异物检测方法及液滴喷出方法与流程

异物检测方法及液滴喷出方法发明为下述申请的分案申请，原申请信息如下：申请号：201110409325.1申请日：2011年12月09日发明名称：异物检测装置及方法、液滴喷出装置及方法关联申请的引用：本申请基于并要求2010年12月9日提出的在先日本专利申请第2010－275033号和2011年2月25日提出的在先日本专利申请第2011－039540号的优先权，在此引用其全部内容。技术领域在此说明的实施方式整体上涉及异物检测装置、异物检测方法、液滴喷出装置和液滴喷出方法。

背景技术：
已知有对液体中存在的异物进行检测的技术。例如已提出有一种在液滴喷出装置中检测喷出的液体中是否有气泡等异物的技术。在这种技术中，例如，根据因存在气泡而发生的振动能级的衰减或残余振动波形来判别有无气泡。但是，这种技术很难对细管路中等这种小区域中存在的气泡等异物进行检测。因此，期望开发一种能够高精度地检测细管路中等这种小区域中存在的气泡等异物的技术。

技术实现要素：
本发明的实施方式提供一种能提高异物检测精度的异物检测装置、异物检测方法、液滴喷出装置和液滴喷出方法。实施方式涉及的异物检测方法，其特征在于，包括：向液体中导入具有满足下述式子的频率的压力波的工序；将来自所述液体的反射波变换成电信号的工序；根据对所述反射波进行变换后得到的电信号与未含有气泡时得到的反射波的电信号之差，求取散射截面积，根据预先求取的气泡大小与散射截面积之间的线性关系，提取关于气泡的信息的工序；和根据提取到的所述关于气泡的信息，求取所述气泡大小的工序，在此，f是频率，Ro是最大气泡尺寸，Po是液体的平衡压力，ρ是液体的密度，γ是热容比。此外，实施方式涉及的其他异物检测装置包括：信号发生部，产生具有满足下述式子的频率的电信号；发信部，对来自所述信号发生部的电信号进行变换，使液体中产生压力波；接收部，接收来自所述液体的反射波并变换成电信号；保存部，保存与所述液体中未含有气泡的状态下得到的反射波的电信号有关的信息；和检测部，根据对所述反射波进行变换后得到的电信号与基于所保存的所述信息的电信号之差，求取散射截面积，根据预先求取的气泡大小与散射截面积之间的关系，检测所述气泡大小，在此，f是频率，Ro是最大气泡尺寸，Po是液体的平衡压力，ρ是液体的密度，γ是热容比。根据上述结构，能够提高异物的检测精度。附图说明图1是用于例示第一实施方式涉及的异物检测装置和液滴喷出装置的示意图。图2是用于例示检测定时的示意曲线图。图3A和图3B是用于例示关于气泡B的信息的提取的示意曲线图，图3A是用于例示有气泡B时的基于反射波的电信号S1和没有气泡B时的电信号S2的图，图3B是用于例示含有关于气泡B的信息的电信号的图。图4是用于例示气泡B的直径尺寸与散射截面积之间的关系的曲线图。图5是用于例示第二实施方式涉及的异物检测装置和液滴喷出装置的示意图。图6是用于例示第三实施方式涉及的异物检测方法的流程图。图7是用于例示第四实施方式涉及的液滴喷出方法的流程图。具体实施方式以下，参照附图，关于实施方式进行例示。再有，各附图中，在相同的结构要素上标记同一符号，并省略详细说明。再有，以下，作为一例，例示了将异物检测装置设置在液滴喷出装置中的情况以及在液滴喷出方法中适用了异物检测方法的情况。但是，异物检测装置和异物检测方法的适用对象不限定于此，可以广泛地适用于对液体中含有的气泡等异物的检测。图1是用于例示第一实施方式涉及的异物检测装置和液滴喷出装置的示意图。液滴喷出装置的驱动方式有“热式”和“压电式”，所述“热式”是由加热产生气泡，利用膜态沸腾现象来使液体喷出，所述“压电式”是利用压电元件的弯曲位移来使液体喷出，作为一例，在此以压电式为例进行说明。在液滴喷出装置100中设置有压电部101、喷嘴主体102、挠性膜103、喷嘴部104、衰减部105、盖106和异物检测装置1。压电部101例如可以是将驱动电极101a、部件101b、驱动电极101c、部件101d、驱动电极101e依次层叠后整体烧结而成的。整体烧结后的压电部101强度变高，而且也容易处理。