液晶阵列检查装置以及液晶阵列检查装置的拍摄图像获取方法

液晶阵列检查装置以及液晶阵列检查装置的拍摄图像获取方法
【专利摘要】本发明消除基于移动台的移动分辨率产生的拍摄范围的累积误差，使液晶阵列检查中的缺陷检测的位置精度提高。本发明的液晶阵列检查装置对液晶基板施加规定电压的检查信号来驱动阵列，基于对所述液晶基板照射电子束等带电粒子获得的二次电子等信号来拍摄液晶基板，基于通过拍摄获得的拍摄图像来检查液晶基板的阵列，且所述液晶阵列检查装置检测使液晶基板移动的移动部的移动变动，基于该移动变动而修正移动部的移动速度及各拍摄时的移动间隔，并修正累积误差，所述累积误差是基于伴随移动间隔的修正的移动分辨率产生的误差量累积而产生的。累积误差的修正是通过在多次的拍摄中每当规定的拍摄次数将移动间隔修正仅移动部的移动分辨率的量而进行。
【专利说明】液晶阵列检查装置以及液晶阵列检查装置的拍摄图像获取方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种使用对液晶基板上进行拍摄而获得的拍摄图像来检查液晶阵列(array)的液晶阵列检查装置，尤其是涉及拍摄图像的获取。
【背景技术】
[0002]在液晶阵列检查装置中，可使用扫描图像，该扫描图像是将电子束(eIectronbeam)或离子束(ion beam)等带电粒子束在基板上二维地扫描而获得的。
[0003]例如，在用于薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)显示装置的TFT阵列基板的制造步骤中，检查所制造的TFT阵列基板要进行是否会正确地驱动。在该TFT阵列基板检查中，使用例如电子束作为带电粒子束对TFT阵列基板进行扫描，并基于通过扫描而获取的拍摄图像来进行检查。(专利文献1、2)
[0004]作为阵列检查装置的示例，已知有如下的阵列检查装置，即，例如对检查对象的液晶基板的阵列施加检查信号，将电子束或离子束等带电粒子束在基板上二维地扫描，基于通过粒子束扫描而获得的拍摄图像来进行基板检查。在阵列检查中，利用光电倍增管(photomultiplier)等将通过电子束的照射而发射出的二次电子转换为模拟(analog)信号而进行检测，基于该检测信号的信号强度来判定阵列缺陷。
[0005]阵列检查是检测通过扫描而获得的拍摄图像上的像素(pixel)位置，并基于所检测的像素位置上的拍摄图像的信号强度而进行。像素位置的检测是通过如下方式进行:对拍摄图像进行图像处理而检测像素坐标，配合设定在液晶基板的像素配置排列所检测出的像素坐标。
[0006]当在拍摄图像上检测像素位置时，存在拍摄图像上的像素位置因载置液晶基板的台(stage)的移动误差等而产生位置偏差的情况。如此一来，如果基于产生位置偏差的拍摄图像来检测像素位置，有时会产生如下不良情况:相对于基板而设定的像素位置与检测出的像素位置之间产生偏差，而相对于所设定的像素位置不同的像素建立对应关系。所检测出的像素位置的位置偏差成为使缺陷检测的精度降低的因素，且会产生将缺陷像素判定为正常、或将正常像素判定为缺陷等错误判定。
[0007]因此，为了消除这种不良情况以提高缺陷的检测精度，而对拍摄图像要求较高的位置精度。
[0008]【背景技术】文献
[0009]专利文献
[0010]专利文献1:日本专利特开2004-271516号公报
[0011]专利文献2:日本专利特开2004-309488号公报

【发明内容】

[0012][发明所要解决的问题][0013]液晶基板的拍摄图像是通过使载置着液晶基板的移动台移动并且利用带电粒子对液晶基板上进行扫描而进行。在通过将带电粒子在基板上扫描而获取液晶基板的拍摄图像的情况下，由一次扫描的拍摄动作所获取的拍摄范围有限。
[0014]因此，为了针对液晶基板的整体获取拍摄图像，必须通过重复拍摄动作而获取各拍摄范围的拍摄图像，并将这些多个拍摄图像相连。
[0015]如此一来，在要通过将多个拍摄图像相连而针对液晶基板的整体获取拍摄图像时，要求各拍摄图像不存在位置偏差。
[0016]然而，因为通常情况下台动作等机械动作包含误差，所以因该误差而导致拍摄图像产生位置偏差。作为由机械动作所引起的位置偏差的因素，有驱动移动台的滚珠丝杠(ball screw)等驱动机构的膨胀。为了抑制这种拍摄图像的位置偏差的产生，必须修正拍摄动作的位置偏差。
[0017] 为了修正该拍摄动作的位置偏差，而考虑在移动台上的预先决定的位置上设置标记(mark)，在移动台的动作中利用固定在检查装置侧的相机等摄影单元识别该标记，将在摄影图像上被检测出的标记位置与标记的基准位置进行比较，由此检测位置偏差并基于所检测出的位置偏差而修正拍摄动作。
[0018]作为该拍摄动作的修正，考虑基于根据标记的识别求出的位置偏差而算出移动台的实际移动距离，并使用算出的实际移动间隔而修正移动台的移动速度或拍摄范围。
[0019]图11、图12是用以对通过修正移动台的移动速度或拍摄范围而进行的位置偏差修正进行说明的图。
[0020]图11表不移动台未产生位置偏差的情况的不例，图12表不移动台产生位置偏差的情况的示例。
