测试装置、测试方法、电子元件的生产方法、测试模拟器以及测试模拟方法

专利名称：测试装置、测试方法、电子元件的生产方法、测试模拟器以及测试模拟方法
技术领域：
本发明为关于 一种电位比较器，用于将一对讯号间的电位差与所定的 阀值电位之间的大小关系导出，其中该对讯号间的电位差形成由检查对象 输出的差动讯号。本申请案与下述的日本专利申请案有关连，对于认可编 入参考文献的国家，下述的专利申请案说明书所述的内容，编入做为本申 请案说明书的一部分供参考。日本专利特愿2005-062044 申请日期 2005年3月7曰背景技术先前已有检查电子电路的特性的检查装置。该些检查装置，具体的说 是具有以下功能利用电位比较器，对由作为检查对象的电子电路所输出 的电讯号，与所定的阀值电压进行比较，依据比较结果来判定电子电路的 良否。因此，检查装置的检查的可靠性，与进行电位比较的电位比较器的 比较精度有很大的关系。构成检查装置的电位比较器，由检察的可靠性等 观点来看是非常重要的设备。但是，为提升传输速度的高速化及耐杂讯的特性，有提出利用所谓的 差动传输方式来代替原来的单端传输的技术。差动传输方式，为利用两条 传输线传送讯息的技术，具体的说是依据经由两条传输线传送二个电讯号 间的电位差，判定高(High )或低(Low)。对应此种利用差动传输方式的 电子电路的增加，在进行电子电路的特性检查的检查装置的领域中，亦要 求有配备对应于差动传输方式的电位比较器的检查装置。专利文献1:日本专利特开2002-215712号公报但是，先前的测试装置及测试模拟器，在由电子元件或是模拟该电子 元件的元件模拟器，输出多数的输出讯号的场合，仍然对各个输出讯号独 立测试。因此，在该些多数的输出讯号之间，且各个输出讯号变化的时序 相关的场合，亦不能依此相关来测试电子元件，以判别良否。发明内容本发明的目的即在提供一种能解决上述问题的测试装置、测试方法、 电子元件的生产方法、测试模拟器、以及测试模拟方法。此目的可由申请 专利范围的各独立项所述的特征的组合来达成，又各附属项规定本发明的更有利的具体例子。为解决上述的问题，本发明的第一形态提供一种测试装置，在将测试 讯号供给至电子元件的同时，将由该电子元件对应于该测试讯号而输出的 多个输出讯号，各个与期待值比较，以测试该电子元件是否进行所期待的动作。该测式装置包括基准时序检测部，检测出一个输出讯号发生变化； 设定部，预先设定由一个输出讯号的发生变化到另一个输出讯号发生变 化的最小时间；取入部，由基准时序检测部检测出一个输出讯号发生变化 的时起，在已经过该最小时间的时序，取得该另一个输出讯号的值；以及 识别部，当由取入部收取的另一个输出讯号的值，与该经过最小时间后应 取得的另 一个输出讯号的值不一致时，识别出该电子元件为不良品。取入部亦可包括选通(strobe)讯号发生部，从基准时序检测部检测出 一个输出讯号发生变化时起，在已经过该最小时间的时序，发生选通讯号； 以及比较器，依据选通讯号取得另一个输出讯号的值。该测试装置亦可配 置一个期待值保持部，将由一个输出讯号的值发生变化之时起，在经过该 最小时间的时序时应取得的另 一个输出讯号的值做为期待值而预先保持 着。所谓的最小时间，为对于接受该电子元件的输出讯号而发生动作的其 他的电子元件，所需的一个输出讯号的建立时间，或另一个输出讯号的保 持(hold)时间，的任一项皆可以。本发明的第二形态提供一种测试方法，在供给电子元件测试讯号的同 时，将由该电子元件对应该测试讯号而输出的多数的输出讯号，各个与期 待值比较，以测试该电子元件是否进行所期待的动作。该测试方法包括 基准时序测试步骤，检测出一个输出讯号发生变化；设定步骤，预先设定由一个输出讯号发生变化到另一个输出讯号发生变化的最小时间；取入步 骤，由基准时序检测步骤检测出一个输出讯号发生变化的时起，在已经过 该最小时间的时序，收取另一个输出讯号的值；以及识别步骤，在取入步 骤中已收取的另 一个输出讯号的值，与经过最小时间后应收取的另 一个输 出讯号的值不一致时，识别该电子元件为不良产品。本发明的第三形态提供一种电子元件的生产方法，为 一种在供给电子 元件测试讯号的同时，将由该电子元件对应该测试讯号输出的多个输出讯 号，各个与期待值比较，以筛选且生产该进行所期待的动作的电子元件的 生产方法。该生产方法包括基准时序测试步骤，检测出一个输出讯号发 生变化；设定步骤，预先设定由一个输出讯号发生变化到另一个输出讯 号发生变化的最小时间；取入步骤，由基准时序检测步骤检测出一个输出 讯号发生变化之时起，在已经过最小时间的时序，收取另一个输出讯号的 值；以及识别步骤，在取入步骤中已收取的另一个输出讯号的值，与经过 最小时间后应收取的另一个输出讯号的值不一致时，识别该电子元件为不
良产品。又，本发明的第四形态提供一种测试模拟器，为一种对模拟电子元件 的动作的元件模拟器供给测试讯号，同时将由该元件模拟器对应该测试讯 号而输出的多个输出讯号，各个与期待值比较，以测试该电子元件是否实行如所期待的动作的测试模拟器。该测试模拟器包括基准时序检测部， 检测出一个输出讯号发生变化；设定部，预先设定由一个输出讯号发生 变化起到另一个输出讯号发生变化的最小时间；取入部，在基准时序检测 部检测出一个输出讯号发生变化时起，在已经过最小时间的时序，取入另 一个输出讯号的值；以及识别部，由该取入部所取入的另 一个输出讯号的 值，与经过最小时间后应取入的另一个输出讯号的值不一致时，识别该电 子元件为不良产品。本发明的第五形态提供一种测试装置，为 一种在供给电子元件测试讯 号的同时，将由该电子元件对应于该测试讯号而输出的多个输出讯号，各 个与期待值比较，以测试该电子元件是否实行所期待的动作的装置。该测 试装置包括基准时序检测部，检测出一个输出讯号发生变化；设定部， 预先设定由 一个输出讯号发生变化起到另 一个输出讯号发生变化的最小 时间；经过时间4企测部，检出由基准时序4企测部4企测一个输出讯号发生变 化起，到另一个输出讯号发生变化为止的经过时间；以及识别部，在该经 过时间较该最小时间短时，识别该电子元件为不良产品。本发明的第六形态提供一种测试方法，为 一种在供给电子元件测试讯号的同时，将由该电子元件对应于该测试讯号而输出的多个输出讯号，各个与期待值比较，以测试该电子元件是否进行如期待的动作的测试方法。该测试方法包括基准时序检测步骤，检测出一个输出讯号发生变化；设定步骤，预先设定由一个输出讯号发生变化起到另一个输出讯号发生变化为止的最小时间；经过时间检测步骤，检出由基准时序检测步骤中检测一个输出讯号发生变化起，到另一个输出讯号发生变化为止的经过时间；以及识别步骤，在该经过时间比该最小时间短时，识别该电子元件为不良 ± 口厂口口o本发明的第七形态提供一种电子元件的生产方法，为一种在供给电子 元件测试讯号的同时，将由该电子元件对应于该测试讯号而输出的多个输 出讯号，各个与期待值比较，以筛选且生产该进行所期待的动作的电子元件的生产方法；该生产方法包括基准时序检测步骤，检测出一个输出讯 号已发生变化；设定步骤，预先设定由一个输出讯号发生变化起到另一 个输出讯号发生变化为止的最小时间；经过时间检测步骤，检出由基准时 序检测步骤中检测一个输出讯号发生变化起，到另一个输出讯号发生变化 为止的经过时间；以及识别步骤，在该经过时间比前期最小时间短时，识
别该电子元件为不良产 品。本发明的第八形态提供一种测试模拟器，为 一种对模拟电子元件的动 作的元件模拟器供给测试讯号，同时将由该元件模拟器对应于该测试讯号 而输出的多个输出讯号，各个与期待值比较，以测试该电子元件是否实行如期待的动作的测试模拟器。该测试模拟器包括基准时序检测部，检测 出一个输出讯号发生变化；设定部，预先设定由一个输出讯号发生变化 起到另一个输出讯号发生变化为止的最小时间；经过时间检测部，检出由 基准时序检测部检测一个输出讯号发生变化起到另一个输出讯号发生变化 为止的经过时间；以及识别部，在该经过时间较前期最小时间短时，识别 该电子元件为不良 品。本发明的第九形态提供一种测试装置，为一种在提供电子元件测试讯 号的同时，将由该电子元件对应于该测试讯号而输出的多个输出讯号，各 个与期待值比较，以测试是否能够正确测试该电子元件的测试装置。该测 试装置包括基准时序取得部，取得一个测试讯号发生变化的时刻；设定 部，预先设定由一个测试讯号发生变化起到另一个测试讯号发生变化为 止的最小时间；测试讯号检测部，由基准时序取得部取得的一个测试讯号 发生变化的时刻起，在经过该最小时间的时序，检测出另一个测试讯号的 值；以及通知部，检测部检测出的另一个测试讯号的值，与预先取得的作 为经过最小时间后应取得的一个其他测试讯号的值不一致时，判断为不能 正确地测试该电子元件，并通知该意旨。 _本发明的第十形态提供一种测试模拟器，为 一种对模拟电子元件的动 作的元件模拟器供给多数的测试讯号，同时将该元件模拟器对应该些多数 的测试讯号而输出的多个输出讯号，各个与期待值比较，以测试是否能够 正确测试该电子元件的测试模拟器。该模拟器包括基准时序取得部，取 得一个测试讯号发生变化的时刻；设定部，预先设定由一个测试讯号发 生变化起到另一个测试讯号发生变化为止的最小时间；测试讯号检测部， 由基准时序取得部取得的一个测试讯号发生变化的时刻起，在经过该最小 时间的时序，；险测出另一个测试讯号的值；以及通知部，在;f企测部才全测出 的另一个测试讯号的值，与预先储存的作为经过最小时间后取得的其他一 个测试讯号的值不一致时，判断为不能正确地测试该电子元件并通知该意 曰。本发明的第十一形态提供一种测试模拟方法，为 一种对模拟电子元件 的动作的元件模拟器供给多数的测试讯号，同时将由该元件模拟器对应于 该些多数的测试讯号而输出的多个输出讯号，各个与期待值比较，以测试 是否能够正确测试该电子元件的测试;漠拟方法。该测试^^莫拟方法包括基 准时序取得步骤，取得一个测试讯号发生变化的时刻；设定步骤，预先设
