开始减弱。共振频率范围如前所述在1Hz以内。该范围越宽越有利于检测，但振动板2本身是机械系统，到开始振动需要时间，检测管1和振动板2开始振动的时间(从开始向电磁铁施加共振频率到振动达到充分大为止的时间)需要数秒钟的时间。例如，假定在1Hz内扫描需要1秒，而从300Hz到400Hz的扫描，需要100秒钟，作为检测物体的有无的装置使用并不现实。为此，需要考虑对振动板高速扫描的方法。
图11表示高速扫描了驱动线圈4时的振幅与频率之间的关系图。振动板2的共振频率假定设定为350Hz，从300Hz到400Hz的扫描信号例如以3秒的时间进行扫描。于是，如图11所示，由于振动板2的固有共振频率为350Hz，扫描信号到达350Hz时，振动板2开始共振，但由于扫描速度快，频率立刻就被偏离。
但是，即使扫描信号的频率多少有一些偏离，振动板2由于机械系统的惯性特性，在一定时间内以共振频率继续振动。扫描信号的频率例如达到355Hz时，在振动板2的固有振动数350Hz和355Hz的扫描信号之间产生干涉(差拍)。为此，如图11所示，产生8Hz～10Hz的波动。通过实验表明，例如当以3～5秒的速度扫描驱动线圈4时，该波动一定会产生。为此，本发明通过检测上述波动的有无，来检测物体的有无。
图12表示基于上述原理的第1实施方式的方框图。在图12中，三角波发生电路21产生三角波扫描电压，并输入给电压控制振荡器(以下称为VCO)22。VCO22根据该扫描电压扫描频率，产生频率信号施加给驱动线圈4。例如，VCO22在三角波的振幅下降时频率下降，振幅增高时频率增高。驱动线圈4，如图18A到图18C中说明的那样，构成电磁铁，其它的检测管1、振动板2、永久磁铁3也和图18A到图18C中说明的是相同的构成。
在该实施方式中，VCO22例如产生300Hz～400Hz的频率扫描信号。VCO22产生的扫描信号由驱动电路23放大成驱动构成检测管1内的电磁铁的驱动线圈4的驱动信号，通过电流检测电路24输入给驱动线圈4。电流检测电路24检测在驱动线圈中流动的电流。
电流检测电路24所检测的检测电流输入给放大电路25进行放大，由带通滤波器(以下称为BPF)26只抽出上述的图11所示的干涉成分即干涉电压的频率成分。该干涉成分输入给整流电路27进行整流，只取出干涉电压的正(或者负)的成分。峰值保持电路28保持在1扫描期间内的干涉电压的峰值。所保持的峰值在比较电路29中与预先确定的值进行比较，如果峰值比预先确定的值大，物体不存在，将表示作为振动板2共振的物体不存在的信号输出给继电器电路30。反之，峰值比预先确定的值小，从继电器电路(30)输出表示物体存在的信号。
此外，在上述说明中，虽然是将所保持的峰值与预先确定的值进行比较来判定物体的有无，也可以判别物体的状态。例如，所检测的介质是水结冰的状态、水的状态，根据从水的状态到结冰状态，振动板2的振动状态不同，如果将与此分别对应的预先确定的值在比较电路29中进行比较即可。此外，也可以检测被检测介质的粘度的不同状态。
图13表示该发明的另一实施方式的方框图。在图13中，微计算机31可以输出PWM(Pulse Width Modulation脉冲幅度调制)，该PWM输出被输出给平滑电路32变换成三角波信号。该三角波信号输入给VCO33，例如将300Hz～400Hz的循环频率扫描信号输出给驱动电路34，驱动信号通过电流检测电路35输出给驱动线圈4。
电流检测电路35检测在驱动线圈4中流过的电流，该检测信号输出给相位检测电路36。相位检测电路36检测在驱动线圈4中流过的电流的相位的摆动变化。该检测信号输出给平滑电路37进行平滑处理，将摆动成分作为电压变化成分输出。
进一步，通过BPF39输出干涉成分，输出给放大电路40进行放大，该放大输出被输入给检波电路41检测干涉成分，经过平滑电路42平滑后连接到微计算机31的A/D输入端。微计算机31将输入到A/D输入端的干涉成分变换成数字信号，然后通过软件处理计算其峰值，将该峰值与预先确定的值进行比较，将表示物体有无的信号输出给继电器电路44。