[0021]在图11中，在移动台未产生位置偏差的情况下，标记的设定位置(图11 (a))与由固定相机进行摄影而检测出的标记的位置(图11 (b))之间未产生位置偏差。在该情况下，进行各拍摄动作的台位置的移动间隔为固定的Ltl (图11 (C))。拍摄动作是基于该固定的移动间隔Lci而产生拍摄触发(trigger)(图11 (d))，并基于各拍摄触发进行拍摄。此外，拍摄触发可以在对移动台的移动量进行监控且该移动量成为移动间隔Ltl的时间点产生。各拍摄的拍摄徂围是对应于移动台的移动间隔L。而决定(图11 (e)),通过以该拍摄徂围进打拍摄而犾取拍摄图像(图11 (f))。
[0022]在移动台不产生位置偏差的情况下，因为多个拍摄图像之间不产生位置偏差，所以可以通过将各拍摄图像相连而获取基板的整体的拍摄图像。
[0023]在图12中，在移动台产生位置偏差的情况下，在标记的设定位置(图12 (a))与由固定相机进行摄影而检测出的标记的位置(图12(b))之间检测到位置偏差Al。该位置偏差Al表示例如从移动台的端部等基准位置到标记为止的距离之间产生的位置偏差量。
[0024]基于该位置偏差Λ I而修正移动台的移动速度并且修正拍摄范围。通过拍摄范围的修正而将进行各拍摄动作的台位置的移动间隔修正为Lc (图12 (C))。拍摄动作是基于修正后的修正移动间隔Lc而产生拍摄触发(图12(d))，并基于各拍摄触发进行拍摄。此外，拍摄触发可以在对移动台的移动量进行监控且该移动量成为修正移动间隔Lc的时间点产生。各拍摄的拍摄范围是对应于移动台的修正移动间隔Lc而决定(图12(e))，通过将以各拍摄范围所获得的拍摄图像相连而获取整个拍摄图像(图12 (f))。[0025] 本申请的
【发明者】发现，存在即便通过如上所述那样修正移动台的移动速度或拍摄范围，也无法充分地修正移动台的位置偏差的情况，以及作为该情况的因素，有因修正量与移动台的移动分辨率的偏差而产生的修正误差的累积。
[0026]移动台的位置修正是以移动分辨率为最小单位而进行。因此，只要位置偏差的修正量为移动分辨率的整数倍便可准确地将修正量修正，但在位置偏差的修正量并非移动分辨率的整数倍的情况下，在各拍摄范围内会产生修正误差，且各拍摄范围的修正误差在整个拍摄范围内会累积而产生累积误差。
[0027]以该移动台的驱动机构的移动分辨率为因素的位置偏差的累积误差是即便仅修正移动台的移动速度或拍摄范围也无法被修正的位置误差。
[0028]图13、图14是用以对累积误差进行说明的图，图13表不正累积误差的不例，图14表不负累积误差的不例。
[0029]在图13、图14中，通过标记的设定位置(图13 (a)、图14 (a))与由固定相机进行摄影而检测出的标记的位置(图13 (b)、图14 (b))之间的位置偏差Al而检测移动台的位置偏差。基于该位置偏差Al而修正移动台的移动速度并且修正拍摄范围。在拍摄范围的修正中，移动台可修正的移动间隔的修正量为移动台的移动分辨率s的整数倍N。
[0030]通过计算获得的修正后的移动间隔相对于Lc，实际的移动台的移动间隔基于移动分辨率而产生dL的误差。图13 (c)表示实际的移动台的修正移动间隔Lc+通过计算获得的修正后的移动间隔与Lc比较亦较长的情况，图14 (c)表示实际的移动台的修正移动间隔Lc—通过计算获得的修正后的移动间隔与Lc比较亦较短的情况。
[0031]拍摄动作是基于修正后的修正移动间隔Lc+、Lc_而产生拍摄触发(图13(d)、图14(d))，并基于各拍摄触发进行拍摄。此外，拍摄触发可以在对移动台的移动量进行监控且该移动量成为修正移动间隔Lc+、Lc-的时间点产生。各拍摄的拍摄范围是对应于移动台的修正移动间隔Lc+、Lc_而决定(图13 (e)、图14 (e))，通过将以各拍摄范围所获得的拍摄图像相连而获取整个拍摄图像(图13 (f)、图14 (f))。
[0032]将各拍摄图像相连而获得的整个拍摄图像会具有在各拍摄图像中产生的误差量dl累积而成的累积误差，在图13所示的情况下整个拍摄图像与目标的拍摄范围比较长出仅累积误差的量，在图14所示的情况下整个拍摄图像与目标的拍摄范围比较短了仅累积
误差的量。
[0033]图15是用以对累积误差进行说明的图。图15 (a)表示不存在移动台的移动机构的累积误差的情况，图15 (b)表示产生正累积误差的情况，图15 (c)表示产生负累积误差的情况。
[0034]在图15 (a)的不存在移动台的移动机构的膨胀量的情况下，通过各拍摄触发进行拍摄的拍摄范围为U，整个拍摄范围成为M.U。此外，M表示用以获取整个拍摄范围的拍摄次数。
[0035]在图15 (b)的产生正累积误差的情况下，在各拍摄中产生的误差量dl (= Lc+ -Lc)累积而产生累积误差，在图15 (c)的产生负累积误差的情况下，在各拍摄中产生的误差量dl (= Lc - Lc_)累积而产生累积误差。
[0036]如此一来，若在相连而获得的整个拍摄图像与目标的拍摄范围之间产生累积误差的长度的偏差，那么在基于该整个拍摄图像来决定像素位置时，与实际的像素值之间会产生位置偏差，当基于具有位置偏差的像素位置进行缺陷检查时，缺陷位置会产生错误。
