技术特征：
技术总结
本发明涉及一种电容式力传感器(1)，具有基面体(2)、平面的且可弹性变形的膜片体(3)、布置于基面体和膜片体(3)之间的彼此隔开的两个隔片(4)，其中膜片体(3)通过隔片(4a、4b)支撑在基面体(2)上并且膜片体(3)至少超出于一个隔片(4a)并形成一自由端(5)，并且在隔片(4a、4b)之间的区域中于膜片体(3)和基面体(2)之间构成了空腔(8)，使得在隔片(4a、4b)之间的区域对膜片体(3)施加力F时膜片体(3)能够弯曲，并且其中在自由端(5)上设置第一电极，在基面体上设置第二电极(7)，其中第一电极和第二电极构成了一个测量电容随力F的作用而变化的测量电容器(9)，以及还设置了让第一电极和第二电极产生电接触的装置(6)。
技术研发人员：T·舒尔特海斯;J·丁宁格尔
受保护的技术使用者：普瑞有限公司
技术研发日：2015.11.09
技术公布日：2017.08.18