定由一个测试讯号发生变化起到另一个测试讯号发生变化为止的最小时 间；测试讯号检测步骤，由基准时序取得步骤中取得的一个测试讯号发生 变化的时刻起，在经过该最小时间的时序，检测出另一个测试讯号的值； 以及通知步骤，在检测步骤检测出的其他一个检测讯号的值，与预先储存 的作为经过最小时间后应取得的其他一个测试讯号的值不一致时，判断为 不能正确测试该电子元件，并通知该意旨。本测试模拟方法，亦可具备储 存步骤，在通知步骤已进行通知后，将已修正的测试讯号的图案储存，在 储存步骤后再度实施基准时序取得步骤，及测试讯号检测步骤。又，本发明的第十二形态提供一种电子元件的生产方法，为一种在模 拟电子元件的动作的元件模拟器上供给多数测试讯号的同时，将由该元件 模拟器对应于该多数的测试讯号而输出的多个输出讯号，各个与期待值比 较，以测试是否能够正确测试该电子元件，并且利用该测试时用的测试讯 号图案，测试电子元件的实物，以筛选及生产该执行所期待的动作的电子 元件的生产方法。该生产方法包括基准时序取得步骤，取得一个测试讯 号发生变化的时刻；设定步骤，预先设定由一个测试讯号发生变化起到 另一个测试讯号发生变化为止的最小时间；测试讯号检测步骤，由基准时 序取得步骤取得的一个测试讯号发生变化的时刻起，在经过该最小时间的 时序，检测出另一个测试讯号的值；通知步骤，在检测步骤检测出的其他 一个测试讯号的值，与预先储存的作为经过最小时间后应取得的另一个测 试讯号的值不一致时，判断为不能正确测试该电子^/f牛，并通知该意旨； 储存步骤，在通知步骤通知该意旨后，储存已修正后的测试讯号的图案； 重复检测步骤，在储存步骤后，再度重复实施基准时序取得步骤与测试讯 号检测步骤；实物测试步骤，在检测步骤检测出的其他一个检测讯号的值， 与经过最小时间后的其他一个测试讯号该取得的值一致时，使用已修正的 测试讯号图案来测试该电子元件的实物；以及识别步骤，依实物测试步骤， 在由电子元件所得到的输出讯号的值与期待值一致时，识别该电子元件为 良品。本发明的第十三形态提供一种测试装置，为 一种在对电子元件供给多 数的测试讯号的同时，将由元件模拟器对应于该些多数的测试讯号而输出 的多个输出讯号，各个与期待值比较，以测试是否能够正确测试该电子元 件的测试装置。该测试装置包括基准时序取得部，取得一个测试讯号发 生变化的时刻；设定部，预先设定由一个测试讯号发生变化起到另一个 测试讯号发生变化为止的最小时间；经过时间检测部，检测出由基准时序 取得的一个测试讯号发生变化的时刻起，到另 一个测试讯号发生变化为止 的经过时间；以及一通知部，在该经过时间比前期最小时间更短时，判断 为不能正确测试该电子元件，并通知该意旨。
本发明的第十四形态提供一种测试模拟器，为 一种在对模拟电子元件 的动作的元件模拟器供给多数的测试讯号的同时，将该元件模拟器对应于 该些多数的测试讯号而输出的多数的输出讯号，各个与期待值比较，以测试是否能够正确测试该电子元件的测试模拟器。该测试模拟器包括基准 时序取得部，取得一个测试讯号发生变化的时刻；设定部，预先设定由 一个测试讯号发生变化起到另一个测试讯号发生变化为止的最小时间；经 过时间检测部，检测出由基准时序取得部取得的一个测试讯号发生变化的 时刻起，到另一个测试讯号发生变化为止的经过时间；以及通知部，在该 经过时间比前期最小时间更短时，判断为不能正确测试该电子元件，并通 知该意旨。 ，本发明的第十五形态提供一种测试模拟方法，为 一冉在对模拟电子元 件的动作的元件模拟器供给多数的测试讯号的同时，将该元件模拟器对应 于该些多数的测试讯号而输出的多数的输出讯号，各个与期待值比较，以 测试是否能够正确测定该电子元件的测试模拟方法。该测试模拟方法包括 基准时序取得步骤，取得一个测试讯号发生变化的时刻；设定步骤，预先 设定由一个测试讯号发生变化起到另一个测试讯号发生变化为止的最小 时间；经过时间检测步骤，检测出由基准时序取得步骤取得的一个测试讯 号发生变化的时刻起，到另一个测试讯号发生变化为止的经过时间；以及 通知步骤，在该经过时间比前期的最小时间更短时，判断为不能正确测试 该电子元件，并通知该意旨。本测试模拟方法亦可具备储存步骤，在通知 步骤已进行通知之后，储存已修正的测试讯号的图案，在储存步骤后，再 进行基准时序取得步骤及经过时经检测步骤。本发明的第十六形态提供一种电子元件的生产方法，为一种在对模拟 电子元件的动作的元件模拟器供给多数的测试讯号的同时，将该电子模拟 器对应于该些多数的测试讯号而输出的多数的输出讯号，各个与期待值比 较，以测试是否能够正确测试该电子元件，并且利用该测试中已使用的测 试讯号的图案，来测试电子元件的实物，以筛选且生产该执行所期待的动 作的电子元件的生产方法。该生产方法包括基准时序取得步骤，取得一 个测试讯号发生变化的时刻；设定步骤，预先设定由一个测试讯号发生 变化起到另 一个测试讯号发生变化为止的最小时间；经过时间检测步骤， 检测出由基准时序取得步骤取得的一个测试讯号发生变化的时刻起，到另 一个测试讯号发生变化为止的经过时间；通知步骤，在该经过时间比前期 的最小时间更短时，判断为不能正确测试该电子元件，并通知该意旨；储 存步骤，在通知步骤中已进行通知之后，储存已修改的测试讯号的图案； 重复检测步骤，在储存步骤后，再度重复基准时序取得步骤与经过时间检 测步骤；实物测试步骤，在检测步骤中检测出另一个测试讯号的值，与在
经过最小时间后应取得的其他一个测试讯号的值一致的场合，使用该已修正的测试讯号的图案，以测试该电子元件的实物；以及识别步骤，依实物 测试步骤，'在由电子元件所得到的输出讯号的值与期待值一致时，识别该 电子元件为良 品。 发明的效果本发明利用电子元件输出的多个输出汰号间，各个输出讯号发生变化 的时序的相互关系来进行测试，能够以更高精度来识别该电子元件的良否。又，上述的发明概要并未列举本发明的全部的必要特征，该些特征群 的子(sub)组合亦可形成发明。为让本发明的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳 实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。


图1绘示本发明第一实施例的测试系统10的功能构造的一例的方块图。图2绘示本发明第一实施例的DUT16的输出讯号的一例。图3绘示使用本发明第一实施例的测试装置14的电子元件测试方法的处理流程的 一例的流程图。图4绘示本发明第二实施例的测试模拟系统20的功能构造的一例的方块图。图5绘示本发明第三实施例的测试系统30的构造的一例的方块图。 图6绘示使用本发明第三实施例的测试装置的电子元件测试方法的处 理流程的一例的流程图。图7绘示本发明第四实施例的测试模拟系统40的功能构造的一例的方块图。图8绘示本发明第五实施例的测试模拟系统50的功能构造的一例的方 块图。图9绘示本发明第五实施例的测试模拟器54使用的测试讯号的一例。 图10绘示使用本发明第五实施例的测试模拟系统50的电子元件的测试模拟方法及生产方法的处理流程的一例的流程图。图11绘示本发明第六实施例的测试模拟系统60的功能构造的一例的方块图。图12绘示使用本发明第六实施例的测试模拟系统60的电子元件的测 试模拟方法及生产方法的处理流程的 一例的流程图。图13绘示本发明第七实施例的电脑1500的硬件构造的一例的方块图。 10:测试系统 12:测试控制装置
14:测试装置20:测试冲莫拟系统24:测试模拟器30:测试系统34:测试装置40:测试模拟系统44:测试模拟器50:测试才莫拟系统54:测试^t拟器60:测试模拟系统64:测试;漠拟器100:图案发生部120:波形形成部140:基准时序检测部160:取入部164:比较器180:识别部310:时序发生部330:驱动器350:经过时间;险测部370:设定部390:识别部505:时序发生部515:基准时序取得部525:测试讯号^全测部535:驱动器545:期待值保持部620:设定部630:通知部1505: CPU1520: RAM1540:硬盘才几驱动器1560: CD-ROM驱动器1580:显示装置1584: IZO控制器1595: CD-ROM16:DUT22:测试模拟控制系统26:元件模拟器32:测试控制装置36:DUT42:测试模拟控制部46:元件模拟器52:测试纟莫拟控制部56:元件模拟器62:测试^f莫拟控制部66:元件模拟器110:时序发生部130:驱动器150:设定部162:选通讯号发生部170:期待值保持部300:图案发生部320:波形形成部340:基准时序^f全测部360:比较fl380:期待值保持部500:图案发生部510:波形形成部520:设定部530:通知部540:比较器550:识别部625:测试讯号4全测部1500:电脑 1510: ROM 1530:通讯I/F 1550:软盘机驱动器 1570: 1/0晶片 1582:主控制器 1590:软盘S1000 S1080:流程图符号页S1100 S1190:流程图符号 S1200 S1255:流程图符号S1300 S1365:流程图符号具体实施方式