[0037]因此，本发明可以解决所述先前的问题点，消除基于移动台的移动分辨率而产生的拍摄范围的累积误差，从而可使液晶阵列检查中的缺陷检测的位置精度提高。
[0038][解决问题的技术手段]
[0039]本发明是一种液晶阵列检查装置，对液晶基板施加规定电压的检查信号来驱动阵列，基于对所述液晶基板照射电子束等带电粒子而获得的二次电子等信号来对液晶基板进行拍摄，基于通过所述拍摄而获得的拍摄图像来检查液晶基板的阵列，且检测使液晶基板移动的移动部的移动变动，对基于该移动变动而修正移动部的移动速度及进行各拍摄时的移动间隔进行修正，并且修正伴随移动间隔的修正基于移动分辨率而产生的误差量累积产生的累积误差。累积误差的修正是通过在多次进行的拍摄中每当规定的拍摄次数将移动间隔修正仅移动部的移动分辨率的量而进行。
[0040]移动间隔的修正例如可以通过将在整个拍摄范围内产生的累积误差除以移动分辨率而算出修正次数，并通过将所有拍摄次数除以算出的修正次数而求出进行移动间隔的修正的拍摄间隔。
[0041]本发明可以设为液晶阵列检查装置的实施方式、及液晶阵列检查方法的实施方式。
[0042]本发明的液晶阵列检查装置的实施方式是对液晶基板施加规定电压的检查信号来驱动阵列，基于对液晶基板照射带电粒子束而获得的信号来对液晶基板进行拍摄，基于通过该拍摄而获得的拍摄图像来检查液晶基板的阵列的液晶阵列检查装置，且包括移动部、拍摄部、拍摄图像形成部、变动检测部、以及拍摄修正部各部。带电粒子可以设为电子束，且将这时获得的二次电子作为检测信号进行检测。
[0043]移动部为移动液晶基板的构成要素，例如可以设为载置液晶基板并进行移动的移动台。移动台除可以设为在XY方向的二维方向上移动自如的台机构以外，也可以设为在XY方向的移动上增加Z方向的移动的三维方向上移动自如的台机构。
[0044]拍摄部为对液晶基板分割地进行拍摄的构成要素，且每当随着由移动部移动液晶基板而液晶基板移动规定的移动间隔量的距尚时开始拍摄。拍摄部每当开始拍摄时，将移动间隔量作为拍摄范围而进行拍摄，并在各拍摄动作中重复将移动间隔作为拍摄范围的拍摄动作。通过重复进行的拍摄动作而获取多个分割拍摄图像。
[0045]拍摄图像形成部将由拍摄部获取的多个分割拍摄图像相连而形成一个结合拍摄图像。
[0046]变动检测部检测移动部的移动变动。移动变动中也包含因移动部的移动机构膨胀而产生的变动部分。
[0047]拍摄修正部是基于由变动检测部检测出的移动部的移动变动的变动幅度及变动方向而修正拍摄部犾取拍摄图像时的拍摄条件。
[0048]在对本发明的液晶阵列检查装置一实施方式中，移动部包括载置液晶基板并进行移动的移动台，拍摄修正部是将决定拍摄范围的移动间隔作为拍摄条件，且基于移动部的移动变动而进行修正。
[0049]拍摄修正部包括:移动间隔修正部，对移动间隔进行修正；以及累积误差修正部，修正因由移动间隔修正部所引起的移动间隔的修正误差累积而产生的累积误差。[0050]移动间隔修正部是基于变动检测部所检测出的移动变动的变动幅度及变动方向而针对移动间隔算出修正移动间隔。累积误差修正部是将移动台的最小分辨率的大小作为修正量，并对由移动间隔修正部算出的修正移动间隔增减修正量而修正累积误差。
[0051]累积误差修正部是在每规定次拍摄时对修正移动间隔进行修正量的增减。修正量的增减量及增减次数是基于移动变动的变动幅度及变动方向而算出。
[0052]变动检测部的一实施方式包括固定在液晶阵列检查装置上的摄影单元。摄影单元对设置在移动台上的标记进行摄影，基于摄影图像中的标记图像的位置偏差而检测移动部的移动变动。
[0053]拍摄修正部除包括所述移动间隔修正部及累积误差修正部以外，也可以包括修正移动台的移动速度的速度修正部。速度修正部是基于变动检测部所检测出的移动变动的变动幅度及变动方向而算出修正速度。
[0054]本发明的液晶阵列检查装置的特征在于拍摄修正部中包括累积误差修正部，通过将移动台的最小分辨率的大小作为修正量，并对由移动间隔修正部算出的修正移动间隔增减修正量，而修正在进行分割拍摄时，每当移动间隔修正部进行修正时所产生的误差在整个拍摄图像累积而形成的累积误差。
[0055]其次，本发明的液晶阵列检查方法的实施方式是对液晶基板施加规定电压的检查信号来驱动阵列，基于对液晶基板照射电子束等带电粒子而获得的二次电子等信号来对液晶基板进行拍摄，基于通过拍摄而获得的拍摄图像来检查液晶基板的阵列的液晶阵列检查装置的拍摄图像获取方法，且包括移动步骤、拍摄步骤、拍摄图像形成步骤、变动检测步骤、及拍摄修正步骤各步骤。
[0056]移动步骤是移动液晶基板。拍摄步骤是随着通过移动步骤移动液晶基板而每当液晶基板以规定的移动间隔移动时开始拍摄。每当开始拍摄时，将移动间隔量作为拍摄范围而进行拍摄，且获取一个分割拍摄图像。通过在各拍摄动作中重复将移动间隔作为拍摄范围的拍摄动作而获取多个分割拍摄图像。
[0057]在拍摄图像形成步骤中，将拍摄步骤中所获取的多个分割拍摄图像相连而形成一个结合拍摄图像。
[0058]变动检测步骤是检测在移动步骤中移动的液晶基板的移动变动。