部件101b和部件101d可以是由压电材料形成的部件。作为压电材料，可以例示压电陶瓷(例如锆钛酸铅)等。驱动电极101a、驱动电极101c和驱动电极101e可以是由铜合金等形成的电极。如后所述，压电部101成为用于使液体喷出的加压源，但也具有异物检测装置1的发信部和接收部的功能。再有，异物检测装置1中设置的信号发生部2，也具有输出用于驱动压电部101作为加压源的电信号的功能。喷嘴主体102中设置有收纳要喷出的液体的液室102a。将液室102a设置成贯通喷嘴主体102的两端部间。液室102a可以是例如具有当量直径尺寸为d的截面的液室。在此，在液室102a的截面形状是圆形的情况下，当量直径尺寸d是其直径尺寸，在液室102a的截面形状是例如多角形等的情况下，当量直径尺寸d是变换成具有相同截面积的圆形截面后的直径尺寸。再有，关于当量直径尺寸d以后详细叙述。此外，与液室102a连通有未图示的流路，通过未图示的流路向液室102a内供给液体。喷嘴主体102可以由例如不锈钢或镍合金等形成。在喷嘴主体102的一个端部设置有挠性膜103。将挠性膜103设置成覆盖液室102a的开口部。此外，在挠性膜103的与设置在喷嘴主体102上的一侧相反的一侧的面上，设置有压电部101。该情况下，可以将压电部101设置成与液室102a的开口部对置，使得由压电部101的弯曲位移产生的压力波容易传播到液室102a内的液体。再有，在本实施方式中，压电部101成为向喷嘴主体102的设置在一个端部侧的液室102a内的液体施加压力的加压部。挠性膜103可以由例如不锈钢等形成。在喷嘴主体102的另一个端部上设置有喷嘴部104。喷嘴部104呈板状，设置有贯通厚度方向的喷嘴孔104a。喷嘴孔104a的一端向液室102a开口，另一端向液滴喷出装置100的外部开口。喷嘴部104可以由例如不锈钢或镍合金等形成。在挠性膜103上，包围压电部101的周围设置有衰减部105。在压电部101中产生所谓的主振动，与此同时也产生寄生振动等无用的振动。因此，通过设置衰减部105，使寄生振动等衰减，以降低寄生振动等对主振动的坏影响。衰减部105可以由例如硅橡胶等形成。盖106具备一端开口的凹部。并且，将盖106设置在挠性膜103上，使得在凹部的内部收纳压电部101和衰减部105。此外，在盖106上适当地设置有用于穿过压电部101的配线的未图示的孔等。盖106可以由例如树脂或金属等形成。异物检测装置1中设置有信号发生部2、切换部3、保存部4和检测部5。如前所述，在本实施方式中，压电部101发挥对电信号进行变换并使液体中产生压力波的发信部和接收反射波并变换成电信号的接收部的功能。再有，反射波中含有基于后述的机械系统振动的波、“由气泡产生的压力波”、和通过碰到液室102a的壁面或喷嘴部104等而产生的压力波，这些以后详细叙述。信号发生部2产生用于检测气泡B等异物的电信号。即，产生用于使压电部101产生具有规定频率的压力波的电信号。该情况下，信号发生部2可以产生具有满足后述(3)式或(4)式的频率f的电信号。再有，也可以按照频率的范围，设置多个信号发生部和频率范围切换部。再有，如前所述，信号发生部2也具有输出用于驱动压电部101作为加压源的电信号的功能。切换部3进行电信号的转换。例如，在向压电部101发送来自信号发生部2的电信号的时候，使得向检测部5侧发送该电信号。另一方面，在向检测部5侧发送来自压电部101的电信号的时候，使得不向信号发生部2侧发送该电信号。保存部4保存成为基准的信息。例如，可以保存与液体中未含有气泡B等异物的状态有关的信息。与未含有气泡B等异物的状态有关的信息，可以保存预先收集到的该信息。此外，也可以逐次保存从喷出状态等判断并推断为是没有气泡B等异物的状态的信息。检测部5根据由压电部101收集到的信息、即后述的关于反射波的信息和来自保存部4的信息，检测有无气泡B等异物和气泡B等异物大小的至少任一种。即，检测部5根据对反射波进行变换后得到的电信号与基于所保存的信息的电信号之差，检测有无气泡B等异物和气泡B等异物大小的至少任一种。