此外，在微计算机31上还连接有灵敏度设定器43、继电器电路44、动作显示器45。灵敏度设定器43设定为检测干涉成分的灵敏度。
图14表示该发明的第3实施方式的方框图。图14所示的实施方式是将图13所示的检波电路41和平滑电路42省略，放大电路40输出的交流电平信号直接输出给微计算机31的A/D输入端，进行读取处理。这样，虽然可以简化硬件构成，但需要频繁使用A/D变换，以及与其相应的软件。
图15表示该发明的第4实施方式的方框图。该实施方式将输出给驱动电路34的电压、和由相位检测电路36所检测的驱动电流的相位变化输出给比较电路46直接进行比较，该比较输出在平滑电路37进行平滑后输出给微计算机31的A/D输入端。
在图12～图14所示的例中，均为由干涉的摆动产生的相位由相位检测电路36检测，为产生摆动，需要动态扫描频率。对此，图15所示的例由于是将输出给驱动线圈4的驱动信号波形直接与电流检测的波形的相位进行比较，具有可以静态检测峰值的存在的优点。
图16表示该发明的第5实施方式的方框图。该实施方式是省略了图15所示的平滑电路37，将相位比较电路46的输出直接输入给微计算机31的截获输入端。在该例中，具有可以正确确定共振点的特点。
图17表示该发明的第6实施方式的方框图。在该实施方式中，相位比较电路36所检测的驱动电流的相位的干涉变化直接输出给微计算机31的截获输入端。在该例中，与上述各实施方式相比，电路构成最简单，但软件处理增多。
此外，也可以不从图17所示的微计算机31输出PWM，也可以通过程序处理，导出振动频率以及其附近的频率的脉冲输出，省略平滑电路32和VCO33，直接将脉冲输出给驱动电路34。
上面示出的实施方式只不过将所有的点列举出例示，并不能认为是为了限制。本发明的范围并不在上述说明的范围，而是在要求专利保护的范围中示出，包含与要求专利保护的范围等同的内容，以及在该范围内所进行的所有的变更。
如上所述，依据该发明，在振动式水平传感器中，向电磁铁施加以振动板的共振频率为中心的电压扫描频率信号时，由扫描频率和振动体的机械振动之间的差所产生的干涉可以检测出电磁铁的线圈阻抗的变化，根据该阻抗的变化可以检测出上述物体的有无。
因此，作为传感器部分只设置驱动用线圈(电磁铁)和永久磁铁，在接收用的传感器部分中不需要采用象现有技术那样的压电元件和加速度传感器，就可以判别物体的有无，这样可以简化结构，大幅度降低成本，提高装置的可靠性。
产业上利用的可能性该发明是振动式水平传感器的振动线圈阻抗的检测方法、采用该方法的物体检测方法及其装置，该发明适用于通过检测在振动线圈中输入高速频率扫描信号时所产生的施加电压与反电动势之间的干涉所产生的差拍电压，检测振动线圈阻抗，可以检测储罐内的粉体的装置。
权利要求
1.一种线圈阻抗检测方法，是检测与设置在检测管(1)内的振动板(2)上的磁铁(3)相距一定间隔对向配置的驱动线圈(4)的在振动频率下的阻抗的方法，其特征在于在所述驱动线圈(4)中施加与所述振动板(2)的共振频率一致的频率的交流电流，以流过电流的大小和相位连续监测该驱动线圈的阻抗变化，以检测该变化的大小。
2.一种线圈阻抗检测方法，是检测与设置在检测管(1)内的振动板(2)上的磁铁(3)相距一定间隔对向配置的驱动线圈(4)的在振动频率下的阻抗的方法，其特征在于在所述驱动线圈(4)中施加包含所述振动板(2)的共振频率的附近频率的扫描交流电流，检测扫描中的驱动线圈(4)的阻抗的变化。
3.一种线圈阻抗检测方法，是检测与设置在检测管(1)内的振动板(2)上的磁铁(3)相距一定间隔对向配置的驱动线圈(4)的在振动频率下的阻抗的方法，其特征在于在所述驱动线圈(4)中施加包含所述振动板(2)的共振频率的附近频率的扫描交流电流，根据扫描产生的干涉成分的大小输出检测信号。