[0059]拍摄修正步骤是基于在变动检测步骤中检测出的移动步骤中的液晶基板的移动变动的变动幅度及变动方向，而修正拍摄步骤获取拍摄图像时的拍摄条件。
[0060]在液晶阵列检查方法的一实施方式中，移动步骤是将液晶基板载置在移动台上而进行移动，拍摄修正步骤是将决定拍摄范围的移动间隔作为拍摄条件而修正拍摄动作。
[0061]拍摄修正步骤包括:移动间隔修正步骤，对移动间隔进行修正；以及累积误差修正步骤，修正因由移动间隔修正步骤所引起的移动间隔的修正误差累积而产生的累积误差。
[0062]移动间隔修正步骤是基于变动检测步骤所检测出的移动变动的变动幅度及变动方向而针对移动间隔算出修正移动间隔。累积误差修正步骤是将移动台的最小分辨率的大小作为修正量，并对在移动间隔修正步骤中算出的修正移动间隔增减该修正量而修正累积误差。
[0063]累积误差修正步骤是在每规定次拍摄时对修正移动间隔进行修正量的增减。修正量的增减量及增减次数可以基于移动变动的变动幅度及变动方向而算出。
[0064]变动检测步骤是利用固定在液晶阵列检查装置上的摄影单元对设置在移动台上的标记进行摄影，基于摄影图像中的标记图像的位置偏差而检测移动步骤的移动变动。
[0065]拍摄修正步骤除包括移动间隔修正步骤及累积误差修正步骤以外，也可以包括修正移动台的移动速度的速度修正步骤。速度修正步骤是基于变动检测步骤所检测出的移动变动的变动幅度及变动方向而算出修正速度并进行速度修正。
[0066][发明的效果]
[0067]根据本发明，可以消除基于移动台的移动分辨率而产生的拍摄范围的累积误差，从而使液晶基板的缺陷检测的位置精度提闻。
【专利附图】

【附图说明】
[0068]图1是用以对本发明的液晶阵列检查装置的构成例进行说明的概略框图。
[0069]图2是用以对利用本发明的液晶检查装置所进行的概略处理进行说明的流程图。
[0070]图3是用以对利用本发明的液晶检查装置所进行的概略处理进行说明的动作说明图。
[0071]图4是用以对正累积误差的修正进行说明的图。
[0072]图5是用以对负累积误差的修正进行说明的图。
[0073]图6是用以对累积误差的第一修正例进行说明的流程图。
[0074]图7是用以对累积误差的第一修正例进行说明的图。
[0075]图8是用以对累积误差的第二修正例进行说明的流程图。
[0076]图9是用以对累积误差的第二修正例进行说明的图。
[0077]图10是用以对本发明的液晶检查装置的信号处理部的概略构成例进行说明的图。
[0078]图11是用以对通过修正移动台的移动速度或拍摄范围而进行的位置偏差修正进行说明的图。
[0079]图12是用以对通过修正移动台的移动速度或拍摄范围而进行的位置偏差修正进行说明的图。
[0080]图13是用以对通过修正移动台的移动速度或拍摄范围而进行的位置偏差修正进行说明的图。
[0081]图14是用以对通过修正移动台的移动速度或拍摄范围而进行的位置偏差修正进行说明的图。
[0082]图15是用以对累积误差进行说明的比较图。
【具体实施方式】
[0083]以下，一面参照图一面对本发明的实施方式进行详细说明。
[0084]使用图1的概略说明图对本发明的液晶检查装置的概略构成进行说明，使用图2的流程图及图3的动作说明图对利用本发明的液晶检查装置所进行的概略处理进行说明。
[0085]图1是用以对本发明的液晶阵列检查装置的构成例进行说明的概略框图。此外，在图1所示的例中，示出对液晶基板照射电子束，且检测从液晶基板发射出的二次电子并根据检测强度而获取拍摄图像的构成例。
[0086]在图1中，液晶阵列检查装置I包括:移动台2，载置液晶基板100且设为在XY方向上搬送自如；电子枪3A，与移动台2隔开而配置在移动台2的上方位置；及检测器3B，检测从液晶基板100的面板101的像素(未图示)发射出的二次电子。
[0087]移动台2是由台驱动控制部4驱动而控制，电子枪3A由拍摄控制部3C控制电子束的照射及液晶基板100上的扫描。在检测器3B检测出的二次电子的检测信号由信号处理部10进行处理，且在检查部20中被用于像素的缺陷判定等检查。电子枪3A、检测器3B、及拍摄控制部3C构成拍摄部3,犾取液晶基板的拍摄图像。
[0088]拍摄控制部3C、台驱动控制部4、信号处理部10、检查部20各部的驱动动作是由控制部9而控制。而且，控制部9具有进行包含液晶阵列检查装置I整体的动作的控制的功能，且可以由进行这些控制的中央处理单元(Central Processing Unit, CPU)及存储控制CPU的程序的存储器等构成。
[0089]移动台2载置液晶基板100并且通过台驱动控制部4而在X轴方向及Y轴方向上移动自如。而且，可以通过拍摄控制部3C而使从电子枪3A照射的电子束偏向X轴方向或Y轴方向。通过台驱动控制部4及拍摄控制部3C单独或合作的动作而使电子束在液晶基板100上扫描，从而获取液晶基板100的拍摄图像。固定相机5是对设置在移动台2上的标记进行拍摄。 [0090] 图2、图3是用以对在本发明的液晶阵列检查中，算出用以在获取拍摄图像时修正移动台的位置偏差的修正量的顺序进行说明的流程图及说明图。