该情况下，检测部5可以如后所述地根据对反射波进行变换后得到的电信号与基于保存部4中所保存的信息的电信号之差的平方，来检测异物大小。此外，检测部5还可以根据对反射波进行变换后得到的电信号与基于保存部4中所保存的信息的电信号之差，求取散射截面积σsc，从预先求取的气泡B等异物大小与散射截面积σsc之间的关系，来检测气泡B等异物大小。此外，检测部5可以将关于有无气泡B等异物的检测结果或气泡B等异物大小的检测结果，向外部设备等输出。再有，关于有无气泡B等异物的检测和气泡B等大小的检测的详细内容以后叙述。下面，关于异物检测装置1的作用进行例示。在此，作为一例，以异物是气泡B的情况为例进行说明。图2是用于例示检测定时的示意曲线图。如图2所示，在对图1的压电部101施加了规定的电信号A时，压电部101动作，向液室102a中补充液体，在电信号A下降期间，进行所述液体从喷嘴孔104a中喷出的动作。实际上，所述液体从喷嘴孔104a中喷出的动作延迟了补充到液室102a中的所述液体被压迫为止的那段时间。在所述液体喷出结束后，通过也作为接收部的压电部101检测如S所示的电信号。在对压电部101施加了所述规定的电信号A时，在液体中产生压力波。并且，在施加电信号A后，利用挠性膜103等产生的机械系统振动、后述的“气泡产生的压力波”、和通过碰到液室102a的壁面或喷嘴部104等而产生的压力波等，通过也作为接收部的压电部101检测如图2中的S所示的电信号。因此就根据电信号S来进行有无气泡B的检测或气泡B大小的检测。再有，电信号S中还含有“气泡产生的压力波”以外的信息，但可以通过在检测部5中求取与未含有气泡B时的电信号之差，来去掉“气泡产生的压力波”以外的信息。首先，为了进行关于气泡B的检测，在信号发生部2中产生具有规定频率f的电信号。该电信号是用于使压电部101产生具有规定频率的压力波的信号。此外，在按照频率的范围设置了多个信号发生部和频率范围切换部的情况下，进行频率范围的切换，使得能够产生具有适当频率的电信号。再有，关于频率f的详细内容以后叙述。从信号发生部2输出的电信号，经切换部3输入到压电部101中。也作为异物检测装置1的发信部的压电部101，通过将输入的电信号变换成弯曲位移来产生压力波。产生的压力波经挠性膜103，传播到液室102a内的液体中，通过碰到液室102a的壁面或喷嘴部104等，产生由散射(反射)产生的压力波。此外，在有气泡B的情况下，通过压力波碰到气泡B而产生由散射(反射)产生的压力波。另外，通过压力波碰到气泡B，而在气泡B中产生体积变化，产生该体积变化所引起的压力波。再有，在气泡B中的由散射产生的压力波和由体积变化所引起的压力波中，由体积变化引起的压力波的压力大到有位数上的差别。在本说明书中，将通过碰到气泡B而产生的由散射产生的压力波和因气泡B的体积变化所引起的压力波，合并称为“由气泡产生的压力波”。此外，将“由气泡产生的压力波”、通过碰到液室102a的壁面或喷嘴部104等而产生的压力波、以及与所述挠性膜103等的机械系统振动有关的波，合并称为“反射波”。因此，反射波中就会含有气泡B的有无或大小等的关于气泡B的信息。将产生的反射波入射到也作为异物检测装置1的接收部的压电部101中，变换成与压电部101的弯曲位移相应的电信号。基于反射波的电信号，经切换部3输入到检测部5中。另一方面，从保存部4中提供与未含有气泡B的状态有关的信息，并被变换成电信号。并且，在检测部5中，通过求取基于反射波的电信号与未含有气泡B时的电信号之差，来提取关于气泡B的信息。检测部5根据提取到的关于气泡B的信息，检测有无气泡B。例如，可以根据预先设定的阈值等进行有无气泡B的检测。此外，检测部5也可以根据提取到的关于气泡B的信息来检测气泡B的大小。下面，关于有无气泡B的检测或气泡B大小的检测进一步进行例示。图3A和图3B是用于例示关于气泡B的信息的提取的示意曲线图。图3A是用于例示有气泡B时的基于反射波的电信号S1和没有气泡B时的基于反射波的电信号S2的示意曲线图。图3B是用于例示含有关于气泡B的信息的电信号的示意曲线图。如图3A所示，在有气泡B时的基于反射波的电信号S1和未含有气泡B时的电信号S2中，波形是不同的。