一种光学影像仪的制作方法
【专利摘要】本申请公开了一种光学影像仪，包括：仪器固定平台；设置所述仪器固定平台上方设定高度位置的图像采集装置；设置所述仪器固定平台上表面的导轨；设置在所述导轨上的移动样品平台，所述移动样品平台可在所述导轨上相对所述器固定平台水平移动；固定设置在所述图像采集装置与所述仪器固定平台之间，且位于所述导轨下方的光源装置；其中，所述移动样品平台上表面固定有限位块，所述限位块的长度方向与所述移动样品平台的移动方向垂直。所述光学影像仪进行长度测量时，测量的工作效率高。
【专利说明】一种光学影像仪
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及测量装置【技术领域】，更具体地说，涉及一种光学影像仪。
【背景技术】
[0002]硅材料被广泛应用于半导体领域。将硅料经过铸锭工艺形成纯净度较高、缺陷以及杂质较少的单晶硅锭或是多晶硅锭。将硅锭切割为设定尺寸的硅片，切割后的硅片可用于制备LED器件、OLED器件、IGBT器件以及MOS管等半导体器件，还可以用于制备太阳能电池片。
[0003]当制备的半导体器件或是太阳能电池时，需要切割不同尺寸的硅片。由于制备半导体器件或是太阳能电池时，对硅片尺寸要求较高，因此，需要对硅片的长度尺寸进行精确测量。现有的测量装置一般是采用光学影像仪对硅片尺寸进行测量。
[0004]参考图1，图1为现有技术中常见的一种光学影像仪的结构示意图。所述光学影像仪包括:图像采集装置11、仪器固定平台12以及移动样品平台13。所述移动样品平台13通过导轨固定在所述仪器固定平台12上，可以在所述仪器固定平台12上水平滑动。仪器固定平台12与图像采集装置11采集装置相对固定设置，二者之间具有固定的光源装置，所述光源装置位于所述移动样品平台13的导轨下放。图像采集装置11与计算机测试系统连接。
[0005]现有的光学影像仪在进行尺寸测量时，打开光源装置后，首先需要进行零点设置，将待测试样品14放置在移动平台上，将其放置在图像采集装置11下方，调节待测试样品14的位置，使得计算机系统模拟的测试图像中待测试样品14的左侧边缘与模拟测试图像中的测试参考线对齐，将该位置作为零点。向左移动所述移动样品平台13，当图像采集装置11获取待测试样品14右侧边缘图像后即可自动测试出待测试样品14的长度。
[0006]现有的光学影像仪进行长度测量时，在测量多个待测试样品14时，每次测试均需要进行调零操作，测量的工作效率低。
实用新型内容
[0007]为解决上述技术问题，本实用新型提供一种光学影像仪，提高了测量的工作效率。
[0008]为实现上述目的，本实用新型提供了一种光学影像仪，该光学影像仪包括:
[0009]仪器固定平台；
[0010]设置所述仪器固定平台上方设定高度位置的图像采集装置；
[0011]设置所述仪器固定平台上表面的导轨；
[0012]设置在所述导轨上的移动样品平台，所述移动样品平台可在所述导轨上相对所述器固定平台水平移动；
[0013]固定设置在所述图像采集装置与所述仪器固定平台之间，且位于所述导轨下方的光源装置；
[0014]其中，所述移动样品平台上表面固定有限位块，所述限位块的长度方向与所述移动样品平台的移动方向垂直。
[0015]优选的，在上述光学影像仪中，所述限位块具有底面以及归零侧面；所述限位块的延伸方向垂直于所述移动样品平台的移动方向。
[0016]优选的，在上述光学影像仪中，所述底面的平整度小于0.005mm。
[0017]优选的，在上述光学影像仪中，所述归零侧面与所述底面的夹角范围为89.9° -90.1°，包括端点值。
[0018]优选的，在上述光学影像仪中，所述归零侧面垂直于所述底面。
[0019]优选的，在上述光学影像仪中，所述限位块为不锈钢限位块。
[0020]优选的，在上述光学影像仪中，所述限位块可拆卸的固定在所述移动样品平台上表面。
[0021]优选的，在上述光学影像仪中，在所述限位块的长度方向上，所述限位块的两端各设置有一个具有刻度的固定架，所述固定架用于调节所述限位块的长度方向与所述移动样品平台的移动方向垂直。
[0022]优选的，在上述光学影像仪中，所述光学影像仪为具有所述限位块的VMS-4030G影像仪。
[0023]从上述技术方案可以看出，本实用新型所提供的光学影像仪包括:仪器固定平台；设置所述仪器固定平台上方设定高度位置的图像采集装置；设置所述仪器固定平台上表面的导轨；设置在所述导轨上的移动样品平台，所述移动样品平台可在所述导轨上相对所述器固定平台水平移动；固定设置在所述图像采集装置与所述仪器固定平台之间，且位于所述导轨下方的光源装置；其中，所述移动样品平台上表面固定有限位块，所述限位块的长度方向与所述移动样品平台的移动方向垂直。通过设置在所述移动样品平台上的限位块进行零点设置，采用所述光学影像仪进行长度测量时，只需要将待测试样品紧靠所述限位块设置，测量待测试样品背离所述限位块一端距离所述限位块的距离即可测量所述待测试样品的长度，且进行多次测量时，对所述限位块进行一次两点设置即可，相对于现有光学影像仪，在进行长度测量时，大大提高了测量的工作效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0024]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0025]图1为现有技术中常见的一种光学影像仪的结构示意图；
[0026]图2为本申请实施例提供的一种光学影像仪的结构示意图；