以下通过实施例来说明本发明，但以下的实施例并未用以限定申请专 利范围的各项发明，又，在实施例中说明的特征的组合，不限定全部是本 发明的解决问题所必须的。第一实施例图1绘示本发明第一实施例的测试系统10的功能构造的一例的方块 图。该测试系统10包括测试控制装置12、测试装置14以及DUT( Device Under Test,测试元件)16。测试系统10利用测试装置14来测试电子元件 DUT16。测试控制装置12控制此测试装置14，以在测试装置14上执行 DUT16的测试。测试装置14供给DUT16测试讯号，并将由DUT16对应 于测试讯号而输出的多个输出讯号，各个与期待值比较，以测试DUT16是 否进行期待的动作。DUT16，对应由测试装置供给的测试讯号以发生多数 的输出讯号，经过设在DUT16的多数的各个接脚(pin)而输出该些多数的各 个输出讯号。本发明第一实施例的测试装置14，就像先前的测试装置的功能测试， 不只做DUT16输出的多数的各个输出讯号与期待值比较的处理，各输出讯 号独立进行测试。而且，本测试装置14尚在多数的输出讯号间，针对各个 输出讯号变化的时序的相关性进行测试，而能够以更高的精度来识别 DUT16的良否为目的。又，例如在DUT16对DRAM等的其他电子元件输出指定地址用的讯 号的场合，本例所说明的变化的时序有互相关系的多个输出讯号为地址出二列地址i通(ra口s)讯号，、或将该地址讯号所表示的地址值作为行地 址而输入的时序予以表示出的行地址选通(CAS)讯号。测试装置14包括图案发生部100、时序发生部110、波形形成部120、 驱动器130、基准时序检测部.140、设定部150、取入部160、期待值保持 部170以及识别部180。该图案发生部100，依据测试控制装置12的控制， 发生应供给DUT16的测试讯号，将发生的测试讯号的图案输出到波形形成 部120。又，图案发生部100，对应于该发生的测试讯号的图案，在该测试 讯号供给的场合，生成表示DUT16输出的输出讯号的期待值的资讯，并将 该生成的资讯输出到期待值保持部170。此处，表示期待值的资讯可包含 例如在DUT16输出的多个输出讯号之中， 一个输出讯号与另 一个输出讯号 间，各个输出讯号的变化时序有互相关连的场合，在经过由该一个输出讯
号发生变化起至该另一个输出讯号发生变化止的最小时间的时序，应取得的该另一个输出讯号的值。该时序发生部110,依据测试控制部12的控制， 发生应供给测试讯号到DUT16的时序，并将该表示时序的资讯输出到波形 形成部120、基准时序^r测部140、及期待值保持部170。波形形成部120，依据从图案发生部100收取应供给到DUT16的测试 讯号的图案，及由时序发生部110收取表示应供给到DUT16的测试讯号的 时序的资讯，以形成应供给到DUT16的波形，并输出到驱动器30。驱动 器130将收自波形形成部120的测试讯号，供给到DUT16。又，测试装置 14设有对应在DUT16配设的多个接脚的多个接脚卡，利用设在每一个接脚 卡的各驱动器130，对该些多数的接脚个別给与互异的测试讯号。然后， DUT16对应于供给的测试讯号以产生多数的输出讯号，并将产生的输出讯 号输出到基准时序4企测部140及取入部160。基准时序检测部140，用于检测DUT16输出的多数的输出讯号的中一 个输出讯号发生变化的现象。例如，基准时序检测部140，在发生多数的选 通讯号的同时，从该些多个选通讯号的各个中取得一个输出讯号的值，可 由该取得的值是否已由前次取得的值发生变化，以检测出该一个输出讯号 的变化。然后，基准时序检测部140,将表示该一个输出讯号发生变化的时 序的资讯，输出到取入部160。例如，依测试控制装置12的控制，在DUT16 输出的多个输出讯号之中， 一个输出讯号与另一个输出讯号间，各输出讯 号的变化时序有互相关连的场合，将由该一个输出讯号发生变化起，至该 另一个输出讯号发生变化为止的最小时间由设定部150预先予以设定。然 后，设定部150将表示设定的最小时间的资讯输出到取入部160。取入部160包含选通讯号发生部162及比较器164。该取入部160, 由基准时序检测部140检测出一个输出讯号发生变化时起，在经过由设定 部150设定的最小时间的时序，取入另一个输出讯号的值。选通讯号发生 部162,在由基准时序检测部140检测出一个输出讯号发生变化时起，在经 过设定的最小时间的时序，发生选通讯号，并将发生的选通讯号输出到比 较器164。又，该选通讯号发生部162与时序发生部IIO成为一体也可以。 比较器164依照由选通讯号发生部162所发生的选通讯号，取得由DUT16 输出的另一个输出讯号的值。具体的说，比较器164是在表示发生的选通 讯号的时序中，将另一个输出讯号的值与基准电压比较，并将比较结果的 逻辑值作为该另一个输出讯号的值。然后，比较器164将另一个讯号的值 输出到识别部180。期待值保持部170，依据从图案发生部IOO收取的表示期待值的资讯， 及从时序发生部110收取的供给到DUT16测试讯号的时序，以产生DUT16 对应于该测试讯号而输出的输出讯号的期待值，并将产生的期待值预先保存。具体的说，在DUT16输出的多个输出讯号之中， 一个输出讯号与另一 个输出讯号之间，各输出讯号发生变化的时间有互相关连的场合，由该一 个输出讯号发生变化起，在经过由设定部150设定的最小时间的时序，期 待值保持部170将该另 一 个输出讯号的应取得的值作为期待值而预先保存。识别部180，利用比较由取入部160取得的输出讯号与期待值保持部 170保存的期待值，以识别DUT16的良否。具体的说，识别部180，以取 入部160取得的另一个输出讯号的值，作为经过设定的最小时间之后应取 得的另一个输出讯号的值，与在期待值保持部170保存的期待值不一致时， 则识别DUT16为不良产品。然后，识别部将对DUT16的良否的识别结果 输出到测试控制部12，向测试者等发出提示。以上说明了测试装置14，依据在多个输出讯号之间的变化的时序的相 关性，以识别DUT16的良否。但测试装置14更能与先前的测试装置的功 能测试同样的，在预先决定的时序，将多数的输出讯号各别与在期待值保 持部170保存的期待值比较，以识别DUT16的良否。依本发明第一实施例的测试装置14，在电子元件输出的多个输出讯号 间，各个输出讯号的变化时序有互相关连的场合，可依据其相关性来测试 该电子元件。因此，在先前的进行功能测试的场合，即使在各预定时间的 各输出讯号与期待值一致的情况下，仍有各输出讯号不能满足预定的相关 性。亦即，由一个输出讯号发生变化，到预先设定的最小时间经过后的时 序的另一个输出讯号的值，与期待值不同的场合，能够识别电子元件为不 良产品。相反地，先前的进行功能测试的场合，即使在预定的时序的各输 出讯号的值与期待值不一致时，亦有因各输出讯号的变化的时序有一样的 变位，使各个输出讯号能满足预定南相关性的场合，则亦可识别该电子元 件为良品。如上所述，测试装置14与先前的进行功能测试的测试装置相比， 能以更高的精度，且更弹性地测试电子元件。又，依本测试装置14，在多数的输出讯号之中，由一个输出讯号发生 变化的时序起，在经过最小时间的时序，发生选通讯号，取入另一个输出 讯号的值，能够确实测试各输出讯号的相关性。继而，借由测试装置14, 以另 一个输出讯号的取得的值为期待值而预先保存，与取入的另 一个输出 讯号比较，在使用多种测试讯号的图案的场合，仍能依据该测试讯号的各 别图案的期待值进行测试。图2绘示本发明第一实施例的DUT16的输出讯号的一例。本图显示的 输出讯号之中，输出讯号A为在图1的说明的一个输出讯号。又，输出讯 号B,为在图1的说明的另一个输出讯号。此处，输出讯号A与输出讯号 B，各个的变化时序有相关性。例如，输出讯号B,在输出讯号A发生变化 后到预先设定的最小时间经过为止不发生变化。在本图中，输出讯号A发
生的变化时序为时序Tl，由时序Tl到依据设定部150设定的最小时间已 经过的时序为时序T2。又，在期待值保持部170保持的期待值，即，在时 序T2时输出讯号B应采取的值为L逻辑。因此，在时序T2时，输出讯号 B显示H逻辑的场合，识别部180识别出DUT16为不良产品。此处的最小时间为对接受从作为DUT16的电子元件的输出讯号而发 生动作的其他电子元件， 一个输出讯号亦即输出讯号A的建立(set up)时间， 或为另一个输出讯号亦即输出讯号B的保持(hold)时间的任一项皆可。作为 具体例，可举DUT16对其他电子元件DRAM输出地址讯号及表示该地址 讯号的列地址的时序的列地址选通讯号RAS的场合作说明。亦即，测试装 置14测试以下的功能DUT16输出该地址讯号及该RAS讯号。在此场合， 如输出讯号A为地址讯号，输出讯号B为RAS讯号时，对于其他电子元件， 最小时间可为输出讯号A的建立时间。又，如输出讯号A为RAS讯号，输 出讯号B为地址讯号时，对于其他电子元件，最小时间可为输出讯号B的 保持时间。如此，测试装置14能够识别在RAS讯号发生变化的时序， 另一电子元件有否确实读入地址讯号，即，DUT16电子元件输出的输出讯 号，是否能使其它电子元件正常发挥功能。图3绘示关于本发明第一实施例的测试装置14的电子元件测试方法的 处理流程的一例的流程图。首先，在DUT16输出的多个输出讯号之中，设 定部150预先设定由一个输出讯号发生变化到另一个输出讯号发生变化为 止的最小时间(SIOOO)。接着，基准时序^f全测部140，在DUT16对应于测 试讯号输出的多个输出讯号之中，取入一个输出讯号(SIOIO)。在此，基 准时序4企测部140，判定该取入的一个输出讯号的值是否已由前次取入的值 发生变化(S1020)。当该输出讯号的值没有发生变化的场合(S1020，否)， 基准时序检测部140返回S1010以进行处理，再度进行取入一个输出讯号。 另一方面，在该输出讯号的值发生变化时(S1020，是)，基准时序检测部 140，检测出该发生变化的时序以作为基准时序(S1030)。然后，选通讯号发生部162，在由该检测出的基准时序起，在经过设定 的最小时间的时序，产生选通讯号(S1040)。其次，在已发生的选通讯号 所表示的时序，比较器164自DUT16输出的多数讯号中取入该另一个输出 讯号(S1050)。然后，由识别部180,判定该取入的另一个输出讯号的值， 是否与期待值保持部170保持的期待值一致(S1060)。当该另一个输出讯 号的值与期待值一致时(S1060，是)，识别部180识别该DUT16电子元件 为良品(S1070)。另一方面，在该另一个输出讯号的值与期待值不一致时 (S1060，否)，识别部180识别该DUT16电子元件为不良品(S1080 )。本发明第 一 实施例的测试方法，在电子元件输出的多个输出讯号之间， 各个输出讯号发生变化的时序有相关性的场合，可依据其相关性来测试该 电子元件，能够以更高精度，更弹性地测试该电子元件是否进行所期待的 动作。