[0091]算出修正量的顺序是利用SI~S4的步骤求出移动台的位置偏差量AL，利用S5的步骤基于在SI~S4的步骤中求出的位置偏差Λ L而算出修正移动台的移动速度的修正速度，利用S6、S7的步骤算出对决定拍摄间隔的移动台的移动间隔L进行修正的修正移动间隔、及修正累积误差的修正动作的频率。
[0092]在S6的步骤中，基于在SI~S4的步骤中求出的位置偏差Λ L而算出对决定拍摄间隔的移动台的移动间隔L进行修正的修正移动间隔Lc。在S7的步骤中，算出为了修正累积误差所进行的修正动作的频率，该累积误差是当以在S6的步骤中算出的修正移动间隔Lc对移动间隔进行修正时，因移动台的移动分辨率而产生。
[0093]这里，对于移动台预先设定了 Vtl作为设定台速度，且预先设定了 Ltl作为决定各拍摄间隔的移动台的移动距离。由此，移动台以设定台速度Vtl进行移动，并且每当移动台移动了移动距离Ltl时产生拍摄触发，接收该拍摄触发而进行拍摄动作，从而获取与移动距离Ltl对应的拍摄范围的拍摄图像。通过重复该移动台的移动、拍摄触发的产生、及利用拍摄触发所进行的拍摄图像的获取，而获取整个拍摄范围的拍摄图像。
[0094]图3 (a)是表不拍摄动作的概略的图，一面使移动台2移动一面扫描基板100上的面板101而进行拍摄，整个拍摄范围是通过将利用多次拍摄动作而获得的多个拍摄图像相连而获取。
[0095]因此，在移动台的移动速度不存在变动，且移动台不存在位置偏差的情况下，每当移动台以移动距离Ltl的量移动时产生拍摄触发而进行拍摄动作，从而获取利用各拍摄动作获得的多个拍摄图像并将这些拍摄图像相连，由此可以获得像素中不存在位置偏差的整个拍摄图像。[0096]另一方面，在有移动台的移动速度的变动或移动台的位置偏差等误差因素的情况下，因这些误差而导致利用各拍摄动作获得的拍摄图像中包含位置偏差。如果获取这些具有位置偏差的多个拍摄图像并将这些拍摄图像相连而形成整个拍摄图像，且基于该整个拍摄图像来确定像素位置，那么像素位置会产生位置偏差，而无法决定准确的像素位置。
[0097]因此，为了检测移动台的位置偏差，而在移动台的规定位置预先设置位置偏差检测用标记，基于该标记而检测移动台的移动速度的变动或移动台的位置偏差。
[0098]在将移动台定位在例如端部位置等基准位置之后，开始移动台的移动(SI)。在开始移动台的移动之后，监控移动台的移动量。移动台的移动量可以基于例如移动台所包括的编码器(encoder)的输出、或驱动移动台的移动机构的电动机(motor)的旋转量而进行监控。
[0099]在所监控到的移动量达到预先设定的移动距离La的时间点(S2)，利用固定相机对设置在移动台上的标记进行摄影。设定移动距离La可以设为例如基准位置与标记之间的距离，且设定在可以利用固定相机对标记进行摄影的位置。利用固定在液晶阵列检查装置侧的固定相机对设置在移动台上的标记进行摄影(S3)，求出摄影图像上的标记位置与预先设定的标记位置的差。
[0100]在图3 (a)中，利用固定相机5对设置在移动台2的标记102进行摄影。图3 (b)示出利用固定相机所得的图像例。在图像例中，图像上的标记位置位于与预先决定的标记位置偏差了仅位置偏差Δ1的位置。
[0101]在移动台的移动速度或位置不存在偏差的情况下，摄影图像上的标记位置与预先设定的标记位置为同一位置。另一方面，在移动台的移动速度或位置存在偏差的情况下，摄影图像上的标记位置成为与预先设定的标记位置产生偏差的位置，该偏差量取决于移动速度或位置偏差量。
[0102]因为摄影图像上的标记位置与预先设定的标记位置的位置偏差量Al为相对于与基准位置相距的移动距离La的位置偏差量，所以算出相对于拍摄范围整体的位置偏差量AL。该位置偏差量AL可以通过例如将标记位置的位置偏差量Λ I与(整个拍摄范围的长度/移动距离La)的比相乘而求出。
[0103]此外，在整个拍摄范围的长度与移动距离La的比率为已知的情况下，可以通过以运算式或数据表的形式预先求出并存储标记位置的位置偏差量Al与相对于拍摄范围整体的位置偏差量AL的关系，将所述比率作为参数进行运算或读出而求出(S4)。
[0104]在S5的算出速度的修正量的步骤中，变动速度V是由下式表示:
[0105]V = (L0 + Δ I) / Δ t = V。十 Δ V
[0106]在所述式中，Lci为移动台的规定的移动距离，Δ I为标记位置的位置偏差量，At为移动台移动规定的移动距离Ltl所需要的时间，V0为设定台速度，Av为速度变动量。
[0107]因为移动台的速度修正可以通过削减速度变动量Λ V而进行，所以速度修正量vc能以
[0108]vc = - Δ V
[0109]表示。
[0110]接下来，在S6的步骤中，算 出对移动间隔L进行修正所得的修正移动间隔。在S4的步骤中算出的位置偏差量AL为相对于拍摄范围整体的位置偏差量。在将该位置偏差量AL分散到各拍摄图像而进行修正时，将位置偏差量AL除以M次而算出各拍摄中的修正量AL/M，以修正量Λ L/M修正各拍摄的移动间隔而算出修正移动间隔Lc。这里，M为多个拍摄图像的个数。
[0111]因此，为了获取各拍摄图像的拍摄范围，移动台所移动的修正移动间隔Lc是以