[0027]图3为本申请实施例提供的一种限位块与样品移动平台的固定结构示意图。
【具体实施方式】
[0028]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0029]参考图2，图2为本申请实施例提供的一种光学影像仪的结构示意图。该光学影像仪包括:仪器固定平台22 ;设置所述仪器固定平台上方设定高度位置的图像采集装置21 ;设置所述仪器固定平台22上表面的导轨；设置在所述导轨上的移动样品平台23，所述移动样品平台23可在所述导轨上相对所述器固定平台22水平移动；固定设置在所述图像采集装置21与所述仪器固定平台22之间，且位于所述导轨下方的光源装置。
[0030]其中，所述移动样品平台23上表面固定有限位块24，所述限位块24的长度方向与所述移动样品平台23的移动方向a(移动方向a如图2中双向箭头所示)垂直。
[0031]所述限位块24用于在所述光学影像仪进行长度测量时，进行零点设置。所述限位块24具有底面以及归零侧面；所述限位块24的延伸方向垂直于所述移动样品平台的移动方向a。所述底面与所述移动样品平台23平行设置，且所述底面固定在所述移动样品平台23上表面。所述限位块24可以为长方体；或，可以为直角三棱柱。
[0032]为了保证测量的准确性设置所述底面的平整度小于0.005mm,以保证所述限位块24齐平的设置在所述移动样品平台23上表面；同时，设置所述归零侧面与所述底面的夹角范围为89.9° -90.1°，包括端点值。优选的，所述归零侧面垂直于所述底面。
[0033]在本申请实施例中，所述限位块为不锈钢限位块。所述限位块24可拆卸的固定在所述移动样品平台23上表面。所述限位块24在所述移动样品平台23上的位置可调节，以使得测量时，所述归零侧面与所述移动方向a垂直，保证测量的准确性。
[0034]所述光学影像仪为具有所述限位块的VMS-4030G影像仪。
[0035]参考图3，图3为本申请实施例提供的一种限位块与样品移动平台的固定结构示意图。在所述限位块24的长度方向上，所述限位块的两端各设置有一个具有刻度的固定架。所述固定架用于调节所述限位块的长度方向与所述移动样品平台的移动方向垂直。图3所示限位块24为长方体结构，包括底面242以及归零侧面241。
[0036]如图3所示，所述固定架包括固定架31以及固定架32。通过设置在所述固定架上的刻度，调节所述限位块24两端距离所述移动样品平台23左边的距离，使得两端到所述移动样品平台23左边的距离均相等即可使得所述限位块24垂直于所述移动方向a。在测量时，通过测量系统可进一步调节所述限位块24与所述移动方向a垂直，以完成零点设置。
[0037]在进行批量待测样品长度测量时，当通过所述述限位块24完成零点设置后，每个待测试样品33长度测量时，只需要将样品的第一边与所述限位块24的归零侧面241以及底面242的交线重合设置，通过图像采集装置21采集待测试样品33第二边的位置进行长度读数即可。只需要一次零点设置，可以进行多个待测试样品，工作效率高。
[0038]其中，所述第一边与所述第二边为相对且平行的两边。需要具有两个相互平行的对边。所述待测试样品33可以为用于制备太阳能电池的硅片。
[0039]通过上述描述可知，本申请实施例所述光学影像仪，在进行长度设置时，通过所述限位块进行零点设置，在进行多个待测试样品长度测量时，仅需要一次零点设置，大大提高了测量速度，即提高了测量效率。
[0040]对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
【权利要求】
1.一种光学影像仪，其特征在于，包括: 仪器固定平台； 设置所述仪器固定平台上方设定高度位置的图像采集装置； 设置所述仪器固定平台上表面的导轨； 设置在所述导轨上的移动样品平台，所述移动样品平台可在所述导轨上相对所述器固定平台水平移动； 固定设置在所述图像采集装置与所述仪器固定平台之间，且位于所述导轨下方的光源装置； 其中，所述移动样品平台上表面固定有限位块，所述限位块的长度方向与所述移动样品平台的移动方向垂直。
2.根据权利要求1所述的光学影像仪，其特征在于，所述限位块具有底面以及归零侧面；所述限位块的延伸方向垂直于所述移动样品平台的移动方向。
3.根据权利要求2所述的光学影像仪，其特征在于，所述底面的平整度小于0.005mm。
4.根据权利要求2所述的光学影像仪，其特征在于，所述归零侧面与所述底面的夹角范围为89.9° -90.1°，包括端点值。
5.根据权利要求4所述的光学影像仪，其特征在于，所述归零侧面垂直于所述底面。
6.根据权利要求1所述的光学影像仪，其特征在于，所述限位块为不锈钢限位块。
7.根据权利要求1所述的光学影像仪，其特征在于，所述限位块可拆卸的固定在所述移动样品平台上表面。
8.根据权利要求7所述的光学影像仪，其特征在于，在所述限位块的长度方向上，所述限位块的两端各设置有一个具有刻度的固定架，所述固定架用于调节所述限位块的长度方向与所述移动样品平台的移动方向垂直。
9.根据权利要求1-8任一项所述的光学影像仪，其特征在于，所述光学影像仪为具有所述限位块的VMS-4030G影像仪。
【文档编号】G01B11/02GK204255297SQ201420831364
【公开日】2015年4月8日 申请日期:2014年12月24日 优先权日:2014年12月24日
【发明者】潘瑞亮 申请人:浙江昱辉阳光能源有限公司