专利名称：Dbc基板翘曲激光测量装置的制作方法
技术领域：
本发明属于半导体制造、LED、光通讯领域，特别适用半导体制冷器、LED、功率半导体等用DBC基板时翘曲的测量，特别是一种DBC基板翘曲激光测量装置。
背景技术：
由于铜与瓷不同的热膨胀系数，在陶瓷直接覆铜(DBC)后，DBC基板会产生翘曲；同时DBC基板在后道器件焊接时，由于加热也产生翘曲。这些翘曲都必须测量以保证生产进行。现有DBC基板翘曲测量有用塞尺测量和用三坐标测量仪测量两种方法一种是用塞尺手工进行测量，测量时用塞尺塞入DBC基板底部，测量误差大，同时无法在DBC基板加热情况下测量；另外一种是用三坐标测量仪测量，测量繁琐，由于与被测 物直接接触，对翘曲测量有一定影响，同时无法在DBC基板加热情况下测量，只能在常温下测量。
发明内容
本发明的目的在于提供一种在常温和加热情况下都可以测量的DBC基板翘曲激
光测量装置。为解决上述技术问题，本发明DBC基板翘曲激光测量装置，包括下底板；测量平台，所述测量平台设置在所述下底板上；上底板，所述上底板设置在所述下底板上，所述上底板通过所述上底板两侧的支撑杆设置在所述下底板上；滑动机构，所述滑动机构设置在所述上底板上；测量机构，所述测量机构通过支架与所述滑动机构连接，所述测量机构设置在所述测量平台的上方；以及散热片，所述散热片设置在所述支架上，所述散热片设置在所述测量机构与待测样品之间。所述滑动机构包括导轨，所述导轨设置在所述上底板上，在所述导轨上还设有齿条；滑块，所述滑块设置在所述导轨上，在所述滑块内还设有齿轮，所述齿轮与所述齿条相匹配；以及调节螺栓，所述调节螺栓一端与所述齿轮连接，另外一端设置在所述滑块外。所述支架包括横支架，所述横支架的一端与所述滑动块连接；以及竖支架，所述竖支架的一端与所述横支架的另外一端连接。在所述竖支架与所述横支架之间还进一步设有加强筋，所述加强筋分别与所述竖支架及所述横支架连接。所述测量机构包括保护盒，所述保护盒设置在所述竖支架上，在所述保护盒的一侧设有探测孔，所述探测孔面向所述测量平台；以及激光发射接收器，所述激光发射接收器设置在所述保护盒内，所述激光发射接收器与数据控制处理装置电连接。在所述散热片上分别设有测量孔及散热孔，所述测量孔与所述探测孔的位置相对应。所述散热片的数量至少为一个，多个所述散热片相互间隔设置，其中上、下所述散热孔的位置不对应，形成错位设置。本发明DBC基板翘曲激光测量装置通过激光发射和接受，实现非接触式DBC基板翘曲的测量，提高测量精度；在测量机构与待测样品之间装置装有散热片，减少DBC基板加热时生产的热量对激光发射接收器的影响，实现DBC基板在加热情况下翘曲的测量，同时激光发射接收器通过支架装在导轨上，通过转动螺栓带动齿轮，使滑块在导轨上移动，导轨与测量平台相互平行，实现激光与被测物之间的翘曲的测量。
图I为本发明DBC基板翘曲激光测量装置结构示意图；本发明DBC基板翘曲激光测量装置附图中附图标记说明I-下底板 2-测量平台3-待测样品4-上底板 5-支撑杆6-导轨7-滑块 8-齿轮9-调节螺栓 10-横支架 11-竖支架12-加强筋13-保护盒14-探测孔15-激光发射接收器16-数据控制处理装置 17-第一散热片18-第二散热片19-第二散热片 20-第四散热片21-测量孔22-散热孔23-数据线
具体实施例方式下面结合附图对本发明DBC基板翘曲激光测量装置作进一步详细说明。如图I所示，本发明DBC基板翘曲激光测量装置，包括下底板I ;测量平台2，测量平台2设置在下底板I上；上底板4，上底板4设置在下底板I上,上底板4通过上底板4两侧的支撑杆5设置在下底板I上；滑动机构，滑动机构设置在上底板4上；测量机构，测量机构通过支架与滑动机构连接，测量机构设置在测量平台2的上方；以及散热片，散热片设置在支架上，散热片设置在测量机构与待测样品3之间。滑动机构包括导轨6,导轨6设置在上底板4上,在导轨6上还设有齿条(图中未示出)；滑块7，滑块7设置在导轨6上，在滑块7内还设有齿轮8，齿轮8与齿条(图中未示出)相匹配；以及调节螺栓9，调节螺栓9 一端与齿轮8连接，另外一端设置在滑块7外。支架包括横支架10，横支架10的一端与滑动块连接；以及竖支架11，竖支架11的一端与横支架10的另外一端连接。在竖支架11与横支架10之间还进一步设有加强筋12，加强筋12分别与竖支架11及横支架10连接。