因此，通过求取有气泡B时的基于反射波的电信号S1与未含有气泡B时的电信号S2之差，就能够提取出如图3B所示的含有关于气泡B的信息的电信号。再有，由于未含有气泡B时的基于反射波的电信号和未含有气泡B时的电信号S2中，波形是同样的，因此，若求取两者之差，则大致等于0(零)。可以使用这样提取出的关于气泡B的信息和预先设定的阈值等来检测有无气泡B。图4是用于例示气泡B的半径尺寸与散射截面积之间的关系的曲线图。横轴是气泡B的半径尺寸，纵轴是散射截面积σsc，图中的d1～d5表示液室102a的当量直径尺寸。再有，d1是10mm，d2是4mm，d3是3mm，d4是2mm，d5是1mm的情况。在此，在气泡B的半径尺寸与散射截面积σsc之间的关系中，即使在散射截面积σsc一定的情况下，有时也会存在多个与散射截面积σsc对应的气泡B的半径尺寸。例如，如图4所示，在当量直径尺寸是d1的情况下，假设散射截面积σsc为“α”，则存在3个与之对应的气泡B的半径尺寸。因此，在这样的情况下，很难确定气泡B的大小。该情况下，由于不能够知道气泡B的大小，因此，在气泡B生长到发生喷出异常(发生不喷出、液量的均匀性变差、着液精度变差等)的大小之前，不能施行使其进行排出动作等的应对。因此，不能够将喷出异常的发生防患于未然。但是，如图4所示，在气泡B的半径尺寸与散射截面积σsc之间的关系变为线性的部分中，可以根据散射截面积σsc来求取气泡B的半径尺寸。在此，可以利用以下(1)式求取散射截面积σsc。再有，Wsc是散射功率，Iinc是入射强度。此外，可以利用以下(2)式求取散射功率Wsc。在此，ρ是液体的密度，c是音速，r是到气泡B的距离，Ps(r，t)是从气泡B放射的压力。该情况下，Ps(r，t)中包含空间依存和时间依存。此外，〈〉t表示是时间平均。再有，可以在小区域中假设r为收纳液体的要素的压力传播方向的尺寸。例如，可以在液室102a中假设r为液室102a的轴向尺寸(喷出方向的尺寸)。并且，由于Ps(r，t)是从气泡B放射的压力，因此，图3B中例示的波形就成为Ps(r，t)。即，通过提取如图3B例示的含有关于气泡B的信息的电信号，就能够求取散射截面积σsc来检测气泡B的大小。再有，可以在检测部5中进行根据含有关于气泡B的信息的电信号运算散射截面积σsc、以及根据运算出的散射截面积σsc运算气泡B的半径尺寸的运算。在此例示了根据散射截面积σsc运算气泡B的半径尺寸的情况，但不限定于此。如果能够知道含有关于气泡B的信息的Ps(r，t)，即使不进行到散射截面积σsc的运算，也能够运算出气泡B的半径尺寸。即，由于(2)式内含有关于气泡B的信息的部分是Ps(r，t)，因此，可以和气泡B的半径尺寸与散射截面积σsc之间的关系同样地求取气泡B的半径尺寸与Ps(r，t)2之间的关系。因此就可以根据含有关于气泡B的信息的电信号与基于关于未含有气泡B的状态的信息的电信号之差的平方，来检测气泡B的大小。在此，如图4所示地出现气泡B的半径尺寸与散射截面积σsc之间的关系为线性的部分和为非线性的部分。此外，已知在气泡B的半径尺寸与散射截面积σsc之间的关系为线性的部分中，液室102a的当量直径尺寸d1～d5产生的影响较小。因此，最好将压电部101驱动成气泡B的半径尺寸与散射截面积σsc之间的关系变成线性。该情况下，若使压电部101的驱动频率、即在信号发生部2中产生的电信号的频率f如以下的(3)式那样，就能够使得气泡B的半径尺寸与散射截面积σsc之间的关系变成线性。在此，Ro是最大气泡尺寸，Po是液室102a内的液体的平衡压力，ρ是液体的密度，γ是热容比。再有，所述最大气泡尺寸Ro是设为检测对象的气泡中大小最大的气泡的半径尺寸。例如，是与用于后述的喷出异常判定的阈值对应的气泡的半径尺寸等。该情况下，可以按照设置有异物检测装置1的对象来适当地设定平衡压力Po或最大气泡尺寸Ro。并且，使用例如预先由实验或仿真等求取的平衡压力Po或最大气泡尺寸Ro，求取使信号发生部2中产生的电信号的频率f。并且，若利用求取的频率f来驱动压电部101，就能够使气泡B的半径尺寸与散射截面积σsc之间的关系成为线性。