[0112]Lc = L0 + Δ L/M
[0113]表示。
[0114]这里，AL/M表示修正各拍摄范围的修正量。图3 (C)表示所设定的移动间隔L、修正移动间隔Lc与修正量AL/M的关系。
[0115]修正移动间隔Lc的修正可以通过使开始拍摄动作的拍摄触发移位仅修正量AL/M而进行(S6)。
[0116]这里，在移动台具有可以准确地移动修正量AL/M的移动分辨率的情况下，可以恰好地将移动间隔修正，然而，因为驱动移动台的驱动机构的移动分辨率存在极限，所以在修正量△ L/M并非移动分辨率的整数倍的情况下，每当进行修正时会产生修正误差。
[0117]在将移动台的移动分辨率设为s时，移动台可修正的修正量为分辨率s的整数倍即(η.S)。因此,移动台所移动的修正移动间隔的修正量AL/M是由下式表示:
[0118]Δ L/M = η.s + δ
[0119]这里，δ (<s)表示修正误差量。
[0120]因此，在各拍摄范围内，每次进行修正时会产生最大不到移动分辨率s的修正误差。因该修正误差而在拍摄范围的整体内会产生最大相当于M.s的累积误差。
[0121]此外，因为对+方向累积误差与-方向的累积误差以一拍摄范围的一半大小为边界而成为相同大小，所以累积误差最大为一拍摄范围的一半大小。
[0122]通过修正在S6中算出的修正移动间隔而消除累积误差。该累积误差的修正是通过如下方式进行，即，在多次拍摄动作中，每当规定的拍摄次数将在S6的步骤中算出的修正移动间隔Lc修正仅台的移动分辨率s的量，且利用由此所得的修正移动间隔Lcc来设定拍摄范围。
[0123]决定各拍摄范围的移动间隔通过该修正移动间隔的修正而成为在S6中算出的修正移动间隔Lc与修正移动间隔Lcc的组合。将修正移动间隔Lc与修正移动间隔Lcc变更的频率可以根据累积误差的大小及移动分辨率而算出。通过每当规定次数将修正移动间隔Lc变更为修正移动间隔Lcc而消除累积误差。图3 (d)示出导入了修正移动间隔Lcc的状态(S7)。
[0124]接下来，使用图4、图5对累积误差的修正进行说明。图4表示消除正累积误差的情况，图5表示消除负累积误差的情况。
[0125]在累积误差为+方向的正累积误差的情况下，整个拍摄范围与不存在累积误差的情况的拍摄范围相比亦较长。通过将修正移动间隔Lc设为修正移动间隔Lcc ? Lc)而修正该增加量。
[0126]在图4 (C)中，在规定次数的修正移动间隔Lc之后导入修正移动间隔Lcc < Lc),基于该修正移动间隔Lc、Lcc产生拍摄触发(图4(d))而在拍摄范围内进行拍摄(图4(e))。由此，获取消除了累积误差的整个拍摄范围(图4 (f))。
[0127]在累积误差为-方向的负累积误差的情况下，整个拍摄范围与不存在累积误差的情况的拍摄范围相比亦较短。通过将修正移动间隔Lc设为修正移动间隔Lcc O Lc)而修正该减少量。
[0128]图15 (d)表示修正了累积误差的情况。根据图15 (d)，示出修正图15 (b)、图15(C)的累积误差且拍摄图像的拍摄范围与图15 (a)所示的不存在累积误差的情况相同。
[0129]在图5(c)中，在规定次数的修正移动间隔Lc之后导入修正移动间隔Lcc(> Lc),基于该修正移动间隔Lc、修正移动间隔Lcc产生拍摄触发(图5 (d))而在拍摄范围内进行拍摄(图5 (e))。由此，获取消除了累积误差的整个拍摄范围(图5 (f))。
[0130]接下来，使用图6、图8的流程图及图7、图9的说明图对累积误差的修正例进行说明。
[0131]使用图6、图7对累积误差的第一修正例进行说明。
[0132]在第一修正例中，首先算出在一次拍摄中产生的修正误差量dL。
[0133]该修正误差量dL是以
[0134]dL = η.s — Δ L/M
[0135]表示。
[0136]这里，AL为相对于拍摄范围的整体的位置偏差量，如S4的步骤所示，位置偏差量Δ L可以通过将标记位置的位置偏差量Λ I与(整个拍摄范围的长度/移动距离La)的比相乘而求出。M为多个拍摄图像的个数，将位置偏差量AL除以M所得的AL/M表示每次拍摄的修正量(图7 (a))。
[0137]在以移动台的移动分辨率s修正该修正量AL/M的情况下，因为移动台可修正的间隔量为移动分辨率s的整数η倍即(η.s)，所以修正误差量dL是以(η.s 一 AL/M)表示(图 7 (b)) (S6a)。
[0138]接下来，算出产生M次拍摄的累积误差量dLL。
[0139]因为在S6a的步骤中算出的修正误差量dL为在一拍摄范围内产生的修正误差量，所以当在各拍摄范围内均产生修正误差量dL时，整个拍摄范围的累积误差量dLL能以
[0140]dLL = CdL.M)
[0141]表示(图7 (c、d))。
[0142]接下来，算出对修正移动间隔Lc进行修正的频率。累积误差量dLL的修正是通过将修正移动间隔Lc切换为修正移动间隔Lcc而进行。这里，示出相对于所有移动间隔均等地进行向修正移动间隔Lcc的切换的示例，是每当规定次数将修正移动间隔Lc切换为修正移动间隔Lee。