又，依照本图所示的处理流程来测试电子元件，能够高精度，更弹 性地筛选且生产该执行所期待的动作的电子元件。图4'绘示本发明第二实施例的测试模拟系统20的功能构造的一例的方 块图。测试模拟系统20包括测试模拟器控制部22、测试模拟器24以及 元件模拟器26。测试模拟器24，用软体模拟由图1至图3说明的本发明第 一实施例的测试装置14的动作。具体的说，测试模拟器24，在对模拟电子 元件的动作的元件模拟器26供给测试讯号，同时将该元件模拟器26反应 于该测试讯号而输出的多个输出讯号，各个与期待值比较，以测试电子元 件是否进行期待的动作。测试模拟器24包括图案发生部100、时序发生部110、波形形成部 120、驱动器130、基准时序检测部140、设定部150、取入部160、期待值 保持部170以及识别部180。又，本图所示的测试模拟器24含有的各个构 件，在图1所示的测试装置14中皆有，由于附加同一符号的各构件功能大 略相同，故省略说明。但是，测试模拟器24的各构件是用软体模拟其对应 的测试装置14的构件的功能。测试模拟器24中，用测试模拟控制部22代 替测试控制装置12来控制运作；又，作为电子元件的实物的DUT16亦利 用由软体模拟该电子元件的元件模拟器26来代替，以进行该电子元件的测 试。本发明第二实施例的测试模拟装置24，在模拟电子元件的元件模拟器， 输出的多个输出讯号间，各个输出讯号发生变化的时序有相关性的场合， 能够依据其相关性来测试该电子元件。因此，与先前的模拟只能进行功能 测试的测试装置的测试模拟器相比，能够以更高的精度，更弹性地进行电 子元件的模拟测试。图5绘示关于本发明第三实施例的测试系统30的构造的一例的方块 图。测试系统30包括测试控制装置32、测试装置34以及DUT36。测试 系统30，使用测试装置34来测试电子元件DUT36。测试控制装置32，用 以控制测试装置34，以使DUT36的测试在测试装置34中进行。测试装置 34,在供给DUT36测试讯号的同时，由DUT36对应于测试讯号而输出的 多个输出讯号，各个与期待值比较，以测试DUT36是否进行期待的动作。 DUT36对应于由该测试装置34供给的测试讯号而发生多个输出讯号，利用 设在DUT36的多个接脚，输出多个输出讯号。关于本发明第三实施例的测试装置34，不仅可如使用先前的测试装置 的功能测试那样，将由DUT36输出的多个输出讯号的各个与期待值作比较 处理，每一个输出讯号独立进行以测试DUT36，且可就多个输出讯号间， 各个输出讯号发生变化的时序的相关性来进行测试，以求能够更高精度地
测试DUT36的良否为目的。本测试装置34含有图案发生部300、时序发生部310、波形形成部 320、驱动器330、基准时序检测部340、经过时间检测部350、比较器360、 设定部370、期待值保持部380以及识别部390。图案发生部300，依照测 试控制装置32的控制，产生应供给到DUT36的测试讯号的图案，并将发 生的测试讯号的图案输出到波形形成部320。又，图案发生部300产生资讯， 该资讯表示输出讯号的期待值，其中该输出讯号与产生的测试讯号对应， 且在该测试讯号被供给的场合时该输出讯号由DUT36输出。并且，图案发 生部300将产生的资讯输出到期待值保持部380。时序发生部310,依测试 控制装置32的控制，发生应供给DUT36测试讯号的时序，并将表示该时 序的资讯输出到波形形成部320,基准时序4企测部34,及期待值保持部380。波形形成部320，依据从图案发生部300所收取的应供给到DUT36的 该测试讯号的图案，及从时序发生部310所收取的表示应供给到DUT36的 测试讯号的时序的资讯，而形成应供给到DUT36的测试讯号的波形，并输 出到驱动器330。驱动器330，将从波形形成部320所收取的测试讯号供给 到DUT36。又，测试装置34，设有接脚卡，该接脚卡对应于DUT36上设 置的各个接脚，利用设置于每一个接脚卡的各个驱动器330，可对该些多个 接脚各别地供给互异的测试讯号。然后，DUT36对应于供给的测试讯号而 产生多个输出讯号，并将产生的输出讯号输出到基准时序检测部340、经过 时间;险测部350以及比较器360。基准时序检测部340，检测出DUT36输出的多个输出讯号之中， 一个 输出讯号发生变化的现象。例如，基准时序检测部340，在发生多个选通讯 号的同时，借由该些多个选通讯号的各个中，取得的该输出讯号的值，可 由该取得的值是否已由前次取得的值发生变化，以检测出该输出讯号是否 发生变化。继而，基准时序检测部340将表示该输出讯号发生变化的时序 的资讯，输出到经过时间^r测部350。经过时间4企测部350检测出在DUT36输出的多个输出讯号之中，一 个输出讯号与另一个输出讯号间，各个输出讯号发生变化的时序有相关性 的场合，从基准时序检测部340 4企测出一个输出讯号发生变化到另一个输 出讯号发生变化为止的经过时间。例如，在基准时序检测部340检测出一 个输出讯号发生变化的场合，该经过时间检测部350产生多个选通讯号， 同时借由该些选通讯号的各个中，取得该一个输出讯号的值，检测取得的 值与前次取得的值的变化的时序。接着，该经过时间检测部350，检测出由 基准时序检测部340检测到该一个输出讯号发生变化，到该另一个输出讯 号的值发生变化为止的时间以作为经过时间。然后，该经过时间检测部350， 将表示已检测的经过时间的资讯输出到识别部390。该比较器360，将
DUT36输出的各个输出讯号与基准电压比较，并将表示此比较结果的逻辑 值输出到识别部390。在DUT36输出的多个输出讯号之中， 一个输出讯号与另 一个输出讯号 间，各个输出讯号发生变化的时间有相关性的场合，例如依据测试控制装 置32的控制，设定部370预先设定由该一个输出讯号变化到该另一个输出 讯号发生变化的最小时间。然后，设定部370将表示设定的最小时间的资 讯输出到识别部390。该期待值保持部380，依据从图案发生部300所收取 的表示期待值的资讯，及由时序发生部310收取的应供给到DUT36的测试 讯号的时序，以产生一种输出讯号的期待值，并预先保存该已产生的期待 值，其中该输出讯号为DUT36对应于该测试讯号而输出的。识别部390，依据从经过时间检测部350所收取的经过时间、及从比较 器360所收取的比较结果，识别作为DUT36的电子元件的良否。具体的说， 在从经过时间;险测部350所收取的经过时间，比设定部370所收取的最小 时间还短的场合，识别部390识别DUT36为不良产品。又，在从比较器360 所收取的表示输出讯号与基准电压的比较结果的逻辑值，与在期待值保持 部380所保存的期待值不一致的场合，识别部390识别DUT36为不良产品。 然后，识别部390将关于DUT36的良否的识别结果输出到测试控制装置32, 并向使用者提示。关于本发明第三实施例的测试装置34,在电子元件输出的多个输出讯 号间，各个输出讯号发生变化的时序有相关性的场合，能够依据该相关性 来测试该电子元件。因此，在进行先前的功能测试的场合，即使在预定时 序的各输出讯号的值与期待值一致的情况下，仍有各输出讯号不能满足预 定的相关性。亦即，在由一个输出讯号发生变化到另一个输出讯号发生变 化为止的时间，比预定的最小时间更短的场合，可识别该电子元件为不良 产品。相反地，进行先前的功能测试的场合，在预定的时序的各个输出讯 号的值与期待值即使不一致时，亦有因各输出讯号发生变化的时序一样地 进行变位，在各个输出讯号能够满足预定的相关性的情况下，能识别该电 子元件为良品。如上所述，借由测试装置34，与只进行先前的功能测试的 测试装置相比，能以更高的精度且更弹性地进行电子元件的测试。又，对于从作为DUT36的电子元件接收上述输出讯号而发生动作的其 他电子元件，借由设定部370而设定的最小时间为 一个输出讯号的建立 时间，或另一个输出讯号的保持时间的任一项。图6绘示关于使用本发明第三实施例的测试装置34的电子元件的测试 方法的处理流程的一例的流程图。首先，设定部370预先设定DUT36输 出的多个输出讯号之中，由 一个输出讯号发生变化到另 一个输出讯号发生 变化为止的最小时间(SllOO)。接着，基准时序检测部340，在DUT36对应于测试讯号而输出的多个输出讯号之中，取得一个输出讯号(SlllO)。在此，基准时序检测部340，判定取得的该输出讯号的值，与上次取得的值 有否发生变化(S1120)。在该输出讯号的值未变化的场合(S1120,否)， 基准时序检测部340返回处理步骤S1110,再度进行取得一个输出讯号。另 一方面，当该输出讯号的值发生变化的场合(S1120,是)，基准时序检测 部340检测出该变化时序以作为基准时序(S1130)。其次，经过时间;险测部350,在DUT36对应于测试讯号而输出的多个 输出讯号中，取得另一个输出讯号(S1140)。在此，经过时间检测部350， 判定取得的另一个输出讯号的值，是否与上次取得的值有否变化(S1150)。 在另一个输出讯号的值未变化的场合(SU50，否)，该经过时间;险测部350 返回处理步骤S1140,再度进行取得另一个输出讯号。另一方面，在另一个 输出讯号发生变化的场合(S1150，是)，该经过时间检测部350检测出由 基准时序到另一个输出讯号的值发生变化的时序为止的经过时间(S1160)。 其次，识别部390判定检测的经过时间是否短于设定的最小时间(S1170)。 在该经过时间不短于最小时间的场合(S1170，否)，识别部390识别DUT36 的电子元件为良品(SU80)。另一方面，在该经过时间短于最小时间的场 合(S1170，是)，识别部390识别DUT36的电子元件为不良产品(S1190)。本发明第三实施例的测试方法，为在电子元件输出的多个输出讯号间， 各个输出讯号发生变化的时序有相关性的场合，依据该相关性来测试该电 子元件。借此，能够以更高精度、更弹性地测试该电子元件是否发生所期 待的动作。