因此，根据使用上述(1)式和(2)式运算出的散射截面积σsc来求取气泡B的半径尺寸就变得容易。即，如果利用这样地求取的频率f来驱动压电部101，就能够求取最大气泡尺寸Ro以下的大小的气泡B的半径尺寸。此外，若考虑液室102a的当量直径尺寸d，就能够使得不存在多个与散射截面积σsc对应的气泡B的半径尺寸。即，由于能够使与散射截面积σsc对应的气泡B的半径尺寸只有1个，因此能够除掉误检测。该情况下，根据本发明者获得的知识，如果使信号发生部2中产生具有满足以下(4)式的频率f的电信号，就能够除掉误检测的发生。在此，d是液室102a的当量直径尺寸。再有，也可以设置具有满足以下(5)式的当量直径尺寸d的液室102a。该情况下，液室102a相当于设置在异常检测装置1中的收纳液体的收纳部的一例。在此，f是在信号发生部2中产生的频率。将(3)式或(4)式中示出的关于频率f的信息输入到信号发生部2中，信号发生部2根据输入的关于频率f的信息产生电信号。再有，也可以设置未图示的运算部，该运算部根据输入的最大气泡尺寸Ro、液室102a内的液体的平衡压力Po、液体的密度ρ、热容比γ和液室102a的当量直径尺寸d等，运算关于频率f的信息，使得从未图示的运算部向信号发生部2提供运算出的关于频率f的信息。根据本实施方式涉及的异物检测装置1，不仅对于气泡B等异物的有无，而且对于气泡B等异物大小也能够高精度地检测。因此，能够以更高准确度实现将问题防患于未然或生产性能的提高。以上例示了检测有无气泡B的情况，但也可以检测有无灰尘等固体异物。此外还例示了检测气泡B的大小的情况，但还可以检测因压力变化而产生体积变化的这种异物大小。下面，关于液滴喷出装置100的作用进行例示。在信号发生部2中产生用于使压电部101产生压力波的电信号。该情况下，若控制施加到压电部101上的电压，就能够控制压电部101的弯曲位移进而控制喷出量。因此，在信号发生部2中产生的电信号具有与喷出量相应的电压变化。从信号发生部2输出的电信号，经切换部3输入到压电部101中。压电部101通过将输入的电信号变换成弯曲位移来产生压力波。产生的压力波经挠性膜103传播到液室102a内的液体中，液室102a内的液体被朝向喷嘴孔104a的方向加压。被朝向喷嘴孔104a的方向加压后的液体，作为液滴从喷嘴孔104a喷出。经未图示的流路，将因喷出而减少的那部分液体补充到液室102a内。并且，例如逐次或是定期地进行上述的气泡B的有无的检测或大小的检测。此外，根据检测到的气泡B的大小，来进行关于发生喷出异常的判定。该情况下，可以在存在大于规定阈值的气泡B时，中断喷出作业，进行使气泡B从液室102a排出的维护作业。此外，还可以在例如气泡B的大小不足规定的阈值的情况下，继续进行喷出作业，在气泡B的大小达到规定的阈值以上的情况下，中断喷出作业，进行使气泡B从液室102a排出的维护作业。根据本实施方式涉及的液滴喷出装置100，能够将问题的发生防患于未然，并且提高生产性能。图5是用于例示第二实施方式涉及的异物检测装置和液滴喷出装置的示意图。图5中例示的液滴喷出装置100a也是压电式的液滴喷出装置。在液滴喷出装置100a中设置有压电部101、喷嘴主体102、挠性膜103、喷嘴部104、衰减部105、盖106和异物检测装置1a。在本实施方式中，压电部101成为用于使液体喷出的加压源，但是也具有异物检测装置1a的发信部的功能。但是，与上述的液滴喷出装置100不同，不具有异物检测装置1a的接收部的功能。在异物检测装置1a中设置有信号发生部2、保存部4、检测部5和接收部6。在上述的异物检测装置1中，将压电部101作为异物检测装置1的发信部和接收部，利用切换部3进行电信号的转换。与此相对，在异物检测装置1a中另外设置了接收部6，因此不需要切换部3。接收部6例如可以具有与压电部101同样地由压电材料形成的部件和驱动电极。但并不限定于此，可以适当地选择能够产生与机械性位移相应的电信号的器件。在异物检测装置1a中，由接收部6接收产生的反射波，并由接收部6变换成电信号。