[0143]一个修正移动间隔Lcc的修正是通过对修正移动间隔Lc增加或减少移动分辨率s的量而进行。因此，通过将一个修正移动间隔Lc切换为修正移动间隔Lcc，而将累积误差量dLL修正仅移动分辨率s的量。
[0144]累积误差量dLL可以通过将M个修正移动间隔Lc中的dLL/s (= dL.M/s)个修正移动间隔Lc切换为修正移动间隔Lcc而进行修正。
[0145]因此，在以均等间隔进行修正移动间隔的切换的情况下，通过每当M/ (dLL/s)=s/dL次将修正移动间隔Lc切换为修正移动间隔Lcc而对累积误差dLL进行修正(图7(e))(S6c)。
[0146]使用图8、图9对累积误差的第二修正例进行说明。[0147]在第二修正例中，与第一修正例同样地，首先算出一次拍摄中产生的修正误差量dL0
[0148]该修正误差量dL是以
[0149]dL = η.s — Δ L/M
[0150]表示。
[0151]这里，AL为相对于拍摄范围的整体的位置偏差量，如S4的步骤所示，位置偏差量Δ L可以通过将标记位置的位置偏差量Λ I与(整个拍摄范围的长度/移动距离La)的比相乘而求出。M为多个拍摄图像的个数，将位置偏差量AL除以M所得的AL/M表示每次拍摄的修正量(图9 (a))。
[0152]在以移动台的移动分辨率s修正该修正量AL/M的情况下，因为移动台可修正的间隔量为移动分辨率s的整数η倍即(η.s)，所以修正误差量dl是以(η.s — AL/M)表示(图 9 (b)) (S8A)。
[0153]接下来，算出累积误差量dLL成为移动分辨率s的拍摄次数(S8B)。因为通过一次拍摄而产生的修正误差量为dL，所以累积误差量dLL通过s/dL次拍摄而成为移动分辨率s,且是由下式表示。
[0154]累积误差量dLL = dL.(s/dL) = s
[0155]因此，可以通过在每s/dL次拍摄时将修正移动间隔Lc切换为修正移动间隔Lcc而对累积误差进行修正( 图9 (C)至(e)) (S8C)。
[0156]使用图10对本发明的液晶检查装置的信号处理部10的概略构成例进行说明。
[0157]信号处理部10包括:变动检测部10A，检测移动台的移动变动；拍摄修正部10B，基于由变动检测部IOA检测出的移动台的移动变动而修正拍摄部获取拍摄图像时的拍摄条件；以及拍摄图像形成部10C，将多个分割拍摄图像相连而形成一个结合拍摄图像。
[0158]变动检测部IOA包括:固定相机形成部10a，收取固定相机5的摄影信号而形成摄影图像；以及台标记偏差量检测部10b，基于摄影图像而检测设置在移动台上的标记的偏差量作为移动台的移动变动。
[0159]拍摄修正部IOB包括速度修正部10c、移动间隔修正部IOd及累积误差修正部10e、以及修正数据存储部10f，且将移动台的速度及形成拍摄触发的移动间隔作为拍摄条件，基于通过变动检测部IOA而形成的偏差量而修正这些拍摄条件。
[0160]速度修正部IOc基于偏差量而修正移动台的速度。台驱动控制部4基于速度修正部IOc的修正速度而进行速度控制。
[0161]移动间隔修正部IOd基于偏差量而修正移动间隔，且修正进行拍摄的拍摄触发的时序，从而修正拍摄范围。拍摄控制部3C基于移动间隔修正部IOd的修正移动间隔而进行拍摄控制。
[0162]移动间隔修正部IOd所形成的修正移动间隔是由累积误差修正部IOe修正累积误差。移动间隔修正部IOd及累积误差修正部IOe的修正处理可以使用存储在修正数据存储部IOf中的数据而进行。
[0163]拍摄图像形成部IOC包括接收检测部3B的检测信号的检测信号获取部10g、及根据所获取的检测信号而形成拍摄图像的拍摄图像形成部10h。拍摄图像形成部IOh基于通过拍摄控制部3C而形成的拍摄触发而进行拍摄动作。[0164][工业上的可利用性]
[0165]本发明的计算处理并不限于液晶阵列检查装置，可以应用于半导体元件的基板检查。
[0166][符号的说明]
[0167]1:液晶阵列检查装置
[0168]2:移动台
[0169]3:拍摄部
[0170]3A:电子枪
[0171]3B:检测部
[0172]3C:拍摄控制部
[0173]4:台驱动控制部
[0174]5:固定相机
[0175]6:台驱动控制部
[0176]9:控制部
[0177]10:信号处理部
[0178]IOA:变动检测部
[0179]IOB:拍摄修正部
[0180]IOC:拍摄图像形成部
[0181]IOa:固定相机图像形成部
[0182]IOb:台标记偏差量检测部
[0183]IOc:速度修正部
[0184]IOd:移动间隔修正部
[0185]IOe:累积误差修正部
[0186]IOf:修正数据存储部
[0187]IOg:检测信号获取部
[0188]IOh:拍摄图像形成部
[0189]20:检查部
[0190]100:液晶基板
[0191]101:面板
[0192]102:标记
[0193]dL:修正误差量
[0194]dLL:累积误差量
[0195]L:移动间隔
[0196]La:设定移动距离
[0197]Lc、修正移动间隔
[0198]Lcc:修正移动间隔
[0199]L0:移动间隔
[0200]s:移动分辨率
[0201]V:变动速度[0202]vc:速度修正量