又，借由本图6所示的处理的流程进行电子元件的测试，能够 更高精度、更弹性地筛选且生产该执行所期待的动作的电子元件。图7绘示关于本发明第四实施例的测试模拟系统40的功能构造的一例 的方块图。该测试模拟系统40包含测试模拟控制部42、测试模拟器44 以及元件模拟器46。测试模拟器44,为用软体模拟在图5及图6说明的本 发明第三实施例的测试装置34的动作。具体地说，测试模拟器44，为对模 拟电子元件的动作的元件模拟器46供给上述测试讯号，并将从元件模拟器 46对应于测试讯号而输出的多个输出讯号，各个与期待值比较，以测试该 电子元件是否进行所期待的动作。测试装置44包含图案发生部300、时序发生部310、波形形成部320、 驱动器330、基准时序检测部340、经过时间检测部350、比较器360、设 定部370、期待值保持部380以及识别部390。本图所示的测试模拟器44 所有的各构件，与图5所示的测试装置34的构件中附加同一符号的各构件 有同样的功能，故省略其说明。但在测试模拟器44中的各构件，系用软体 模拟测试装置34的对应的构件的动作。又，在测试模拟器44中用测试模 拟控制部42代替测试控制装置32来控制测试动作，且元件模拟器46代替 作为该电子元件实物的DUT36，而借由软体来模拟该电子元件，以进行该 电子元件的测试。关于本发明第四实施例的测试模拟器44,为在模拟电子元件的元件模 拟器输出的多个输出讯号间，各个输出讯号发生变化的时序有相关性的场 合，可依据其相关性来测试该电子元件。因此，与先前的只做功能测试的 测试装置的测试模拟器相比，能够更高精度、更弹性地进行电子元件的模 拟测i式。图8绘示关于本发明第五实施例的测试模拟系统50的功能构造的一例 的方块图。本测试模拟系统50包含测试模拟控制部52、测试模拟器54 以及元件模拟器56。该测试模拟器54，为用软体来模拟测试电子元件的测 试装置的动作。具体的说，测试模拟器54，为对模拟电子元件的动作的元 件模拟器56供给多个测试讯号，同时将由该元件模拟器56对应于该些测 试讯号而输出的多个输出讯号，各个与期待值比较，以测试是否能够正确 测试该电子元件。亦即，测试;漠拟器54测试于测试电子元件的场合用的 测试讯号，即，测试程序。元件模拟器56,以软体模拟该设有多个接脚的 电子元件的动作，对应于由该测试模拟器54各别供给该些多个接脚的多个 测试讯号，各别输出多个输出讯号。关于本发明第五实施例的测试模拟器54以更高精度地进行测试作为目 的，借由供给至元件模拟器56的多个测试讯号间，各个测试讯号的变化时 序的相关性来进行测试，以测试是否能够使用该些测试讯号，以正确地检 测该元件模拟器56所模拟的电子元件。又，就本例中说明的变化时序有相关性的多个测试讯号而言，例如对 于模拟DRAM的元件模拟器56，以指定地址用的讯号作为测试讯号而供给 的场合中，上述多个测试讯号为地址讯号、及对表示该地址讯号的地址值 作为列地址而输入的时序予以表示出的RAS讯号或对表示该地址讯号的地 址值作为行地址而输入的时序予以表示出的CAS讯号。测试模拟器54包含图案发生部500、时序发生部505、波形形成部 510、基准时序取得部515、设定部520、测试讯号检测部525、通知部530、 驱动器535、比较器540、期待值保持部545以及识别部550。该图案发生 部500,依据测试模拟控制部52的控制，发生供给到元件模拟器56的测试 讯号的图案，将发生的测试讯号的图案输出到波形形成部510。在此，图案 发生部500，可对应于在元件模拟器56所模拟的电子元件上设置的多个接 脚，以发生多个测试讯号。又，图案发生部500对应于发生的测试讯号的 图案而产生于该测试讯号被供给的场合，表示该元件模拟器56所输出的 输出讯号的期待值的资讯。并且，图案发生部500将产生的资讯输出到期 待值保持部545。
时序发生部505，依据测试模拟控制部52的控制，发生应对该元件模 拟器56供给测试讯号时的时序，并将表示该时序的资讯输出到波形形成部 510、基准时序取得部515及期待值保持部545。波形形成部510，依据从 图案发生部500所取入的应供给到元件模拟器56的测试讯号的图案，及由 时序发生部505所取入的表示应供给到元件模拟器56的测试讯号的时序的 资讯，以形成应供给至元件模拟器56的该些多个测试讯号的波形，并输出 到基准时序取得部515及测试讯号检测部525。基准时序取得部515，依据由波形形成部510输入的多个测试讯号，取 得在该些测试讯号之中， 一个测试讯号发生变化的时刻。例如，基准时序 取得部515，在预先设定的时间间隔，重复取得该一个测试讯号的值，依取 得的值相对于前次取得的值是否有变化，以检测出该测试讯号已发生变化 的现象，并取得该检测的时刻。然后，基准时序取得部515，将表示该已取 得的时刻的资讯，输出到测试讯号检测部525。设定部520，在波形形成部510输出的多个测试讯号中， 一个测试讯号 与另 一个测试讯号间，各个测试讯号的变化时序有相关性的场合，例如可 依据测试模拟控制部52的控制，来预先设定由该一个测试讯号发生变化到 该另一个测试讯号发生变化为止的最小时间。然后，设定部520将表示已 设定的最小时间的资讯输出到测试讯号检测部525。测试讯号检测部525，由波形形成部510取得应供给到元件模拟器56 的测试讯号。然后，测试讯号检测部525，在基准时序取得部515所取得的 一个测试讯号发生变化的时刻起，在经过设定部520所设定的最小时间后 的时序，；险测出另一个测试讯号的值。其后，测试讯号才企测部525将检测 出的测试讯号的值输出到通知部530。又，测试讯号检测部525，将自波形 形成部510所收取的各个测试讯号，输出到驱动器535。通知部530，依据测试讯号检测部525检测出的另 一个测试讯号的值， 来判断该测试4莫拟器54是否可用现在的测试讯号，正确地测试该元件模拟 器56正在4莫拟的电子元件。具体的"i兌，通知部530，在多个测试讯号中一 个测试讯号与另一个测试讯号间，各个测试讯号发生变化的时序有相关性 的场合，由测试讯号检测部525检测出的另一个测试讯号的值，与由一个 测试讯号发生变化时起至经过最小时间后预先保存的值以作为另一个测试 讯号应取得的值不一致时，判断用现在的测试讯号不能正确测试电子元件， 并该将意旨通知测试模拟控制部52。此处，作为另一个测试讯号应取得的 值而预先保存的值，例如可为由图案发生部500依据测试模拟控制部52的 控制而产生，并在通知部530中预先保存的值。驱动器535，将自测试讯号检测部525输入的多个测试讯号，供给到元 件模拟器56。然后，元件模拟器56对应于供给的多个测试讯号而产生上述
的输出讯号，并将产生的输出讯号输出到比较器540。比较器540将由元件 模拟器56所接收的输出讯号来与基准电压相比较，且将作为比较结果的逻 辑值输出到识别部550。又，元件模拟器56将输出讯号不用类比值输出而 用逻辑值输出的场合，则比较器540不进行前述的比较处理而是将收取的 逻辑值照原样输出到识别部550。期待值保值部545，依据从图案发生部500所收取的表示期待值的资讯， 及由时序发生部505所收取的应将测试讯号供给至元件模拟器56时的时 序，使元件模拟器56产生对应于该测试讯号而输出的输出讯号的期待值， 并预先保持该已产生的期待值。识别部550依据从比较器540所收取的比 较结果，来识别元件模拟器56所模拟的电子元件的良否，或测试程序的良 否。具体的说，在从比较器540所收取的表示该输出讯号与基准电压的比 较结果的逻辑值与期待值保持部545中保持的期待值不一致的场合，则识 别部550识别该电子元件或测试程序为不良品。其后，识别部550，将对电 子元件或测试程序的良否的识别结果，输出到测试模拟控制部52,并提示 使用者等。关于本发明第五实施例的测试模拟器54，在供给至模拟电子元件的元 件模拟器56的多个测试讯号之间，各个测试讯号发生变化的时序有相关性 的场合，能依据该相关性来检测是否可用该测试讯号以正确地测试该电子 元件。如此，在预定的时序的各个测试讯号的值即使与应取得的值不一致 的场合，仍因各个测试讯号不能满足预定的相关性，即，由一个测试讯号 发生变化起至经过预先设定的最小时间的时序的另 一个测试讯号的值，与 应取得的值不同的场合，可判断为用该些测试讯号不能正确地测试该电子 元件。又，相反地，在预定的时序的各个测试讯号的值即使与应取得的值 不一致时，仍因各个测试讯号的变化时序同样地变位，则在各个测试讯号 能满足该预定的相关性的场合时，亦可判断为能够用该些测试讯号而正确 地测试该电子元件。由上所述，依据该测试模拟器54，相较于先前进行模 拟测试的测试模拟器，可以更高精度、更弹性地检测是否能够正确地进行 电子元件的测试。以上，用图8说明了用软体来模拟测试电子元件用的测试装置的动作 的测试模拟器54，但是代之以实际的测试装置，进行与上述说明的测试模 拟器54做的同样的处理亦可。具体的说，该测试装置可包含图案发生部 500、时序发生部505、波形形成部510、基准时序取得部515、设定部520、 测试讯号4全测部525、通知部530、驱动器535、比较器540、期待值保持 部545以及识别部550。此处，该测试装置含有的各构件，与本图8的测试 模拟器54中以同一符号所示的各构件有大略相等的功能。接着，测试装置 对取代元件模拟器56的实际的电子元件，供给多个测试讯号，同时由该电