测量机构包括保护盒13，保护盒13设置在竖支架11上，在保护盒13的一侧设有探测孔14，探测孔14面向测量平台2 ;以及激光发射接收器15，激光发射接收器15设置在保护盒13内，激光发射接收器15通过数据线23与数据控制处理装置16电连接。转动滑块7侧面调节螺栓9带动滑块7内齿轮8在齿条(图中未示出)上移动，带动整个测量机构移动，实现激光与被测物之间的测量。相互间隔设置的第一散热片17、第二散热片18、第三散热片19及第四散热片20上分别设有测量孔21及散热孔22，测量孔21以一定角度贯通用于激光的通过，尽量减少热量通过测量孔21对激光发射接收器15的干扰；散热孔22错位互不贯通，用于热量逐步散发。本发明DBC基板翘曲激光测量装置通过激光发射和接受，实现非接触式DBC基板翘曲的测量，提高测量精度；在测量机构与待测样品之间装置装有散热片，减少DBC基板加热时生产的热量对激光发射接收器的影响，实现DBC基板在加热情况下翘曲的测量，同时激光发射接收器通过支架装在导轨上，通过转动螺栓带动齿轮，使滑块在导轨上移动，导轨与测量平台相互平行，实现激光与被测物之间的翘曲的测量。以上已对本发明创造的较佳实施例进行了具体说明，但本发明创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本发明创造精神的前提下还可作出种种的等同的 变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
权利要求
1.DBC基板翘曲激光测量装置，其特征在于，包括 下底板； 测量平台，所述测量平台设置在所述下底板上； 上底板，所述上底板设置在所述下底板上，所述上底板通过所述上底板两侧的支撑杆设置在所述下底板上； 滑动机构，所述滑动机构设置在所述上底板上； 测量机构，所述测量机构通过支架与所述滑动机构连接，所述测量机构设置在所述测量平台的上方；以及 散热片，所述散热片设置在所述支架上，所述散热片设置在所述测量机构与待测样品之间。
2.根据权利要求I所述的DBC基板翘曲激光测量装置，其特征在于，所述滑动机构包括 导轨，所述导轨设置在所述上底板上，在所述导轨上还设有齿条； 滑块，所述滑块设置在所述导轨上，在所述滑块内还设有齿轮，所述齿轮与所述齿条相匹配；以及 调节螺栓，所述调节螺栓一端与所述齿轮连接，另外一端设置在所述滑块外。
3.根据权利要求2所述的DBC基板翘曲激光测量装置，其特征在于，所述支架包括 横支架，所述横支架的一端与所述滑动块连接；以及 竖支架，所述竖支架的一端与所述横支架的另外一端连接。
4.根据权利要求3所述的DBC基板翘曲激光测量装置，其特征在于，所述测量机构包括 保护盒，所述保护盒设置在所述竖支架上，在所述保护盒的一侧设有探测孔，所述探测孔面向所述测量平台；以及 激光发射接收器，所述激光发射接收器设置在所述保护盒内，所述激光发射接收器与数据控制处理装置电连接。
5.根据权利要求4所述的DBC基板翘曲激光测量装置，其特征在于，在所述散热片上分别设有测量孔及散热孔，所述测量孔与所述探测孔的位置相对应。
6.根据权利要求5所述的DBC基板翘曲激光测量装置，其特征在于，所述散热片的数量至少为一个，多个所述散热片相互间隔设置，其中上、下所述散热孔的位置不对应，形成错位设置。
7.根据权利要求3所述的DBC基板翘曲激光测量装置，其特征在于，在所述竖支架与所述横支架之间还进一步设有加强筋，所述加强筋分别与所述竖支架及所述横支架连接。
全文摘要
本发明DBC基板翘曲激光测量装置，包括下底板；测量平台，测量平台设置在下底板上；上底板，上底板设置在下底板上，上底板通过上底板两侧的支撑杆设置在下底板上；滑动机构，滑动机构设置在上底板上；测量机构，测量机构通过支架与滑动机构连接，测量机构设置在测量平台的上方；以及散热片，散热片设置在支架上，散热片设置在测量机构与待测样品之间。本发明DBC基板翘曲激光测量装置通过激光发射和接受，实现非接触式DBC基板翘曲的测量，提高测量精度；同时激光发射接收器通过支架装在导轨上，通过转动螺栓带动齿轮，使滑块在导轨上移动，导轨与测量平台相互平行，实现激光与被测物之间的翘曲的测量。
文档编号G01B11/16GK102967273SQ20121046233
公开日2013年3月13日 申请日期2012年11月16日 优先权日2012年11月16日
发明者吴燕青, 贺贤汉, 戴洪兴, 鲁瑞平 申请人:上海申和热磁电子有限公司