技术特征：
技术总结
本发明提供一种微传感器及其制造方法。其中微传感器包括第一基板以及第二基板。第一基板具有形成有凹槽的表面。第二基板具有感测结构，其中第一基板形成有凹槽的表面与第二基板接合，以将凹槽密封住，使凹槽中的气压值为定值。另提供一种传感器的制造方法。本发明提供的微传感器可感测外界压力的变化，本发明另提供的微传感器的制造方法可制造出具环境感测能力的微传感器。
技术研发人员：童玺文;吴名清
受保护的技术使用者：英属开曼群岛商智动全球股份有限公司
技术研发日：2016.02.24
技术公布日：2017.09.01