4.一种物体检测方法，是通过检测与设置在检测管(1)内的振动板(2)上的磁铁(3)相距一定间隔对向配置的驱动线圈(4)的在振动频率下的阻抗、检测物体有无的方法，其特征在于在所述驱动线圈(4)中施加与所述振动板(2)的共振频率一致的频率的交流电流，以流过电流的大小和相位连续监测该驱动线圈(4)的阻抗变化，检测该变化的大小，通过将所检测的阻抗变化与基准值进行比较，检测物体的有无。
5.一种物体检测方法，是通过检测与设置在检测管(1)内的振动板(2)上的磁铁(3)相距一定间隔对向配置的驱动线圈(4)的在振动频率下的阻抗、检测物体有无的方法，其特征在于在所述驱动线圈(4)中施加包含所述振动板(2)的共振频率的附近频率的扫描交流电流，检测扫描中的驱动线圈(4)的阻抗的变化，通过将所检测的扫描中的阻抗的最大变化与基准值进行比较，检测物体的有无。
6.一种物体检测方法，是通过检测与设置在检测管(1)内的振动板(2)上的磁铁(3)相距一定间隔对向配置的驱动线圈(4)的在振动频率下的阻抗、检测物体有无的方法，其特征在于在所述驱动线圈(4)中施加包含所述振动板(2)的共振频率的附近频率的扫描交流电流，将扫描产生的干涉成分的大小与基准值进行比较，检测物体的有无。
7.一种物体检测装置，是通过检测与设置在检测管(1)内的振动板(2)上的磁铁(3)相距一定间隔对向配置的驱动线圈(4)的在振动频率下的阻抗、检测物体有无的装置，其特征在于包括在所述线圈中施加与所述振动板的共振频率一致的频率的交流电流的交流电流施加电路(21～23)、以流过电流的大小和相位连续监测由所述交流施加电路施加交流电流时的驱动线圈的阻抗变化，以检测该变化的大小的阻抗变化检测电路(24～27)、将所述阻抗变化检测电路所检测的阻抗的变化与基准值进行比较检测物体的有无的物体检测电路(29)。
8.一种物体检测装置，是通过检测与设置在检测管(1)内的振动板(2)上的磁铁(3)相距一定间隔对向配置的驱动线圈(4)的在振动频率下的阻抗、检测物体有无的装置，其特征在于包括在所述驱动线圈(4)中施加包含所述振动板(2)的共振频率的附近频率的扫描交流电流的交流电流施加电路(21～23)、检测由所述交流施加电路施加扫描交流电流时的驱动线圈中阻抗的变化的阻抗变化检测电路(24～27)、将所述阻抗变化检测电路所检测的扫描中的阻抗的最大变化与基准值进行比较检测物体的有无的物体检测电路(29)。
9.一种物体检测装置，是通过检测与设置在检测管(1)内的振动板(2)上的磁铁(3)相距一定间隔对向配置的驱动线圈(4)的在振动频率下的阻抗、检测物体有无的装置，其特征在于包括在所述驱动线圈中施加包含所述振动板的共振频率的附近频率的扫描交流电流的交流电流施加电路(21～23)、抽出由所述交流施加电路施加扫描交流电流所产生的干涉成分的大小的干涉成分抽出电路(26)、将所述干涉成分抽出电路所抽出的干涉成分与基准值进行比较检测物体的有无的物体检测电路(29)。
10.根据权利要求9所述的物体检测装置，其特征在于所述干涉抽出电路检测由扫描的频率与振动体的机械振动所产生的干涉的相位差。
11.根据权利要求9所述的物体检测装置，其特征在于所述干涉抽出电路检测由扫描的频率与振动体的机械振动所产生的干涉的相位的峰值。
12.根据权利要求9所述的物体检测装置，其特征在于所述干涉抽出电路通过检测所述驱动线圈中流动的电流，检测干涉的相位差或者干涉的相位的峰值。
全文摘要
三角波发生电路(21)产生三角波扫描电压，VCO(22)根据该扫描电压扫描频率，驱动线圈4用该扫描电压驱动，基于在驱动线圈中流动的电流，抽出干涉成分、用整流电路(27)进行整流，峰值保持电路(28)保持在1扫描期间内的干涉电压的峰值。所保持的峰值在比较电路(29)中与预先确定的值进行比较，从继电器电路(30)输出表示物体有无的信号。
文档编号G01V3/10GK1462365SQ02801586
公开日2003年12月17日 申请日期2002年5月2日 优先权日2001年5月8日
发明者川胜裕志 申请人:株式会社能研