子元件对应于该些多个测试讯号而输出的多个输出讯号，各个与期待值比 较，以测试该电子元件是否进行所期待的动作。又，本测试装置，可依照代替该测试模拟控制部52的测试控制装置的控制，进行电子元件的测试。 又，该测试装置，所进行的处理与作为本图8的测试模拟器54的处理而说 明的处理相同，在供给至电子元件的多个测试讯号间，各个测试讯号发生 变化的时序有相关性的场合，能够依据该相关性来^f全测是否能用该测试 讯号来正确测试该电子元件。图9绘示关于本发明第五实施例的测试模拟器54中所使用的测试讯号 的一例。本图9所示的测试讯号之中，测试讯号A为在图8说明的一个测 试讯号。又，测试讯号B为在图8说明的另一个测试讯号。此处，测试讯 号A与测试讯号B，各个的变化时序有相关性。例如，测试讯号B在测试 讯号A变化之后的预定的最小时间经过为止不会变化。又，在本图中，设 测试讯号A的变化时序为时序Tl，再设由时序Tl起经过设定部520设定 的最小时间后的时序为时序T2。又，在时序T2，应取得的测试讯号B的值 为L逻辑。因此，在时序T2，测试讯号B显示H逻辑的场合，通知部530 判断为，用本图9所示的测试讯号，不能正确地测试该元件模拟器56所模 拟的电子元件。此处，最小时间可为一个测试讯号即测试讯号A的建立时间，或为另 一个测试讯号即测试讯号B的保持时间，的任一项。具体的例为用测试模 拟器54对模拟DRAM的元件模拟器56，供给地址讯号、及该地址讯号所 表示的地址值作为列地址而输入的时序予以显示的RAS讯号以作为测试讯 号的场合来说明。此场合，测试讯号A为地址讯号，测试讯号B为RAS 讯号时，最小时间可以是测试讯号A的建立时间。又，以测试讯号A为RAS 讯号，测试讯号B为地址讯号的场合时，最小时间可为对元件^^拟器56所 模拟的电子元件的测试讯号B的保持时间。由上所述，可判断在RAS讯号 发生变化的时序，对元件模拟器56所模拟的电子元件，是否确实读入地址 讯号，即，能够判断是否可用该些测试讯号来正确测试该电子元件。图10绘示使用本发明第五实施例的测试模拟系统50进行电子元件的 测试模拟方法，及生产方法的处理流程的一例的流程图。首先，在多数的 测试讯号之中，设定部520设定由一个测试讯号发生变化到另一个测试讯 号发生变化为止的最小时间(S1200)。其次，基准时序取得部515，在多数 的测试讯号中，检测出该一个测试讯号的值(S1205 )。此处，基准时序取 得部515，判定已检测出的该测试讯号的值，是否已由上次取得的值发生变 化(S1210)。在该测试讯号的值没有变化的场合(S1210，否)，基准时序 取得部515回到S1205的处理，再度检测出该测试讯号的值。另 一方面， 在该测试讯号的值发生变化的场合(S1210，是)，基准时序取得部515，取 得已发生变化的时刻(S1215X接着，测试讯号检测部525,由该一个测试讯号的值发生变化的时刻起 在经过设定的最小时间的时序，检测出另一个测试讯号的值(S1220)。其 次，通知部530判断已检测出的另一个测试讯号的值，是否与应该取得的 值一致(S1225 )。在判定另一个测试讯号的值，与应该取得的值不一致的 场合(S1225，否)，则通知部530判定该些测试讯号不能正确测试该元件 模拟器56所模拟的电子元件，并通知该意旨(S1230)。接着，测试模拟控 制部52，将从通知部530所接受的通知内容提示给使用者等，由使用者修 正该测试讯号，再储存修正过的测试讯号(S1235 )。然后，测试模拟系统 50，回到S1205的处理，再度重复进行基准时序取得部515的一个测试讯 号发生变化的时刻的取得的处理，及在测试讯号检测部525的另一个测试 讯号的值的检测的处理。另一方面，在判断另一个测试讯号的值，与应取得的值一致时(S1225， 是)，则用实际的测试装置来取代该测试模拟器54,使用该测试讯号的图案， 来测试该元件模拟器56所模拟的电子元件的实物(S1240.)。然后，该测试 装置判定向电子元件的实物供给测试讯号时由该电子元件取得的输出讯 号的值，与对应于该测试讯号的图案而发生的该输出讯号的期待值是否一 致(S1245 )。在输出讯号的值与期待值一致的场合(S1245,是)，则该测 试装置识别该电子元件为良品(S1250)。另一方面，输出讯号的值与期待 值不一致的场合(S1245,否)，则该测试装置识别该电子元件为不良品 (S1255 )。依照本图10所示由S1200到S1235为止的各处理流程的测试模拟方法， 在多个测试讯号间，各个测试讯号发生变化的时序有相关性的场合，可依 据其相关性来^S正该测试讯号，以便判断是否可使用该测试信号来正确地 测试该电子元件。又，即^f吏在判断为不能正确测试该电子元件的场合，仍 能重复地进行该测试讯号的图案的修正，以及该图案的再验证，借此，使 用者能够高精度地产生可正确地测试该电子元件的测试讯号的图案。又， 依照本图IO所示的电子元件的模拟测试及实物测试的处理流程，能够以更 高精度、更弹性地筛选出该电子元件的良否，以生产电子元件。图11绘示本发明第六实施例的测试模拟系统60的功能构造的一例的 方块图。测试模拟系统60包括测试模拟控制部62、测试模拟器64以及 元件模拟器66。测试模拟器64包含图案发生部500、时序发生部505、 波形形成部510、基准时序取得部515、设定部620、经过时间4企测部625、 通知部630、驱动器535、比较器540、期待值保持部545以及识别部550。 本图所示的测试模拟器64含有的构件中，与图8所示的测试模拟器54中 以相同符号表示的构件有大略相同的功能，故除不同点外，其余的说明省 略。但是，在测试模拟器64中，用测试模拟控制部62来取代测试模拟控 制部52的控制，同时亦用元件模拟器66来取代元件模拟器56以进行测试。设定部620，在波形形成部510输出的多个测试讯号的中， 一个测试讯 号与另一个测试讯号间，各个测试讯号的变化时序有相关性的场合，例如， 依据测试模拟控制部62的控制来预先设定由一个测试讯号发生变化到另 一个测试讯号发生变化为止的最小时间。然后，设定部620,将表示已设定 的最小时间的资讯输出到通知部630。经过时间;险测部625,从波形形成部510取入应供给到元件模拟器66 的测试讯号。然后，经过时间检测部625检测出由基准时序取得部515取 得的从一个测试讯号发生变化的时刻到另一个测试讯号发生变化为止的经 过时间。例如，经过时间检测部625，由该测试讯号发生变化的时刻起，在 预定的时间间隔，重复取入另一个测试讯号的值，依据所取入的值是否已 由上次取入的值发生变化，以检测出另一个测试讯号已发生了变化。其次， 经过时间检测部625检测出由该一测试讯号发生变化的时刻起到另一个 测试讯号发生变化为止所经过的时间以作为经过时间。然后，经过时间冲全 测部625 ，将表示已检测的经过时间用的资讯输出到通知部630。通知部630，依据从经过时间检测部625所取入的经过时间来判断测 试模拟器64借由使用现在的测试讯号，是否能够正确地测试由元件模拟器 66所模拟的电子元件。具体的说，通知部630在该经过时间较从设定部620 取入的最小时间还短时，则判断用现在的测试讯号不能正确测试该电子 元件，并将该意旨通知该测试模拟控制部62。借由本发明第六实施例的测试模拟器64，在供给到模拟电子元件的元 件模拟器66的多数测试讯号间，各个测试讯号的变化时序有相关性的场合， 可依据该相关性来测试是否能用该测试讯号来正确测试该电子元件。由 此，即使在预定的时序的各测试讯号的值，与应该取得的值一致的场合， 仍有各个测试讯号不能满足预定的相关性的情况，即，由一个测试讯号发 生变化到另 一个测试讯号发生变化为止的经过时间，较预先设定的最小时 间还短的场合，亦能够判断使用该些测试讯号不能正确测试该电子元件。 又，相反地，在预订的时序的各个测试讯号的值，即使与应取得的值不一 致的场合，亦有因各个测试讯号的变化时序的变位相同，使各个测试讯号 能满足预定的相关性的场合，此时亦能够判断使用该些测试讯号能正确 测试该电子元件。如上所述，使用测试模拟器64，相较于先前进行模拟测 试的测试模拟器，能够更高精度，更弹性地测试是否能正确测试该电子元 件。又，由设定部620设定的最小时间，可为一个测试讯号的建立时间， 或另 一个测试讯号的保持时间的任一方。
以上，用图11说明了利用软体来模拟测试该电子元件的测试装置的动作的测试模拟器64，但用实际的测试装置来取代该测试模拟器64以进行如 以上说明的与测试模拟器64中所进行的处理相同的处理亦可。具体的说， 该测试装置包含图案发生部500、时序发生部505、波形形成部510、基 准时序取得部515、 i殳定部620、经过时间;险测部625、通知部630、驱动 部535、比较器540、期待值保持部545以及识别部550。此处该测试装置 含有的各构件，与图11所示的测试模拟器64以同一符号所表示的各构件， 其功能几乎相同。该测试装置对取代该元件模拟器66的实际电子元件供给 多个测试讯号，并将由该电子元件对应于该些多个测试讯号而输出的多个 输出讯号，各个与期待值比较，以测试该电子元件是否进行所期待的动作。 又，该测试装置，用测试控制装置来代替该测试模拟控制部62,以进行电 子元件的测试。继而，该测试装置，进行如上说明的与图11的测试模拟器 64同样的处理，在供给至电子元件的多数测试讯号间，各个测试讯号的变 化时序有相关性的场合，可利用其相关性来试验是否能够用该些测试讯 号来正确测试该电子元件。图12绘示使用本发明第六实施例的测试模拟系统60的电子元件的测 试模拟方法及生产方法的处理流程的一例的流程图。首先，在多数的测试 讯号之中，设定部620设定由一个测试讯号发生变化起到另一个测试讯号 发生变化为止的最小时间(S1300)。接着，由基准时序取得部515，在多数 的测试讯号之中，检测出该一个测试讯号的值(S1305 )。在此，基准时序 取得部515判定检测出的该一个测试讯号的值是否已由上次检测的值发 生变化(S1310)。在该测试讯号的值无变化的场合(S1310，否)，基准时 序取得部515返回处理步骤S1305，再度检测该一测试讯号的值。另 一方面， 在该一测试讯号的值有变化的场合(S1310，是)，基准时序取得部515取 得已发生变化的时刻(S1315)。其次，经过时间检测部625，在多数的测试讯号的中，检测出另一个测 试讯号的值(S1320)。在此，经过时间检测部625判定已检测出的另一 个测试讯号的值是否已由上次检测的值发生变化(S1325 )。在另一个测试 讯号的值无变化的场合(S1325,否)，经过时间检测部625返回S1320的 处理，再度检测该另一个测试讯号的值。另一方面，在另一个测试讯号的 值有变化的场合(S1325，是)，经过时间纟全测部625， 4全测出由该一测试讯 号的值发生变化到另一个测试讯号的值发生变化为止的经过时间(S1330)。 在此，通知部630判定该检测出的经过时间是否短于预先设定的最小时 间(S1335 )。在判定为经过时间短于最小时间的场合(S1335,是)，通知 部530判定用该些测试讯号，不能正确测试元件模拟器66所模拟的电子 元件，并通知该意旨(S1340)。其次，测试^^拟控制部62，将接收自通知
