专利名称：光束扫描器性能检测装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及的是检测装置，具体是一种光束扫描器性能检测装置。
背景技术：
在激光扫描成像系统中没有针对光束扫描系统性能进行性能评价检测的设备，为了能更好的使上述系统处在正常的工作状态中，我们有必要研制一种关于对光束扫描系统进行性能检测的设备。
发明内容
本发明的目的是提供一种光束扫描器性能检测装置。本发明可对光束扫描系统进行光学性能的检测。本发明由CCD光学系统1、图象采集模块2、曝光读出模块3、计算机4、数据输出输入端口5组成；CCD光学系统1的控制输出输入端连接计算机4的控制输入输出端，CCD光学系统1的图象信号输出端连接图象采集模块2的图象信号输入端，CCD光学系统1的曝光读出信号输出输入端连接曝光读出模块3的信号输出输入端，图象采集模块2的图象数据输出端连接计算机4的图象数据输入端，曝光读出模块3的数据输出输入端连接计算机4的一个数据输入输出端，计算机4的另一个数据输出输入端连接数据输入输出端口5的数据输入输出端；所述CCD光学系统1包含透镜组1-1、CCD摄像头1-2；扫描光束输入到透镜组1-1的输入端后经透镜组1-1传输并从透镜组1-1的输出端输出到CCD摄像头1-2的输入端中，CCD摄像头1-2的两个数据输出输入端分别连接曝光读出模块3、计算机4的数据信号输入输出端，CCD摄像头1-2的图象信号输出端连接图象采集模块2的图象信号输入端。工作原理待测光通过CCD光学装置1中的透镜组1-1后入射到CCD摄像头1-2中，CCD摄像头1-2中产生的图象信息通过图象采集模块2、曝光读出模块3的数据处理后，输入到计算机4中进行综合运算得出待测光的各项数据指标，同时计算机4通过数据输出输入端口5能与外部进行数据交换。本发明能对光束扫描系统进行光学性能的检测，能对光束扫描系统的光斑特性和扫描光斑点阵特性进行全面检测，包括光斑的绝对位置、相对位置、位置准确度、重复度、瞬时视场、扫描视场、扫描线性度、扫描均匀度进行检测，并具有精度高、响应速度快、结构简单、调节灵活、体积小、成本低的优点，并可实现外触发程序控制和外触发电平控制两种工作模式，且可用于大口径、大视场、高强度或复杂环境下的光束扫描检测。
图1是本发明的整体结构示意图，图2是CCD光学系统1的整体结构示意图，图3是具体实施方式
二的结构示意图，图4是具体实施方式
三的结构示意图，图5是具体实施方式
四的结构示意图，图6是具体实施方式
五的结构示意图，图7是具体实施方式
六的结构示意图，图8是具体实施方式
七的结构示意图。
具体实施例方式具体实施方式
一结合图1、图2说明本实施方式，本实施方式由CCD光学系统1、图象采集模块2、曝光读出模块3、计算机4、数据输出输入端口5组成；CCD光学系统1的控制输出输入端连接计算机4的控制输入输出端，CCD光学系统1的图象信号输出端连接图象采集模块2的图象信号输入端，CCD光学系统1的曝光读出信号输出输入端连接曝光读出模块3的信号输出输入端，图象采集模块2的图象数据输出端连接计算机4的图象数据输入端，曝光读出模块3的数据输出输入端连接计算机4的一个数据输入输出端，计算机4的另一个数据输出输入端连接数据输入输出端口5的数据输入输出端；所述CCD光学系统1包含透镜组1-1、CCD摄像头1-2；扫描光束输入到透镜组1-1的输入端后经透镜组1-1传输并从透镜组1-1的输出端输出到CCD摄像头1-2的输入端中，CCD摄像头1-2的两个数据输出输入端分别连接曝光读出模块3、计算机4的数据信号输入输出端，CCD摄像头1-2的图象信号输出端连接图象采集模块2的图象信号输入端。图象处理电路2选用的型号是Euresys Grablink Value图象卡，曝光读出电路3选用的型号是EuresysGrablink Value图象卡，CCD摄像头1-6选用的型号是Basler A201b/F-mount与尼康50mm f/1.4D AF镜头。
具体实施方式
二结合图3说明本实施方式，本实施方式在具体实施方式
一的基础上增加有衰减器1-3；扫描光束输入到衰减器1-3的输入端后经衰减器1-3传输并从衰减器1-3的输出端输出到透镜组1-1的输入端中。其它组成和连接关系与具体实施方式
一相同。
具体实施方式
三结合图4说明本实施方式，本实施方式与具体实施方式
二的不同点是，扫描光束输入到透镜组1-1的输入端后经透镜组1-1传输并从透镜组1-1的输出端输出到衰减器1-3的输入端中，经衰减器1-3传输的光从衰减器1-3的输出端输出到CCD摄像头1-2的输入端中。其它组成和连接关系与具体实施方式
二相同。
具体实施方式
四结合图5说明本实施方式，本实施方式在具体实施方式
三的基础上增加有快门1-4；经衰减器1-3传输的光从衰减器1-3的输出端输出并通过快门1-4后，输入到CCD摄像头1-2的输入端中。其它组成和连接关系与具体实施方式
三相同。
具体实施方式
五结合图6说明本实施方式，本实施方式与具体实施方式
