用于测量电子组件的装置制造方法
【专利摘要】本发明涉及用于测量电子组件的装置，该装置具有涂覆至介电导体载体的多个导体，所述多个导体各自与接触指和连接触点这二者连接，所述装置的特征在于，在至少一个导体中集成有切换器，其中所述导体额外地通过所述切换器与地连接部件相连接。
【专利说明】用于测量电子组件的装置
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种用于测量电子组件的装置，该装置具有涂覆至介电导体载体的多 个导体，各导体在一端与接触指相连接，并且在另一端与连接触点相连接。
【背景技术】
[0002] 根据例如DE 19945178 C2已知采用被称为晶圆探针的形式的通用类型的装置。这 种类型的晶圆探针用于例如测试由晶圆形成的电子电路的操作和电子特性，为此目的，所 述电子电路经由连接触点与合适的测量装置相连接。为做到这一点，通过使晶圆探针的接 触指在定义点与印刷导体相接触的方式来将该晶圆探针施加到晶圆。
[0003] 已知将这种类型的晶圆探针设计成具有多个接触指，其中各接触指意在与要测试 的电子组件上的不同接触点相接触，并且各接触指经由各自的导体与适当的连接触点相连 接（"多触点晶圆探针"）。对于晶圆探针的这些单个触点中的各触点，经由这些触点传导 的电能或信号所遵循的路径可能因要测试的电子组件的触点布局而不同。
[0004] 在已知的多触点晶圆探针中，在各单个触点处的电能或信号的功能或路径与要测 试的电子组件的触点布局相匹配。因此，为了测试具有不同触点布局的组件，需要生产与其 匹配的新晶圆探针。
[0005] 已知要提供共三个不同的路径，其中要提供的第一路径是接触指与相关联的连接 触点之间的直接或排他的连接。可以提供另一个路径即第二路径以提供一个接触指与地的 额外连接，其中该接触指经由导体与连接触点相连接。在第三路径的情况下，经由诸如特别 是电容器和电阻器等的缓冲器构件来实现与地的连接。
[0006] 以上述现有技术作为出发点，本发明的目标是降低对具有不同触点布局的电子组 件进行测试的成本和复杂性。
【发明内容】
[0007] 通过如在独立权利要求1中所保护的装置来实现此目标。根据本发明的装置的有 利实施例来形成从属权利要求的主题，并且可以从以下呈现的本发明的描述中看到这些有 利实施例。
[0008] 本发明的基本构思是通过以下方式来使得用于测量电子组件的通用类型的装置 (多触点晶圆探针）更为灵活：利用经由所述单个触点传导的电能或信号所遵循的路径的 可变性来使该装置的至少一个单个触点（但优选为该装置的每个单个触点）的功能可变。 这使得该装置能够用于测试具有不同触点布局的多个电子组件。为此目的，单个触点的功 能仅需要与要测试的电子组件的特定触点布局相匹配。
[0009] 根据本发明的用于测量电子组件的通用类型的装置包括涂覆至介电导体载体的 多个导体，其中所述多个导体中的每个导体与接触指和连接触点相连接，因而所述装置的 特征在于在至少一个导体并且优选地在所有导体中包括切换器（优选为机械切换器），其 中关联的导体可以经由此切换器额外地与地连接部件相连接。在本申请中，优选地进行以 下设置：直接或者经由至少一个缓冲器构件来进行与地连接部件的连接。
[0010] 作为特别优选，为切换器设置有至少三个切换位置，在这种情况下，在第一切换位 置中，关联的导体不与地连接部件相连接，在第二切换位置中，关联的导体与地连接部件相 连接，以及在第三切换位置中，关联的导体经由至少一个缓冲器构件与地连接部件相连接。 这使得各单个触点能够具有与电子组件的测试有关的功能，即使得与要测试的电子组件上 的不同触点布局的匹配具有特别高的自由度。
[0011] 缓冲器构件优选包括（至少）一个电容（并且特别是一个电容器）和（至少）一 个电阻器。
【专利附图】
【附图说明】
[0012] 以下将参考附图中所示出的实施例来详细说明根据本发明的装置。在附图中：
[0013] 图1是根据本发明的装置的平面图；
[0014] 图2是示出图1中所示的根据本发明的装置的各单个触点的可能的切换位置以及 由此产生的路径的示意图。
【具体实施方式】
[0015] 图1中所示出的根据本发明的装置包括介电导体载体1，其中在该介电导体载体1 的下侧涂覆采用印刷导体形式的多个导体2。这些印刷导体彼此之间以间隔进行排列，从而 彼此电隔离。为了形成单个触点，各导体2在一端与由导电材料制成的（弹性的）接触指 3相连接。意在与印刷导体或要测试的电子组件上的其它电元件（未示出）相接触的接触 指3突出到导体载体1之外并大致沿着线终止。各导体2还与采用被称为DC引脚形式的 连接触点4相连接。该装置经由这些连接触点4与测量装置（未示出）相连接。
[0016] 根据本发明，在各导体2中包含切换器5(传统的微型切换器）。这些切换器5中 的各切换器具有三个可选的切换位置。在图1和图2中的以"D"来表示的第一切换位置中， 在给定的接触指3和关联的连接触点4之间存在直接的或排他的电连接。在将切换器5移 至图1和图2中的以"G"来表示的（第二）切换位置的情况下，存在与地连接部件6的额 外连接。在图1和图2中的以"P"来表示的切换位置的情况下，同样提供与地连接部件6 的额外连接，但此额外连接经由中间的缓冲器构件而发生。该缓冲器构件包括（优选固定 定义的）电容器7 (例如10nF)和（优选固定定义的）电阻器8 (例如2. 2 Ω )。
[0017] 根据要测试的电子组件的触点布局，可以通过以下方式来对多个切换器5的各切 换器进行切换：针对各单个触点设置与触点布局相匹配的路径。
【权利要求】
1. 一种用于测量电子组件的装置，所述装置具有涂覆至介电导体载体（1)的多个导体 (2)，所述多个导体（2)中的每个导体在一端与接触指（3)相连接并在另一端与连接触点 (4)相连接， 所述用于测量电子组件的装置的特征在于： 在所述多个导体（2)中的至少一个导体（2)中包含切换器（5)，所述导体（2)经由所述 切换器（5)能够额外地与地连接部件（6)相连接。
2. 根据权利要求1所述的装置，其特征在于，各导体⑵能够经由各自的切换器（5)与 地连接部件（6)相连接。
3. 根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，与所述地连接部件（6)的连接经由至 少一个缓冲器构件而发生。
4. 根据前述权利要求中的任一个所述的装置，其特征在于，所述切换器（5)具有至少 三个切换位置，其中， 在第一切换位置中，所关联的导体（2)不与地连接部件（6)相连接； 在第二切换位置中，所关联的导体（2)直接与所述地连接部件（6)相连接； 在第三切换位置中，所关联的导体（2)经由至少一个缓冲器构件与所述地连接部件 (6)相连接。
5. 根据权利要求3或4所述的装置，其特征在于，所述缓冲器构件包括电容器（7)和电 阻器（8)。
【文档编号】G01R3/00GK104160289SQ201380013049
【公开日】2014年11月19日 申请日期:2013年3月7日 优先权日:2012年3月8日
【发明者】R·诺伊豪泽尔 申请人:罗森伯格高频技术有限及两合公司