[0203]v0:设定台速度
【权利要求】
1.一种液晶阵列检查装置，对液晶基板施加规定电压的检查信号来驱动阵列，基于对所述液晶基板照射带电粒子而获得的信号来对液晶基板进行拍摄，基于通过所述拍摄而获得的拍摄图像来检查液晶基板的阵列；其特征在于包括: 移动部，移动所述液晶基板； 拍摄部，每当随着由所述移动部移动所述液晶基板而该液晶基板以规定的移动间隔移动时开始拍摄，并在各拍摄动作中重复将该移动间隔作为拍摄沮围的拍摄动作而犹取多个分割拍摄图像； 拍摄图像形成部，将所述多个分割拍摄图像相连而形成一个结合拍摄图像； 变动检测部，检测所述移动部的移动变动；以及 拍摄修正部，基于由所述变动检测部检测出的所述移动部的移动变动而修正所述拍摄部获取拍摄图像时的拍摄条件；且 所述拍摄修正部基于所述移动变动的变动幅度及变动方向而修正所述拍摄条件。
2.根据权利要求1所述的液晶阵列检查装置，其特征在于:所述移动部包括载置液晶基板并进行移动的移动台； 所述拍摄修正部将决定拍摄范围的移动间隔作为拍摄条件，且包括: 移动间隔修正部，修正所述移动间隔；以及 累积误差修正部，修正累积误差，所述累积误差是因由所述移动间隔修正部所引起的移动间隔的修正误差累积而产生的； 所述移动间隔修正部基于所述变动检测部所检测出的移动变动的变动幅度及变动方向而针对所述移动间隔算出修正移动间隔； 所述累积误差修正部将所述移动台的最小分辨率的大小作为修正量，并对由所述移动间隔修正部算出的修正移动间隔增减该修正量而修正所述累积误差。
3.根据权利要求2所述的液晶阵列检查装置，其特征在于:所述累积误差修正部是在每规定次的拍摄时对修正移动间隔进行所述修正量的增减，该修正量的增减量及增减次数是基于移动变动的变动幅度及变动方向而算出。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的液晶阵列检查装置，其特征在于:所述变动检测部包括固定在液晶阵列检查装置上的摄影单元， 所述摄影单元对设置在所述移动台上的标记进行摄影，基于该摄影图像中的标记图像的位置偏差而检测移动部的移动变动。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的液晶阵列检查装置，其特征在于:所述拍摄修正部包括修正所述移动台的移动速度的速度修正部， 该速度修正部基于所述变动检测部所检测出的移动变动的变动幅度及变动方向而算出修正速度。
6.一种液晶阵列检查 装置的拍摄图像获取方法，对液晶基板施加规定电压的检查信号来驱动阵列，基于对所述液晶基板照射带电粒子而获得的信号来对液晶基板进行拍摄，基于通过所述拍摄而获得的拍摄图像来检查液晶基板的阵列；其特征在于包括: 移动步骤，移动所述液晶基板； 拍摄步骤，每当随着通过所述移动步骤移动液晶基板而该液晶基板以规定的移动间隔移动时开始拍摄，并在各拍摄动作中重复将该移动间隔作为拍摄范围的拍摄动作而获取多个分割拍摄图像； 拍摄图像形成步骤，将所述多个分割拍摄图像相连而形成一个结合拍摄图像； 变动检测步骤，检测所述移动步骤的移动变动；以及 拍摄修正步骤，基于在所述变动检测步骤中检测出的所述移动步骤的移动变动而修正所述拍摄步骤获取拍摄图像时的拍摄条件； 所述拍摄修正步骤基于所述移动变动的变动幅度及变动方向而修正所述拍摄条件。
7.根据权利要求6所述的液晶阵列检查装置的拍摄图像获取方法，其特征在于:所述移动步骤是将液晶基板载置在移动台上而进行移动； 所述拍摄修正步骤是将决定拍摄范围的移动间隔作为拍摄条件，且包括: 移动间隔修正步骤，修正所述移动间隔；以及 累积误差修正步骤，修正累积误差，所述累积误差是因由所述移动间隔修正步骤所引起的移动间隔的修正误差累积而产生的； 所述移动间隔修正步骤是基于所述变动检测步骤所检测出的移动变动的变动幅度及变动方向而针对所述移动间隔算出修正移动间隔； 所述累积误差修正步骤是将所述移动台的最小分辨率的大小作为修正量，并对在所述移动间隔修正步骤中算 出的修正移动间隔增减该修正量而修正所述累积误差。
8.根据权利要求7所述的液晶阵列检查装置的拍摄图像获取方法，其特征在于:所述累积误差修正步骤是在每规定次的拍摄时对修正移动间隔进行所述修正量的增减，该修正量的增减量及增减次数是基于移动变动的变动幅度及变动方向而算出。
9.根据权利要求6至8中任一项所述的液晶阵列检查装置的拍摄图像获取方法，其特征在于:所述变动检测步骤是利用固定在液晶阵列检查装置上的摄影单元对设置在所述移动台上的标记进行摄影，基于该摄影图像中的标记图像的位置偏差而检测移动步骤的移动变动。
10.根据权利要求6至9中任一项所述的液晶阵列检查装置的拍摄图像获取方法，其特征在于:所述拍摄修正步骤包括修正所述移动台的移动速度的速度修正步骤， 该速度修正步骤是基于所述变动检测步骤所检测出的移动变动的变动幅度及变动方向而算出修正速度。
【文档编号】G01N23/225GK103907017SQ201180073905
【公开日】2014年7月2日 申请日期:2011年11月2日 优先权日:2011年11月2日
【发明者】永井正道 申请人:株式会社岛津制作所