四的不同点是，扫描光束通过快门1-4后输入到透镜组1-1的输入端后经透镜组1-1传输并从透镜组1-1的输出端输出到衰减器1-3的输入端中，经衰减器1-3传输的光从衰减器1-3的输出端输出到CCD摄像头1-2的输入端中。其它组成和连接关系与具体实施方式
四相同。
具体实施方式
六结合图7说明本实施方式，本实施方式在具体实施方式
一的基础上增加有滤光器1-5；扫描光束输入到滤光器1-5的输入端后经滤光器1-5传输并从滤光器1-5的输出端输出到透镜组1-1的输入端中。其它组成和连接关系与具体实施方式
一相同。
具体实施方式
七结合图8说明本实施方式，本实施方式与具体实施方式
六的不同点是，扫描光束输入到透镜组1-1的输入端后经透镜组1-1传输并从透镜组1-1的输出端输出到滤光器1-5的输入端中，经滤光器1-5传输的光从滤光器1-5的输出端输出到CCD摄像头1-2的输入端中。其它组成和连接关系与具体实施方式
六相同。
权利要求
1.光束扫描器性能检测装置，其特征在于它由CCD光学系统(1)、图象采集模块(2)、曝光读出模块(3)、计算机(4)、数据输出输入端口(5)组成；CCD光学系统(1)的控制输出输入端连接计算机(4)的控制输入输出端，CCD光学系统(1)的图象信号输出端连接图象采集模块(2)的图象信号输入端，CCD光学系统(1)的曝光读出信号输出输入端连接曝光读出模块(3)的信号输出输入端，图象采集模块(2)的图象数据输出端连接计算机(4)的图象数据输入端，曝光读出模块(3)的数据输出输入端连接计算机(4)的一个数据输入输出端，计算机(4)的另一个数据输出输入端连接数据输入输出端口(5)的数据输入输出端。
2.根据权利要求1所述的光束扫描器性能检测装置，其特征在于CCD光学系统(1)包含透镜组(1-1)、CCD摄像头(1-2)；扫描光束输入到透镜组(1-1)的输入端后经透镜组(1-1)传输并从透镜组(1-1)的输出端输出到CCD摄像头(1-2)的输入端中，CCD摄像头(1-2)的两个数据输出输入端分别连接曝光读出模块(3)、计算机(4)的数据信号输入输出端，CCD摄像头(1-2)的图象信号输出端连接图象采集模块(2)的图象信号输入端。
3.根据权利要求2所述的光束扫描器性能检测装置，其特征在于它增加有衰减器(1-3)；扫描光束输入到衰减器(1-3)的输入端后经衰减器(1-3)传输并从衰减器(1-3)的输出端输出到透镜组(1-1)的输入端中。
4.根据权利要求2或3所述的光束扫描器性能检测装置，其特征在于扫描光束输入到透镜组(1-1)的输入端后经透镜组(1-1)传输并从透镜组(1-1)的输出端输出到衰减器(1-3)的输入端中，经衰减器(1-3)传输的光从衰减器(1-3)的输出端输出到CCD摄像头(1-2)的输入端中。
5.根据权利要求4所述的光束扫描器性能检测装置，其特征在于增加有快门(1-4)；经衰减器(1-3)传输的光从衰减器(1-3)的输出端输出并通过快门(1-4)后，输入到CCD摄像头(1-2)的输入端中。
6.根据权利要求5所述的光束扫描器性能检测装置，其特征在于扫描光束通过快门(1-4)后输入到透镜组(1-1)的输入端后经透镜组(1-1)传输并从透镜组(1-1)的输出端输出到衰减器(1-3)的输入端中，经衰减器(1-3)传输的光从衰减器(1-3)的输出端输出到CCD摄像头(1-2)的输入端中。
7.根据权利要求2所述的光束扫描器性能检测装置，其特征在于它增加有滤光器(1-5)；扫描光束输入到滤光器(1-5)的输入端后经滤光器(1-5)传输并从滤光器(1-5)的输出端输出到透镜组(1-1)的输入端中。
8.根据权利要求2或7所述的光束扫描器性能检测装置，其特征在于扫描光束输入到透镜组(1-1)的输入端后经透镜组(1-1)传输并从透镜组(1-1)的输出端输出到滤光器(1-5)的输入端中，经滤光器(1-5)传输的光从滤光器(1-5)的输出端输出到CCD摄像头(1-2)的输入端中。
全文摘要
光束扫描器性能检测装置，它具体是一种光束扫描器性能检测装置。它由CCD光学系统(1)、图象采集模块(2)、曝光读出模块(3)、计算机(4)、数据输出输入端口(5)组成；(1)的控制输出输入端连接(4)的控制输入输出端，(1)的图象信号输出端连接(2)的图象信号输入端，(1)的曝光读出信号输出输入端连接曝光读出模块(3)的信号输出输入端，(2)的图象数据输出端连接(4)的图象数据输入端，(3)的数据输出输入端连接(4)的一个数据输入输出端，(4)的另一个数据输出输入端连接(5)的数据输入输出端。本发明能对光学扫描系统进行光学性能的检测，能对光学扫描系统进行绝对位置、相对位置、线性度、扫描均匀度进行检测，并具有结构简单、体积小、成本低的优点。
文档编号G01M11/02GK1598521SQ20041004378
公开日2005年3月23日 申请日期2004年8月6日 优先权日2004年8月6日
发明者孙秀冬, 赵远, 陈钟贤, 张宇, 刘丽萍, 唐勐, 吴杰, 靳辰飞, 张勇 申请人:哈尔滨工业大学