液面计以及液体原料气化供给装置的制作方法

文档序号:11634288阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种在可以从液相切换到气相的检测时间上减少流量依存性的同时,缩短检测时间的液面计以及液体原料气化供给装置。该液面计具备:贮存液体原料的腔体(2);收容用于检测腔体(2)内的液面(L1)的测温电阻的至少一根保护管(3);以及控制从腔体(2)流出的气体的流量并进行供给的流量控制装置(4),其中,保护管(3)沿水平方向插入并固定于腔体(2)的侧壁(2a)。

技术研发人员:日高敦志;永濑正明;平田薰;山下哲;平尾圭志;西野功二;池田信一
受保护的技术使用者:株式会社富士金
技术研发日:2015.11.02
技术公布日:2017.08.01
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