将基于该反射波的电信号输入到检测部5中，与上述同样地检测有无气泡B或气泡B的大小。再有，可以与上述同样地进行有无气泡B的检测或气泡B大小的检测，因此省略详细的说明。根据本实施方式涉及的异物检测装置1a，能够享受与上述异物检测装置1同样的效果。此外，关于能省略切换部3这点，能够实现结构的简化。再有，可以使液滴喷出装置100a的作用与上述的液滴喷出装置100的情况同样，因此省略详细的说明。以上例示的是将压电部101与异物检测装置1的发信部和接收部兼用的情况，以及将压电部101与异物检测装置1a的发信部兼用的情况，但并不限定于此。例如，也可以将压电部101与异物检测装置的接收部兼用。此外，也可以分别另行设置压电部101与异物检测装置的发信部和接收部。再有，在热式的液滴喷出装置的情况下，也可以只设置异物检测装置的接收部。该情况下，作为接收部，最好设成如上述那样的压电部。下面，关于第三实施方式涉及的异物检测方法进行例示。图6是用于例示第三实施方式涉及的异物检测方法的流程图。在此，作为一例，以异物是气泡B的情况为例进行说明。首先，向液体中导入具有规定频率f的压力波(步骤S1)。该情况下，可以使频率f满足(3)式。另外，也可以使其也满足(4)式。此外，在按照频率的范围而设置有多个信号发生部和频率范围切换部的情况下，进行频率范围的切换，使得能够产生具有适合的频率f的电信号。接着，将来自液体的反射波变换成电信号(步骤S2)。接着，通过求取对反射波进行变换后得到的电信号与未含有气泡B时的电信号之差，提取关于气泡B的信息(步骤S3)。接着，根据提取到的关于气泡B的信息，求取气泡B的有无和气泡B的大小的至少任一种(步骤S4)。这时，可以与上述同样地求取气泡B的大小。例如，可以根据含有关于气泡B的信息的电信号与关于未含有气泡B的状态的信息之差的平方，来检测异物大小。此外，还可以例如利用(1)式和(2)式求取散射截面积σsc，根据预先求取的气泡B的半径尺寸与散射截面积σsc之间的关系(例如参照图4)，求取气泡B的半径尺寸。再有，由于可以使各步骤中的内容与上述的同样，因此省略详细的说明。此外，已经例示了求取有无气泡B的情况，但也能够求取有无灰尘等固体异物。此外，已经例示了求取气泡B的大小的情况，但也能够求取因压力变化而产生体积变化的这种异物大小。根据本实施方式涉及的异物检测方法，即使是液室102a等这样的小区域，也能够高精度地检测气泡B等异物。此外，由于能够以高精度求取气泡B等异物大小，因此能够以更高准确度实现将问题防患于未然或生产性能的提高。下面，关于第四实施方式涉及的液滴喷出方法进行例示。图6是用于例示第四实施方式涉及的液滴喷出方法的流程图。在此，作为一例，以异物是气泡B的情况为例进行说明。首先，对液体施加规定的压力，使液体作为液滴从喷嘴孔喷出(步骤S11)。接着，使用上述的异物检测方法，求取有无气泡B和气泡B大小的至少任一种(步骤S12)。该情况下，例如可以逐次或是定期地执行异物检测方法。在存在大于规定阈值的气泡B的情况下，可以中断喷出作业，进行使气泡B从液室102a排出的维护作业。该情况下，还可以在气泡B的大小不足规定的阈值的情况下，继续进行喷出作业，在气泡B的大小达到规定的阈值以上的情况下，中断喷出作业，进行使气泡B从液室102a排出的维护作业。根据本实施方式涉及的液滴喷出装置100，能够将问题的发生防患于未然，并且提高生产性能。根据以上例示的实施方式，可以实现能高精度地检测异物的异物检测装置、异物检测方法、液滴喷出装置和液滴喷出方法。以上例示了本发明的几个实施方式，但这些实施方式只是作为例子而提出的，并不表示限定发明范围。这些新的实施方式可以以其他各种各样的方式来实施，可以在不脱离发明主旨的范围内进行各种各样的省略、置换、变更等。这些实施方式或其变形例都包含在发明范围或主旨内，并且也包含在权利要求书记载的发明和其等同的范围内。此外，上述各实施方式可以相互组合进行实施。例如，异物检测装置1、异物检测装置1a、液滴喷出装置100、液滴喷出装置100a等所具备的各要素的形状、尺寸、材质、配置和数量等，并不限定于例示的内容，可以适当地变更。