部630的通知内容提示给使用人等，让使用人进行该测试讯号的修正，且 储存修正后的测试讯号的图案(S1345 )。然后，测试模拟系统60,返回S1305 的处理，再度重复实施基准时序取得部515中取得一个测试讯号发生变化 的时刻的处理，及在经过时间检测部625中的经过时间的检测处理。另一方面，在该经过时间判定为不短于最小时间的场合(S1335,否)， 以实际的测试装置来取代测试模拟器64，使用该些测试讯号的图案，以进 行元件模拟器66所模拟的电子元件的实物的测试(S1350)。然后，测试装置 将测试讯号供给到该电子元件的实物，并判定从该电子元件所得到的输出 讯号的值，是否与对应于该测试讯号的图案而发生的该输出讯号的期待值 一致(S1355)。在输出讯号的值与期待值一致的场合(S1355,是)，测试装 置识别该电子元件为良品(S1360)。另一方面，输出讯号的值与期待值不 一致的场合(S1355,否)，测试装置识别该电子元件为不良品(S1365 )。利用图12所示的测试模拟方法的S1300到S1345为止的处理流程，在 多数的测试讯号间，各个测试讯号的变化时序有相关性的场合，可依据该 相关性来验证该测试讯号，以判断是否能用该测试讯号来正确测试该电子 元件。又，即使在判断为不能正确测试该电子元件的场合，使用人亦可重 复地进行测试讯号的图案的修正及该图案的再验证，以高精度地生成能正 确测试该电子元件的测试讯号的图案。又，依照图12所示的处理流程，以 进行电子元件的模拟测试及实物测试，借此能够更高精度且更弹性地筛选 该电子元件是否为良品，以进行电子元件的生产。图13绘示本发明第七实施例的电脑1500的硬件构造的一例的方块图。 本实施例的电脑1500包括CPU周边部分，包含经由主控制器1582而互 相连接的CPU1505、 RAM1520、图形控制器1575、与显示装置；输入输出 部分，包含经I/O控制器1584而连接至主控制器1582的通讯介面(通讯 I/F) 1530、硬盘机驱动器1540、与CD-ROM驱动器1560;以及旧有输入 输出部分，包含与I/O控制器1584连接的ROM1510、软盘机驱动器1550、 与I/O晶片1570。主控制器1582,连接RAM1520、与以高速率进出RAM1520的CPU1505 及图形控制器1575。 CPU1505，依据在ROM1510及RAM1520中储存的程 序来动作，以进行各部分的控制。图形控制器1575，取得CPU1505等在 RAM1520内设置的画面緩冲器上发生的影像资料，并在显示装置1580上 显示。亦可取代上述的方式，使图形控制器1575在其内部含有画面緩沖器， 该画面緩沖器储存CPU1505等所生成的影像资料。1/0控制器1584，连接主控制器1582、及作为比较高速的1/0装置的 通讯介面1530、石更盘机驱动器1540、 CD-ROM驱动器1560。通讯介面1530， 可通过网络而与其他装置通讯。硬盘机驱动器1540,储存电脑内的CPU1505所使用的程序及资料。CD-ROM驱动器1560,由CD-ROM1595读取程序 或资料，并经由RAM1520以提供给硬盘机驱动器1540。又，I/O控制器1584中连接着ROM1510、软盘机驱动器1550、及I/O 晶片1570中比较低速的输入输出装置。ROM1510储存着电脑1500在启动 时执行的启动(boot)程序，或与电脑1510的硬件有关的程序等。软盘机驱 动器1550，从软盘1590读取程序或资料，并经由RAM1520以提供给硬盘 机驱动器1540。 1/0晶片1570，可经由软盘机驱动器1550、或例如平行埠、 串列埠、键盘埠、滑鼠埠等以连接各种输入输出装置。经由RAM1520而提供给硬盘机驱动器1540的测试才莫拟程序由使用人 提供，并储存在软盘1590、 CD-ROM1595、或IC卡等的记录媒体中。该测 试才莫拟程序从记录^某体读出，通过RAM1520而安装在电脑1500内的石更盘 机驱动器1540中，且在CPU1505中执行。安装在电脑1500中且被执行的 测试模拟程序由CPU1505等来执行，使电脑1500形成如图1至图12所说 明的测试才莫拟器(24、 44、 54、 64)以发挥功能。以上所述的程序，也可记录在外部的存储媒体。所谓的存储媒体，除 了软盘1590、 CD-ROM1595之外，尚可用DVD或PD等光学存储媒体、 MD等的光磁存储媒体、磁带媒体、IC卡等的半导体记忆体等。又，也可 使用与专用通讯网络或网际网络连接的伺服器系统内设置的硬盘或RAM 等的存储装置以作为存储媒体，通过网际网络以提供电脑1500该些程序。虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，任 何本领域具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可做些许 的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视的权利要求书所界定的内容为 准。
权利要求
1、一种测试装置，为一种在供给电子元件测试讯号的同时，将该电子元件对应于该测试讯号而输出的多个输出讯号，各个与期待值比较，以测试该电子元件是否进行所期待的动作的测试装置，其特征在于该测试装置包括基准时序检测部，检测出一个输出讯号已发生变化；设定部，预先设定由该一个输出讯号发生变化到另一个输出讯号发生变化为止的最小时间；取入部，在该基准时序检测部检测出一个输出讯号发生变化起，在经过该最小时间的时序，取得上述的另一个输出讯号的值；以及识别部，在该取入部取得的上述的另一输出讯号的值，与在经过最小时间之后，上述的另一个输出讯号应取得的值不一致时，识别该电子元件为不良品。
2、 根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于所述的取入部包括 选通讯号发生部，由该基准时序检测部检测出一个输出讯号发生变化起，在经过该最小时间的时序，发生选通讯号；以及比较器，依据该选通讯号，取得上述的另一个输出讯号之值。
3、 根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于，其中更包括 期待值保持部，由一个输出讯号之值发生变化起，在经过该最小时间的时序，预先保持上述另一个输出讯号应取得的值，以作为期待值。
4、 根据权利要求3所述的测试装置，其特征在于所述的最小时间，对 于接受该电子元件的输出讯号而发生动作的另一电子元件，可以是该输出 讯号的建立时间，或上述另 一个输出讯号的保持时间的任一项。
5、 一种测试方法，为一种在供给电子元件测试讯号的同时，将该电子 元件对应于该测试讯号而输出的多个输出讯号，各个与期待值比较，以测 试该电子元件是否进行所期待的动作的测试方法，该测试方法包括基准时序检测步骤，检测出 一个前述输出讯号已发生变化；设定步骤，预先设定由该输出讯号发生变化到另一个输出讯号发生 变化为止的最小时间；取入步骤，由该基准时序检测步骤中检测出 一个输出讯号发生变化起， 在经过该最小时间的时序，取得上述另一个输出讯号的值；以及识别步骤，在该取入步骤中取得上述另一个输出讯号的值，与在该最 小时间经过之后，上述另一个输出讯号应取得的值不一致时，识别该电子 元件为不良品。
6、 一种电子元件的生产方法，为一种在供给电子元件测试讯号的同时，将该电子元件对应于该测试讯号而输出的多个输出讯号，各个与期待值比该电子元件的生产方法包括基准时序检测步骤，检测出一个输出讯号已发生变化；设定步骤，预先设定由该输出讯号发生变化到另一个输出讯号发生 变化为止的最小时间；取入步骤，由该基准时序检测步骤中检测出 一个输出讯号发生变化起， 在经过该最小时间的时序，取得上述另一个输出讯号的值；以及识另ij步骤，在取入步骤所取得的上述另一个输出讯号的值，与在该最 小时间经过之后，上述另一个输出讯号应取得的值不一致时，识别该电子 元件为不良品。
7、 一种测试模拟器，为一种对模拟电子元件的动作的元件模拟器供给 测试讯号，同时将该元件模拟器对应于该测试讯号而输出的多个输出讯号， 各个与期待值比较，以测试该电子元件是否执行所期待的动作的测试模拟 器，该测试模拟器包括基准时序检测部，检测出一个输出讯号已发生变化；设定部，预先设定由一个输出讯号发生变化到另一个输出讯号发生 变化为止的最小时间；取入部，在该基准时序检测部^r测出一个输出讯号发生变化起，在经 过该最小时间的时序，取得上述另一个输出讯号的值；以及识别部，在取入部已取得的另一输出讯号的值，与在经过该最小时间 之后，该另一个输出讯号应取得的值不一致时，识别该电子元件为不良品。
8、 一种测试装置，为一种在供给电子元件测试讯号的同时，将该电子 元件对应于该测试讯号而输出的多个输出讯号，各个与期待值比较，以测 试该电子元件是否执行所期待的动作的测试装置，该测试装置包括基准时序检测部，检测出 一个输出讯号已发生变化；设定部，预先设定由一个输出讯号发生变化到另一个输出讯号发生 变化为止的最小时间；经过时间检测部，检测出由基准时序检测部侦测到一个输出讯号发 生变化起到另 一个输出讯号发生变化为止的经过时间；以及识别部，在该经过时间比上述最小时间短时，识别该电子元件为不良品.
9、 一种测试方法，为一种在供给电子元件测试讯号的同时，将该电子 元件对应于该测试讯号而输出的多个输出讯号，各个与期待值比较，以测 叙该电子元件是否执行所期待的动作的测试方法，该测试方法包括基准时序检测步骤，检测出 一个输出讯号已发生变化； 设定步骤，预先设定由一个输出讯号发生变化到另一个输出讯号发生变化为止的最小时间；及经过时间检测步骤，检测出由该基准时序检测步骤中侦测到一个输 出讯号发生变化起到另 一个输出讯号发生变化为止的经过时间；以及识别步骤，在上述经过时间比上述最小时间还短时，识别该电子元件 为不良产品。
10、 一种电子元件的生产方法，为一种在供给电子元件测试讯号的同 时，将该电子元件对应于该测试讯号而输出的多个输出讯号，各个与期待 值比较，以筛选且生产该执行所期待的动作的电子元件的电子元件的生产 方法，该电子元件的生产方法包括基准时序检测步骤，检测出一个输出讯号已发生变化；设定步骤，预先设定由一个输出讯号发生变化到另一个前述输出讯 号发生变化为止的最小时间；经过时间检测步骤，检测出由该基准时序检测步骤中侦测到一个输 出讯号发生变化起，到另一个输出讯号发生变化为止的经过时间；以及识别步骤，在上述经过时间比上述最小时间还短时，识别该电子元件 为不良产品。
11、 一种测试模拟器，为一种对模拟电子元件的动作的元件模拟器供 给测试讯号，同时将该元件模拟器对应于该测试讯号而输出的多个输出讯 号，各个与期待值比较，测试该电子元件是否执行所期待的动作的测试才莫 拟器；该测试模拟器包括基准时序检测部，检测出一个输出讯号已发生变化；设定部，预先设定由一个输出讯号发生变化到另一个输出讯号发生 变化为止的最小时间；经过时间检测部，检测出由该基准时序检测部侦测到一个输出讯号 发生变化起，到另一个输出讯号发生变化为止的经过时间；以及识别部，在上述经过时间比上述最小时间还短时，识别该电子元件为 不良产品。
12、 一种测试装置，为一种在供给电子元件多个测试讯号的同时，将 该电子元件对应该些多个测试讯号而输出的多个输出讯号，各个与期待值 比较，以测试是否能够正确测试该电子元件的测试装置，该测试装置包括基准时序取得部，取得一个测试讯号发生变化的时刻；设定部，预先设定由一个测试讯号发变化到另一个测试讯号发生变化为止的最小时间；测试讯号检测部，由该基准时序取得部取得的该一个测试讯号发生变化的时序起，在经过该最小时间的时序，4企测出另一个测试讯号的值；以及通知部，在该4企测部取得的另一个测试讯号的值，与上述最小时间经 过后作为另一个测讯号应取得的值而预先储存的值不一致时，判断为不能 正确测试该电子元件，并通知该意旨。
13、 一种测试模拟器，为一种对模拟电子元件的动作的元件模拟器供 给多个测试讯号的同时，将该元件;漠拟器对应于该些多个测试讯号而输出 的多个输出讯号，各个与期待值比较，以测试是否能够正确测试该电子元 件的测试模拟器，该测试模拟器包括基准时序取得部，取得一个测试讯号发生变化的时刻；设定部，预先设定由一个测试讯号发生变化到另一个测试讯号发生 变化为止的最小时间；测试讯号检测部，由基准时序取得部取得的一个测试讯号发生变化的 时序起，在经过该最小时间的时序，检测出另一个测试讯号的值；以及通知部，在4企测部取得的另一个测试讯号的值，与该最小时间经过后作为上述另一个测试讯号应取得的值而预先储存的值不一致时，判断为不 能正确测试该电子元件，并通知该意旨。
14、 一种测试模拟方法，为一种对模拟电子元件的动作的元件模拟器 供给多个测试讯号的同时，将该元件^f莫拟器对应于该些多个测试讯号而输 出的多个输出讯号，各个与期待值比较，以测试是否能够正确测试该电子 元件的测试才莫拟方法，该测试才莫拟方法包括基准时序取得步骤，取得一个测试讯号发生变化的时刻；设定步骤，预先设定由一个测试讯号发生变化到另一个测试讯号发生变化为止的最小时间；测试讯号检测步骤，由基准时序取得步骤取得的一个测试讯号发生变化的时刻起，在经过该最小时间的时序，检测出另一个测试讯号的值；以及通知步骤，在检测步骤中取得的另一个测试讯号的值，与在该最小时 间经过后作为另一个测讯号应取得的值而预先储存的值不一致时，判断为 不能正确测试该电子元件，并通知该意旨。
15、 根据权利要求1所述的测试模拟方法，其特征在于，其中更包括 储存步骤，在通知步骤中已进行通知之后，储存着修正后的该测试讯号的 图案，在该储存步骤之后，再度执行该基准时序取得步骤、及该测试讯号检 测步骤。
16、 一种电子元件的生产方法，为一种对模拟电子元件的动作的元件 模拟器供给多个测试讯号，同时将该元件模拟器对应于该些多个测试讯号 而输出的多个输出讯号，各个与期待值比较，以测试是否能够正确测试该电子元件；并且利用该测试用的该测试讯号的图案，来测试该电子元件的法；该电子元件的生产方法包括'' ' 基准时序取得步骤，取得一个前述测试讯号发生变化的时刻； 设定步骤，预先设定由一个测试讯号发变化到另一个该测试讯号发生变化为止的最小时间；测试讯号检测步骤，由该基准时序取得步骤取得的一个测试讯号发生变化的时刻起，在经过该最小时间的时序，取得另一个测试讯号的值；通知步骤，在该检测步骤中检出的另一个测试讯号的值，与在最小时间经过后作为另一个测试讯号应取得的值而预先储存的值不一致时，判断为不能正确测试该电子元件，并通知该意旨；储存步骤，在通知步骤中已进行该通知之后，储存着修正后的该测试讯号的图案；在该储存步骤之后，再度重复实施该基准时序取得步骤，及该测试讯 号检测步骤；及实物测试步骤，在该检测步骤中检测出的另一个测试讯号的值，与经 过该最小时间后另 一个测试讯号应取得的值 一致的场合，使用该修正的测 试讯号的图案，以测试该电子元件的实物；以及识别步骤，依据该实物测试步骤，在由该电子元件取得的输出讯号的 值，与期待值一致的场合，识别该电子元件为良品。
17、 一种测试装置，为一种对^^莫拟电子元件的动作的元件模拟器供给 多个测试讯号，同时将该元件模拟器对应于该些多个测试讯号而输出的多 个输出讯号，各个与期待值比较，以测试是否能够正确测试该电子元件的 测试装置，该测试装置包括基准时序取得部，取得一个前述测试讯号发生变化的时刻；设定部，预先设定由一个测试讯号发生变化起到另一个测试讯号发 生变化为止的最小时间；经过时间检测部，检测出由该基准时序取得部取得一个测试讯号发 生变化的时刻起，到另一个测试讯号发生变化为止的经过时间；以及通知部，在上述经过时间较上述最小时间还短时，判断为不能正确测 试该电子元件，并通知该意旨。
18、 一种测试模拟器，为一种对模拟电子元件的动作的元件模拟器供 给多个测试讯号，同时将该元件模拟器对应于该些多个测试讯号而输出的 多个输出讯号，各个与期待值比较，以测试是否能够正确测试该电子元件 的测试模拟器，该测试模拟器包括 基准时序取得部，取得一个前述测试讯号发生变化的时刻；设定部，预先设定由该一个测试讯号发变化到另一个该测试讯号发生变化为止的最小时间；经过时间检测部，检测出由该基准时序取得部取得的一个测试讯号 发生变化的时刻起，到另一个测试讯号发生变化为止的经过时间；以及通知部，在上述经过时间较上述最小时间还短时，判断为不能正确测 试该电子元件，并通知该意旨。
19、 一种测试模拟方法，为一种对模拟电子元件的动作的元件模拟器 供给多个测试讯号，同时将该元件^^莫拟器对应于该些多个测试讯号而输出 的多个输出讯号，各个与期待值比较，以测试是否能够正确测试该电子元 件的测试才莫拟方法，该测试才莫拟方法包括基准时序取得步骤，取得一个测试讯号发生变化的时刻；设定步骤，预先设定由一个测试讯号发变化到另一个测试讯号发生变化为止的最小B+间；经过时间检测步骤，检测出由该基准时序取得步骤中取得的该一个测试讯号发生变化的时刻起，到另一个测试讯号发生变化为止的经过时间；以及通知步骤，在上述经过时间较上述最小时间还短时，判断为不能正确 测试该电子元件，并通知该意旨。
20、 根据权利要求19所述的测试模拟方法，其特征在于，其中更包括 储存步骤，在通知步骤中已施行上述通知后，储存着修正后的该测试讯号的图案；以及在储存步骤之后，再度实施该基准时序取得步骤，及该经过时间检测 步骤。
21、 一种电子元件的生产方法，为一种对模拟电子元件的动作的元件 模拟器供给多个测试讯号，同时将该元件模拟器对应于该些多个测试讯号 而输出的多个输出讯号，各个与期待值比较，以测试是否能够正确测试该 电子元件；并且利用该测试中所用的该测试讯号的图案，来测试该电子元产方2;该电;元件的生产方法一包括:, 、 ' ' 、基准时序取得步骤，取得一个前述测试讯号发生变化的时刻； 设定步骤，预先设定由该一个测试讯号发生变化起到另一个测试讯号发生变化为止的最小时间；经过时间检测步骤，检测出由该基准时序取得步骤中取得的一个测试讯号发生变化的时刻起到另 一个测试讯号发生变化为止的经过时间； 通知步骤，在上述经过时间4支上述最小时间还短时，判断为不能正确 测试该电子元件，并通知该意旨；储存步骤，在通知步骤中已通知该意旨后，储存着修正后的该测试讯 号的图案；在该储存步骤之后，再度重复实施该基准时序取得步骤，及该经过时 间-险测步骤；实物测试步骤，在该检测步骤中检测出的另一个测试讯号的值，与经 过该最小时间后另一个测试讯号应取得的值一致的场合，使用该已修正的 测试讯号的图案，以测试该电子元件的实物；以及识别步骤，依据该实物测试步骤，在由该电子元件取得的输出讯号的 值，与期待值一致的场合，识别该电子元件为良品。
全文摘要
一种测试装置，利用测试由电子元件输出的多个输出讯号，各个发生变化的时序的相关性，而能以更高的精度来识别电子元件的良否。此测试装置将测试信号供给至电子元件，并将该电子元件输出的多个输出讯号来与期待值比较以测试电子元件。此测试装置包括基准时序检测部，检测出一个输出讯号发生变化的现象；设定部，预先设定由一个输出讯号发生变化到另一个输出讯号发生变化为止的最小时间；取入部，由检测出一个输出讯号发生变化时起，在已经过该最小时间的时序，取得另一个输出讯号之的值；以及识别部，取入部取得的该另一个输出讯号的值，与经过最小时间后的另一个输出讯号所应该取得的值不一致时，识别该电子元件为不良品。
文档编号G01R31/28GK101133340SQ20068000717
公开日2008年2月27日 申请日期2006年3月7日 优先权日2005年3月7日
发明者关口宏之, 堀光男, 多田秀树, 片冈孝浩 申请人:爱德万测试株式会社